基于硫化铼纳米器件的有机气体检测芯片的制作方法

文档序号:17917543发布日期:2019-06-14 23:53阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种基于硫化铼纳米器件的有机气体检测芯片,利用硫化铼(ReS2)纳米材料电学性质的各向异性性质及有机气体吸附引起的电学各向异性性质的变化作为气体检测的维度,实现有机气体的定性、定量检测。本发明基于硫化铼纳米器件的有机气体检测芯片的结构及制备方法简单,检测灵敏度高,能够实现有机气体的定性、定量识别;该有机气体检测芯片尺寸为微米级,超低功耗,其制备工艺为标准的集成电路(IC)制造工艺,与片上系统(SOC)集成工艺兼容,可以将器件方便的嵌入各种移动终端,便于有机气体的实时监测。

技术研发人员:武恩秀;解媛;张代化;刘晶;庞慰;李全宁;陈雪娇;郭文岚;孙崇玲
受保护的技术使用者:天津大学
技术研发日:2017.12.06
技术公布日:2019.06.14
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