一种基板测试载台及基板测试设备的制作方法

本发明涉及测试技术领域，尤其涉及一种基板测试载台及基板电测试装置。

背景技术：

现有技术中，液晶显示屏通常包括阵列基板和彩膜基板，通常需要通过电测试设备来对阵列基板母板进行电测试。一般在对阵列基板母板进行电测试时，首先，在电测试设备的基板测试载台上分布有多个背光源，将待测样品放置在基板测试载台上的合适位置，保证待测样品的待测位置处有背光源，然后，移动测试探针，定位待测样品与测试探针的相对位置，然后将测试探针压下，以确保测试探针与待测样品上的测试点良好接触，对待测样品进行电测试。

在现有技术中，为了便于对不同待测样品或者待测样品的不同位置进行电测试，在电测试设备的基板测试载台上分布着24个面积约36cm²的方形背光源，这些背光源镶嵌入基板测试载台中，位置固定不变。

在实际测试中，由于同一时间只有一个测试探针工作，所以每次也只能一个背光源工作，这就造成了其他背光源的浪费；而且，由于各背光源之间亮度均一性存在差异，在对一张阵列基板大板的不同位置进行测试或对同一样品多次重复测试而所放位置不同时，就会造成对同一样品进行某一光照强度(如3500nit)下测试时，不同位置的背光源发出的实际光照强度不同，其测试结果也存在一定差异。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种基板测试载台及基板测试设备，方便测试，可以提高测试效率及准确性。

本发明所提供的技术方案如下：

一种基板测试载台，包括：

载台主体，所述载台主体包括一用于放置待测基板的透明承载板，所述透明承载板包括用于承载待测基板的第一表面；

设置在所述透明承载板的背离所述第一表面的一侧的至少一个背光源；

以及，与所述背光源连接，用于移动所述背光源的移动机构。

进一步的，所述移动机构包括：用于沿第一方向移动所述背光源的第一移动单元；以及，用于沿第二方向移动所述背光源的第二移动单元；其中所述第一方向和所述第二方向相互垂直。

进一步的，所述第一移动单元包括：

沿所述第一方向延伸的第一导轨；

能够在所述第一导轨上移动的第一滑动部件，所述背光源设置在所述第一滑动部件上；

以及，用于驱动所述第一滑动部件在所述第一导轨上移动的第一驱动部。

进一步的，所述第二移动单元包括：

平行设置且沿所述第二方向延伸的第二导轨和第三导轨，所述第一导轨的两端分别连接有第二滑动部件和第三滑动部件，所述第二滑动部件用于在所述第二导轨上移动，所述第三滑动部件用于在所述第三导轨上移动；

以及，用于驱动所述第二滑动部件和/或所述第三滑动部件的第二驱动部。

进一步的，所述载台主体为一具有内腔的盒体结构，所述背光源设置在所述盒体结构的内腔中。

进一步的，所述第一表面上分布有用于吸附固定待测基板的多个真空吸附孔；在所述透明承载板的内部具有与多个真空吸附孔一一对应的多个气体通道；所述透明承载板的预定位置处设有与多个真空吸附孔一一对应的多个气体通道出口，所述气体通道出口与真空泵连通；其中每一所述气体通道的一端和与该气体通道对应的真空吸附孔连通，另一端和与该真空吸附孔对应的所述气体通道出口连通，各真空吸附孔的工作状态能够单独控制。

进一步的，所述透明承载板还包括：与所述第一表面相背的第二表面；以及形成于所述第一表面和第二表面之间的侧表面；其中所述预定位置为所述透明承载板的侧表面。

进一步的，所述透明承载板的第一表面上至少在一预定区域内、呈阵列分布有多个所述真空吸附孔。

一种基板测试设备，包括：测试探针；以及如上所述的基板测试载台。

进一步的，所述基板测试设备还包括与所述测试探针和所述基板测试载台连接的控制机构，所述控制机构能够控制所述测试探针与所述背光源同步移动。

本发明所带来的有益效果如下：

本发明所提供的基板测试载台，其背光源可以根据实际需要运动到合适的位置，为待测基板提供背光，与现有技术中将背光源固定在载台上相比，可以使测试人员在放置测试基板时有更多、更方便的选择机会，且不会出现所放置测试基板处无背光的情况出现，极大地方便了测试、提高了测试效率；同时使得一个基板测试载台所需背光源的使用数量大大缩减，节省了成本；此外，可以通过同一背光源移动至不同位置进行测试，避免了背光源之间的差异性造成的测试结果差异，提高了测试结果的准确性。

附图说明

图1表示本发明实施例中提供的基板测试载台的结构示意图；

图2表示本发明实施例中提供的基板测试设备的结构示意图。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

针对现有技术中基板测试载台上固定有多个背光源，由于各背光源之间差异会影响测试准确性等问题，本发明提供了一种基板测试载台及基板测试设备，背光源可以移动，方便测试，可以提高测试效率及准确性。

