一种含氮氧化物气体传感器的制备方法与流程

文档序号:11232915阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供了一种含氮氧化物气体传感器的制备方法,先将金属铟加至稀硝酸中,加热保温,滴加氨水,过滤,洗净并干燥,将所得In(OH)3加至冰醋酸中,搅拌,加入去离子水,加热保温,滴加乙醇,超声,得到In2O3纳米晶,滴加正硅酸乙酯的乙醇溶液后加热保温,然后将所得凝胶在120℃下烘焙后在500℃下灼烧,冷却后研磨,得到掺杂SiO2的In2O3纳米晶;最后将掺杂SiO2的In2O3纳米晶、羧甲基纤维素加至松油醇中,研磨,涂敷于气敏器件上,干燥后老化,即得。本发明所得传感器对NO2在1‑30ppm浓度范围内有线性响应,线性范围较宽。

技术研发人员:汪洋;李训红;汪雪婷
受保护的技术使用者:江苏时瑞电子科技有限公司
技术研发日:2017.05.22
技术公布日:2017.09.12
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