X射线检查装置的制作方法

本发明涉及一种利用x射线无损地检查具有立体形状的被检查物的内部构造的x射线检查装置。

背景技术：

这种x射线检查装置具备：x射线摄影系统，其具有用于向被检查物照射x射线的x射线源和对从该x射线源照射并透过了被检查物的x射线进行检测的平板检测器、图像增强器(i.i.)等x射线检测器；载物台，其配置在x射线源与x射线检测器之间，在载物台的上表面载置被检查物；以及移动机构，其使载物台与x射线摄影系统相对地移动。在这种x射线检查装置中，为了获取将被检查物放大后的x射线图像，一般将x射线源与被检查物靠近配置，将被检查物与x射线检测器配置在远离的位置。

在这种x射线检查装置中使用的x射线源具备被施加高电压的灯丝(阴极)和靶(阳极)，通过使从灯丝发射出的热电子与靶碰撞来产生x射线。在初次使用该x射线源时或在固定的期间内持续未使用x射线源的状态后再次开始使用该x射线源时，通过在施加了低管电压之后使管电压逐渐地升高，来将与导致电场集中的靶相同电位的高电压施加部的突起等异物熔解，从而形成平缓的等势面，来使耐高电压特性提高。需要进行被称为所谓的老练试验(エージング)的动作(参照专利文献1)。

在执行这种老练试验时，从x射线源向x射线检测器长时间地入射较大剂量的x射线，导致x射线检测器的灵敏度降低，产生缩短x射线检测器的寿命之类的问题。因此，以往采取了以下对策：在执行老练试验之前，操作者用由铅等x射线透过率低的构件构成的罩来覆盖x射线源中的x射线照射部。另外，还提出了以下结构：在老练试验作业开始时，使由铅等x射线透过率低的构件构成的快门相对于x射线源中的x射线照射部自动地移动。

此外，在与x射线检查装置不同的医疗用x射线摄影装置的领域，公开了以下结构：在老练试验时，通过将用于限制x射线照射场的准直器完全关闭来限制x射线向外部照射(参照专利文献2)，或者，在老练试验时，通过使x射线源和x射线检测器配置在彼此不相向的位置来防止从x射线源照射出的x射线入射到x射线检测器。

专利文献1：日本特开2009-266688号公报

专利文献2：日本特开2000-30890号公报

专利文献3：日本特开2015-150054号公报

技术实现要素：

发明要解决的问题

如上所述，在采用了在执行老练试验之前、操作者用由铅等x射线透过率低的构件构成的罩来覆盖x射线源中的x射线照射部这一结构的情况下，每当执行老练试验时都需要进行操作罩的作业，不仅作业繁杂，而且有可能遗忘该作业本身。另外，在之后的检查时还有可能忘记敞开罩。

另一方面，在采用在老练试验作业开始时使由x射线透过率低的构件构成的快门相对于x射线源中的x射线照射部自动地移动的结构的情况下，为了使快门移动，需要另行配设专用的电动机、引导构件等快门移动构件，因此存在以下问题：用于执行老练试验的装置结构变得复杂，另外，装置成本也变高。

本发明是为了解决上述问题而完成的，其目的在于提供如下一种x射线检查装置：无需为了进行老练试验而另行准备专用的快门移动构件，能够简单且自动地执行老练试验。

用于解决问题的方案

发明1所述的发明是一种x射线检查装置，其具备：x射线摄影系统，其具有x射线源和x射线检测器，其中，该x射线源向被检查物照射x射线，该x射线检测器对从所述x射线源照射并透过了所述被检查物的x射线进行检测；载物台，其配置在所述x射线源与所述x射线检测器之间，用于载置所述被检查物；以及移动机构，其使所述载物台与所述x射线摄影系统相对地移动，所述x射线检查装置还具备：x射线屏蔽构件，其配设在所述载物台上的所述被检查物的载置区域的侧方；以及控制部，其在对所述x射线源执行老练试验时，通过控制所述移动机构，来使所述x射线摄影系统相对于所述载物台相对地移动到使所述x射线源与所述x射线屏蔽构件相向的老练试验位置。