如图1所示，本发明实施例中提供的基板测试载台包括：

载台主体100，所述载台主体100包括一用于放置待测基板的透明承载板101，所述透明承载板包括用于承载待测基板的第一表面；

设置在所述透明承载板的背离所述第一表面的一侧的至少一个背光源200；

以及，与所述背光源200连接，用于移动所述背光源200的移动机构。

本发明所提供的基板测试载台，其背光源200可以根据实际需要运动到合适的位置，为待测基板提供背光，与现有技术中将背光源200固定在载台上的方式相比，可以使测试人员在放置测试基板时有更多、更方便的选择机会，且不会出现所放置测试基板处无背光的情况出现，极大地方便了测试、提高了测试效率；同时使得一个基板测试载台所需背光源200的使用数量大大缩减，节省了成本；此外，可以通过同一背光源200移动至不同位置进行测试，避免了背光源200之间的差异性造成的测试结果差异，提高了测试结果的准确性。

以下说明本发明实施例中所提供的基板测试载台的优选实施例。

如图1所示，在本发明所提供的优选实施例中，所述移动机构包括：用于沿第一方向(y方向)移动所述背光源200的第一移动单元；及，用于沿第二方向(x方向)移动所述背光源200的第二移动单元，其中所述第一方向(y方向)和所述第二方向(x方向)相互垂直。

采用上述方案，所述移动机构可以在所述透明承载板101平行的平面上，沿相互垂直的第一方向(y方向)和第二方向(x方向)上来移动背光源200，以使得所述背光源200能够移动至所述透明承载板101上任一坐标点位置上的待测基板下方，为待测基板提供背光。

在本发明所提供的优选实施例中，如图1所示，所述第一移动单元包括：沿所述第一方向(y方向)延伸的第一导轨301；能够在所述第一导轨301上移动的第一滑动部件310，所述背光源200设置在所述第一滑动部件310上；以及，用于驱动所述第一滑动部件310在所述第一导轨301上移动的第一驱动部311；

所述第二移动单元包括：平行设置且沿所述第二方向(x方向)延伸的第二导轨302和第三导轨303，所述第一导轨301的两端分别连接有第二滑动部件320和第三滑动部件330，所述第二滑动部件320用于在所述第二导轨302上移动，所述第三滑动部件330用于在所述第三导轨303上移动；

以及，用于驱动所述第二滑动部件和/或所述第三滑动部件的第二驱动部321。

优选地，第二导轨302和第三导轨303平行设置在基板测试载台相对两侧。

在上述方案中，提供了一种所述第一移动单元和所述第二移动单元的优选实施方式，通过在所述第二导轨302和所述第三导轨303上移动所述第二滑动部件320和所述第三滑动部件330，且优选的，所述第二滑动部件320和所述第三滑动部件330可以同步移动，实现背光源200在第一方向(y方向)上的移动；通过在第一导轨301上移动所述第一滑动部件310，可以实现背光源200在第二方向(x方向)上的移动，从而完成背光源200的任意方向的移动，结构简单，方便控制，可以实现使得所述背光源200能够移动至所述透明承载板101上任一坐标点位置上的待测基板下方的目的。

需要理解的是，对于所述移动机构的具体结构并不仅局限于此，在实际应用中，对于所述移动机构的具体结构并不进行限定。

在本发明所提供的优选实施例中，如图1所示，所述载台主体100为一具有内腔的盒体结构，所述背光源200设置在所述盒体结构的内腔中。

在上述方案中，所述载台主体100可以是一中空的盒体结构，在所述盒体结构的底部安装所述移动机构及背光源200，在对待测基板进行测试时，测试人员可以将待测基板放置在所述载台主体100的透明承载板101上，可以通过控制机构自动控制或者手动控制所述第一驱动部和第二驱动部，以将背光源200移动至待测基板的下方，以为待测基板提供背光。

此外，在现有技术的基板测试设备中，在实际测试中，通常需要将待测样品紧紧固定在基板测试载台的表面，以保证待测样品与基板测试载台表面接触良好，因为若是待测样品与基板测试载台的接触情况不够良好，在定位好待测样品上的测试点后，当测试探针压向测试点时，会造成待测试样品发生上下左右的细微移动，从而造成测试探针和测试点的错位，影响测试结果的准确性或不能得到测试结果。现有的基板测试载台只在每一背光源外圈设有环形的吸附圈，只有在待测样品面积能够完全覆盖住背光源外圈的吸附圈时才能够被吸附住，这对于产线对一张阵列基板大板的测试并没有什么问题，也不会造成无法对样品进行真空吸附固定的情况，然而实验室的不良解析样品，往往是对单个的显示屏或部分显示屏进行样品测试，样品往往尺寸小，且形状不规则，即使对整个显示屏测试，虽然待测样品足够大，但是测试的点位往往在显示屏的边角，这就无法保证既能真空吸附固定待测样品，而又保证样品待测试的点位落在背光源位置，测试十分不便。

