压电传感器表面波检测实验光路调节辅助装置的制作方法

本发明属于无损检测和超声表面波技术领域。

背景技术：

超大规模集成电路的快速发展对ulsi互连布线系统提出了更大的挑战。在国际半导体技术发展路线图中指出，为了正确表征low-k互连薄膜的机械特性、粘附特性等参数，需要发展先进的测试技术。传统的方法有划痕法、四点弯曲法、粘揭法、拉伸法等。但这些方法都会对薄膜造成损伤，且测量结果的可靠性裕差。因此，亟需发展准确、可靠无损检测方法应用于薄膜研究和制备过程的在线检测。声表面波法具有无损、实验系统易操作、检测快速准确等突出优势。压电传感器检测技术是声表面波检测技术的代表。其基本原理是：参见图1，由脉冲激光器1发出一个短暂的激光脉冲在固体样品2表面激发一个宽频带波动，吸收激光辐射导致局部受热，并在固体表面发生热膨胀，进而产生声表面波3，表面波在传播过程中携带样品的信息被压电探头4所接收。在整个实验过程中光路调节的水平对实验结果有着至关重要的影响。光路调节是指通过调节棱镜5和柱面镜6将激光器发出的平行激光转化为打在样片上的一条极亮且极细的光线。同时还要使光线满足以下几个要求：

第一、脉冲激光光线与压电探头等宽；

第二、脉冲激光光线跟压电探头保持平行；

第三、脉冲激光光线和压电探头对齐。

目前调节光路只能靠实验人员的观察，这样就造成了光路调节过程繁琐、缓慢，调节效果往往达不到最佳。因此一个辅助光路调节的对准装置能极大地提高光路调节的效率。

技术实现要素：

本发明的目的是提供一种适用于压电传感器表面波检测实验的能够提高光路调节的效率和准确性的对准装置。技术方案如下：

一种压电传感器表面波检测实验光路调节辅助装置，其主体为卡片，其特征在于，卡片为设置有卡槽的u型卡片，卡槽的宽度与压电传感器的压电探头宽度相同，在卡槽的两侧分别设置有一组与卡槽底部平行的辅助线，两组辅助线完全相同。

优选地，所述的辅助线为彩色相间的辅助线。

附图说明

图1压电传感器表面波检测原理图

图2光路调节辅助装置示意图

图3光路调节装置操作实施示意图

具体实施方式

如图2，装置外形：本装置为一u型的卡片。卡片长40mm，宽30mm。卡片上有一个长30mm，宽10mm的卡槽7，卡槽7宽度与压电探头宽度相同。卡片厚度约为1mm。

装置细节：在卡槽两边有一组与卡槽底部平行的彩色相间的辅助线8。其目的是方便调节光线与压电探头保持平行。由于辅助线比较密集，选择彩色相间的辅助线8是为了防止光线对准了错位的辅助线进而导致光线与压电探头不能平行。

如图3所示，使用本装置辅助调节光路时，将装置1置于被测样品上，并将压电探头4对齐卡槽中的一条辅助线。因为压电探头与卡槽同宽，这样卡槽相当于将压电探头的宽度和位置延伸到激光处。在卡槽的辅助下，将光线调节到与压电探头同宽并对齐就变得非常容易。此外，由于压电探头对齐了一条辅助线，所以卡槽中所有的辅助线都与压电探头是平行的。所以再将光线对齐任意一条辅助线就可以保证光线与压电探头平行。这样，装置就很好的辅助了光路调节。极大地提高了调节的准确性和效率。

技术特征：

技术总结
本发明涉及一种压电传感器表面波检测实验光路调节辅助装置，其主体为卡片，其特征在于，卡片为设置有卡槽的U型卡片，卡槽的宽度与压电传感器的压电探头宽度相同，在卡槽的两侧分别设置有一组与卡槽底部平行的辅助线，两组辅助线完全相同。

技术研发人员：肖夏;孔涛
受保护的技术使用者：天津大学
技术研发日：2017.05.13
技术公布日：2017.08.04