关于发明2所述的发明，在发明1所述的发明中，所述控制部在检查开始时或检查结束时使所述x射线摄影系统移动到所述老练试验位置。

关于发明3所述的发明，在发明1所述的发明中，所述控制部在被进行了指示开始老练试验的操作时，使所述x射线摄影系统移动到所述老练试验位置。

发明的效果

根据发明1所述的发明，在载物台上的被检查物的载置区域的侧方配设x射线屏蔽构件，由此无需为了进行老练试验而另行准备专用的快门移动构件，能够简单且自动地执行老练试验。

根据发明2所述的发明，能够在检查开始时或检查结束时执行老练试验。

根据发明3所述的发明，能够根据操作者的操作来执行老练试验。

附图说明

图1是将本发明所涉及的x射线检查装置与其主要的控制系统一起表示的概要图。

图2是表示本发明所涉及的x射线检查装置的载物台10附近的结构的俯视图。

图3是用于说明x射线源21、x射线检测器22以及载物台10之间的配置关系的侧视概要图。

图4是表示由本发明所涉及的x射线检查装置进行的老练试验动作的第一实施方式的流程图。

图5是表示由本发明所涉及的x射线检查装置进行的老练试验动作的第二实施方式的流程图。

附图标记说明

10：载物台；11：支承板；12：框体；13：x射线屏蔽板；21：x射线源；22：x射线检测器；23：载物台移动机构；24：显示部；25：操作部；30：控制部；31：图像处理部；32：移动控制部；33：x射线源控制部；100：壳体；w：工件。

具体实施方式

图1是将本发明所涉及的x射线检查装置与其主要的控制系统一起表示的概要图。另外，图2是表示本发明所涉及的x射线检查装置的载物台10附近的结构的俯视图。

本发明所涉及的x射线检查装置具备：x射线源21，其向作为被检查物的工件w照射x射线；平板检测器、图像增强器(i.i.)等x射线检测器22，其对从该x射线源21照射后透过了工件w的x射线进行检测；以及载物台10，其配设在这些x射线源21与x射线检测器22之间，用于载置工件w。x射线源21和x射线检测器22构成本发明所涉及的x射线摄影系统。

载物台10由金属制的框体12和被该框体12支承的x射线透过性的支承板11构成。该支承板11在x射线检查时作为用于载置工件w的载置区域而发挥功能，由使x射线良好地透过的碳板等构成。x射线屏蔽板13以被框体12支承的状态配设在该支承板11的侧方。该x射线屏蔽板13由以高比例屏蔽x射线的铅板等构成。此外，作为x射线屏蔽板13，除了使用铅板以外，也可以使用具有规定的厚度的铁板等。

该载物台10能够通过具备未图示的电动机的载物台移动机构23a、23b(在对这些载物台移动机构23a、23b进行统称的情况下称为“载物台移动机构23”)的作用而沿水平方向(图2所示的xy方向)进行移动。这些x射线源21、x射线检测器22、载物台10以及载物台移动机构23配设在由x射线屏蔽构件构成的壳体100的内部。

本发明所涉及的x射线检查装置具备控制部30，该控制部30具备作为处理器的执行逻辑运算的cpu、保存有控制装置所需的动作程序的rom以及在控制时暂时存储数据等的ram等，用于控制整个装置。该控制部30与液晶显示面板等显示部24和操作部25相连接，其中，该显示部24显示由x射线检测器22检测出的x射线图像等，该操作部25具备用于执行各种操作的鼠标、键盘等。

另外，该控制部30具备图像处理部31、移动控制部32以及x射线源控制部33，来作为功能性结构，其中，该图像处理部31用于对由x射线检测器22检测出的x射线图像进行图像处理并显示于显示部24，该移动控制部32用于控制载物台移动机构23，该x射线源控制部33用于对x射线源21进行点亮控制。

如图2所示，载物台10通过载物台移动机构23a的作用而沿x方向进行往返移动，通过载物台移动机构23b的作用而沿y方向进行往返移动。由此，由彼此相向配置的x射线源21和x射线检测器22构成的x射线摄影系统与载物台10沿x、y方向相对地移动。在通常的x射线摄影时，载物台10的y方向上的移动行程范围为图2所示的s1，图2所示的支承板11的中央部为载置工件w来执行x射线检查的检查区域。另外，在后述的老练试验时，载物台10的y方向上的移动行程范围与x射线屏蔽板13对应地成为图2所示的s2。由此，载物台10能够沿图2所示的y方向在s1+s2的范围内移动。