针对上述问题，在本发明所提供的优选实施例中，如图1所示，所述透明承载板101包括用于与待测基板接触的第一表面，在所述第一表面上分布有用于吸附固定待测基板的多个真空吸附孔401；在所述透明承载板101的内部具有与多个真空吸附孔401一一对应的多个气体通道402；所述透明承载板101的预定位置处设有与多个真空吸附孔401一一对应的多个气体通道出口403，所述气体通道出口403与真空泵连通；其中每一所述气体通道402的一端和与该气体通道402对应的真空吸附孔401连通，另一端和与该真空吸附孔401对应的所述气体通道出口403连通，各真空吸附孔401的工作状态能够单独控制。

采用上述方案，通过在承载主体的盒体结构上的透明承载板101可以是一覆盖在盒体结构顶部的整块玻璃或其他透明板，可以在透明承载板101的第一表面上预留真空吸附孔401，并将气体通道402留在透明承载板101内部，每个真空吸附孔401通过气体通道402最终与真空泵相连，气体通道402是透明承载板101内部的圆孔型通道，并通过透明承载板101边缘与盒体结构侧壁连接，最终实现与真空泵相连。由于可以单独控制每个真空吸附孔401，可以方便实现对任意形状不规则的样品的真空吸附固定，从而改善了现有技术中基板测试载台只能对超过一定面积的方形或长方形待测基板进行固定的问题，而且，由于基板测试载台采用透明承载板101，因此可以通过在透明承载板101内部留有真空吸附孔401的气体管道，这样就实现了既能真空吸附固定待测基板，又不影响对待测基板加底部背光，极大丰富了测试条件。

其中优选的，如图1所示，所述透明承载板101还包括：与所述第一表面相背的第二表面；以及形成于所述第一表面和第二表面之间的侧表面；其中所述预定位置为所述透明承载板101的侧表面。

采用上述方案，可以在透明承载板101的侧表面将所述气体通道402与真空泵进行连接，而不会对透明承载板101的第一表面产生任何影响。应当理解的是，在实际应用中，所述气体通道402的具体形成形状及所述气体通道出口403还可以有其他设置方式，以上仅是提供一种优选实施例，对此并不进行限定。

此外，在本发明所提供的实施例中，优选的，如图1所示，所述透明承载板101的第一表面上至少在一预定区域内、呈阵列分布有多个所述真空吸附孔401。

采用上述方案，针对实验室内常常需要采用基板测试载台来对小尺寸的待测基板进行测试的情况，考虑实验室的实际测试情况，将透明承载板101上预定区域上呈阵列分布多个真空吸附孔401，该预定区域内分布的真空吸附孔401可以满足实验室测试要求，对不同形状的待测基板进行吸附固定。优选的，所述预定区域靠近所述透明承载板101的一侧角落位置，如此便于操作人员放置待测基板及气体通道402的长度较短。当然可以理解的是，对于所述真空吸附孔401的具体分布数量及分布方式等均不进行限定。

此外，如图2所示，在本发明的实施例中还提供了一种基板测试设备，包括：测试探针10；以及如上所述的基板测试载台20。优选的，所述基板测试设备还包括与所述测试探针10和所述基板测试载台20连接的控制机构，所述控制机构能够控制所述测试探针与所述背光源200同步移动。

采用上述方案，在对待测基板进行测试时，测试人员将待测基板放置在透明承载板101的表面，并通过控制机构可以控制将测试探针移动到合适的位置，在测试探针移动的同时，背光源200也跟随进行相似的移动，以使背光源200始终保持在测试探针的下方，以便给待测基板加背光。当然可以理解的是，所述测试探针和所述背光源200也可以单独控制移动。

以下说明本发明实施例中所提供的基板测试设备的测试过程：

以待测基板为阵列基板为例，阵列基板上设置有多条栅线、多条数据线及薄膜晶体管，每一个薄膜晶体管有3个电极，即：栅极(gate)、源极(source)、漏极(drain)，测试时，首先将待测基板放置在基板测试载台的合适位置，然后移动测试探针和背光源200，使得背光源200移动至待测基板下方，通过显微镜观察定位薄膜晶体管的某电极与测试探针的相对位置，然后将测试探针压下，以确保测试探针与电极的良好接触，进而保证测试结果的准确性，当将薄膜晶体管的三个电极与设备的测试探针完全接触后，通过电脑控制测试软件完成测试。

基板测试设备主要由四个部分组成：电脑40、控制器(controler)50、半导体参数分析仪(semiconductorparameteranalyser)60、基板测试载台20，其中基板测试载台20主要是作为测试基板的载台，并通过测试探针10连接待测试电极，电脑40、控制器50及半导体参数分析仪60组成控制机构30，其中控制器50主要是完成针脚定义的转换，连接基板测试载台20和电脑40，实现软件针脚定义与物理实际针脚定义的正确匹配，而半导体参数分析仪60是完成阵列基板电学测试的主要设备，它提供扫描信号并采集、处理需要的电压、电流信号，而电脑40则是通过测试软件协调其余三台设备协同完成测试工作，并将半导体参数分析仪60采集的信号的以简明的形式呈现出来。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本发明的保护范围。