技术特征：
技术总结
本发明提供了一种基板制造装置以及一种基板制造方法，该基板制造装置包括测试装置，该测试装置包括用于在基板上执行测试工艺的测试处理器模块。测试处理器模块可以包括用于传送基板的输送装置，用于在基板上执行测试工艺的处理器单元以及用于在输送单元与处理器单元之间传送基板的传送单元。该输送单元可以包括供给输送装置以及与供给输送装置分隔开的排出输送装置。
技术研发人员：李永喆;权世民;李镇焕;吴制默;李敬淑;李南泓
受保护的技术使用者：三星电子株式会社;细美事有限公司
技术研发日：2013.04.02
技术公布日：2017.09.29