图3是用于说明x射线源21、x射线检测器22以及载物台10之间的配置关系的侧视概要图。

在由x射线源21和x射线检测器22构成的x射线摄影系统与支承板11相向配置时，如图3的(a)所示，从x射线源21照射出的x射线透过支承板11而到达x射线检测器22。另一方面，在由x射线源21和x射线检测器22构成的x射线摄影系统与x射线屏蔽板13相向配置时，成为以下结构：从x射线源21照射出的x射线被x射线屏蔽板13屏蔽而不到达x射线检测器22。

在具有上述那样的结构的x射线检查装置中执行x射线检查时，将工件w载置在载物台10的支承板11上。然后，通过移动控制部32的控制来使载物台10沿x、y方向进行移动，从而将由x射线源21和x射线检测器22构成的x射线摄影系统配置在工件w的上下位置。在该状态下，通过x射线源控制部33的控制，如图3的(a)所示那样从x射线源21朝向工件w照射x射线。x射线的透视图像在由x射线检测器22进行检测并由图像处理部31进行图像处理之后显示于显示部24。

另一方面，在该x射线检查装置中，在固定的期间内持续未使用装置的状态之后再次使用该装置等情况下，执行老练试验。以下，对该老练试验动作进行说明。图4是表示由本发明所涉及的x射线检查装置进行的老练试验动作的第一实施方式的流程图。此外，关于该第一实施方式所涉及的老练试验动作，设为在开始使用装置时自动地执行老练试验。

即，首先接通电源(步骤s11)。随之，通过由控制部30中的移动控制部32控制的载物台移动机构23的驱动来使载物台10沿x、y方向进行移动，如图3的(b)所示，x射线源21在老练试验位置处停止(步骤s12)，该老练试验位置配置在附设于载物台10的x射线屏蔽板13的下方。

在该状态下开始进行如下方式的老练试验：通过在对x射线源21施加低管电压之后使管电压逐渐升高，来将x射线源21中的高电压施加部的突起等异物熔解，从而形成平缓的等势面，来提高耐高电压特性(步骤s13)。然后，如果以该状态经过了15分钟～2小时左右，则结束老练试验(步骤s14)。如果老练试验结束，则待机到从操作部25输入与x射线摄影有关的摄影指令为止(步骤s15)。

根据该第一实施方式所涉及的老练试验动作，能够在x射线摄影开始前自动地执行老练试验。此外，也可以取代在x射线摄影开始前自动地执行老练试验，而在x射线摄影结束时使载物台10自动地移动到老练试验位置，并在执行了老练试验之后切断电源。

图5是表示由本发明所涉及的x射线检查装置进行的老练试验动作的第二实施方式的流程图。此外，关于该第二实施方式所涉及的老练试验动作，设为根据操作者的指示来执行老练试验。

在该第二实施方式所涉及的老练试验动作中，操作者通过操作操作部25来进行老练试验的指示(步骤s21)。由此，通过由控制部30中的移动控制部32控制的载物台移动机构23的驱动来使载物台10沿x、y方向进行移动，如图3的(b)所示，x射线源21在老练试验位置处停止(步骤s22)，该老练试验位置配置在附设于载物台10的x射线屏蔽板13的下方。在该状态下开始进行老练试验(步骤s23)。然后，如果以该状态经过15分钟～2小时左右，则结束老练试验(步骤s24)。如果老练试验结束，则待机到从操作部25输入与x射线摄影有关的摄影指令为止(步骤s25)。

此外，在上述实施方式中采用了使载物台10相对于由彼此相向配置的x射线源21和x射线检测器22构成的x射线摄影系统进行移动的结构，但也可以设为以下结构：将载物台10固定，使由x射线源21和x射线检测器22构成的x射线摄影系统进行移动。

另外，在上述实施方式中，构成为利用x射线屏蔽板13屏蔽从x射线源21照射出的全部x射线，但x射线屏蔽板13至少能够防止x射线被照射到x射线检测器22即可。