一种干涉系统及其多层干涉仪、单层干涉仪、条状干涉仪的制作方法

本实用新型涉及光信号处理技术领域，更具体的说，涉及一种干涉系统及其多层干涉仪、单层干涉仪、条状干涉仪。

背景技术：

光学干涉仪可分为单通道光学干涉仪和多通道光学干涉仪两大类，单通道光学干涉仪和多通道光学干涉仪的差异在于干涉的光波是否通过多个通道。例如，单通道光学干涉仪有等厚干涉仪和萨格纳克(Sagnac)干涉仪，多通道光学干涉仪有迈克尔逊(Michelson)干涉仪和马赫-曾德(Mach-Zehnder)干涉仪等等。比起单通道光学干涉仪，多通道光学干涉仪有着众多的好处，例如，在光通信中能用于波分或时分复用技术以提高信息的利用率，在精密测量中能用来提高测量的精度，在光学量子计算中能用来操纵更高维或更复杂的量子信息等等。

多通道光学干涉仪有多种实现的手段，比较常见的多通道光学干涉仪有两种，第一种是用分离式的块状光学元件搭建起来的自由空间干涉仪，优点是可通过光学镀膜技术实现超低的损耗，通常小于0.1dB，缺点是体积庞大、通道数量很少、相位容易受环境影响；第二种是光纤或光波导集成干涉仪，优点是体积极小、通道数量很多、相位非常稳定，缺点是插入损耗相对较大，通常超过了3dB。

全连通光学干涉仪是功能最为强大的光学干涉仪。所有部分连通的干涉仪都可以通过调节所述全连通光学干涉仪中某些光学元件的通断来实现。从数学上说，利用它可以实现光的任意的离散的幺正变换操作。实现所述全连通光学干涉仪有两种已知的简单的平面光学元件连接方式：分束器三角形排布方式和分束器矩形排布方式。

设计一种同时兼具多通道光学干涉仪与全连通光学干涉仪功能的多通道全连通光学干涉仪是当前亟待解决的问题。

技术实现要素：

为解决上述问题，本实用新型提供了一种干涉系统及多层干涉仪及其多层干涉仪、单层干涉仪、条状干涉仪，该干涉系统为多通道全连通光学干涉仪，具有体积小、相位稳定、损耗低、通道数量多以及多通道全连通的优点。

为了实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：

一种干涉系统，所述干涉系统包括：输入端、第一多自由度干涉模块、路径干涉模块、第二多自由度干涉模块以及输出端；

所述输入端用于输入多路光束；

所述第一多自由度干涉模块以及所述第二多自由度干涉模块用于位于同一路径的不同光自由度之间的干涉；

所述路径干涉模块用于位于不同路径的光自由度之间的干涉；

所述输出端用于输出多路光束；

所述输入端输入的光束依次经过所述第一多自由度干涉模块、所述路径干涉模块、所述第二多自由度干涉模块以及所述输出端后出射。

优选的，在上述干涉系统中，所述光自由度包括光的偏振自由度、轨道角动量自由度、时间自由度以及能量自由度中的至少一个。

优选的，在上述干涉系统中，所述输入端包括N个输入端口，N为大于1的正整数，每个所述输入端口用于容纳一个或是多个光通道，所述光通道包括所述光自由度；

所述输出端包括N个输出端口，每个所述输出端口用于容纳一个或是多个所述光通道。

优选的，在上述干涉系统中，所述第一多自由度干涉模块以及所述第二多自由度干涉模块均包括多个多自由度干涉装置。

优选的，在上述干涉系统中，所述多自由度干涉装置是偏振旋转器件、或轨道角动量调节器件、或时间延迟器件、或频率调节器件。

优选的，在上述干涉系统中，所述多自由度干涉装置与所述路径干涉模块相互分离，或是所述多自由度干涉装置与所述路径干涉模块集成为一体。

优选的，在上述干涉系统中，所述路径干涉模块包括：两个多层干涉仪；

其中，所述多层干涉仪包括多个层叠设置的单层干涉仪；两个所述多层干涉仪的单层路径干涉平面相互正交。

优选的，在上述干涉系统中，所述单层干涉仪包括多个层叠设置上的条状干涉仪；

同一所述单层干涉仪中相邻的两个所述条状干涉仪相对的平面之间具有多个分束器；不同的所述分束器的分束比相同或是不同；所述分束器的分束比与所述光自由度相关或是不相关；

同一所述多层干涉仪中，所述单层干涉仪的层叠方向与所述条状干涉仪的层叠方向垂直；

其中，所述单层干涉仪的内部相位通过外部附加设备调节，所述外部附加设备用于调节压力和/或温度。

优选的，在上述干涉系统中，同一所述多层干涉仪中，在所述单层干涉仪的层叠方向：

所述单层干涉仪为等腰直角三角形，所述等腰直角形的底边对应的平面具有反射层；在所述条状干涉仪的层叠方向上，相邻两个所述条状干涉仪之间的交界面平行于所述底边；所述等腰直角形的一个腰边用于垂直入射光线，另一个腰边用于垂直出射光线；

或，所述单层干涉仪为矩形；在所述条状干涉仪的层叠方向上，相邻两个所述条状干涉仪之间的交界面平行于所述矩形的同一对角线；所述矩形的两个临边用于垂直入射光线，另外两个临边用于垂直出射光线；

或，所述单层干涉仪为具有45°顶角的平行四边形；所述平行四边形具有平行设置的第一边以及第二边；平行设置的第三边以及第四边；在所述条状干涉仪的层叠方向上，相邻两个所述条状干涉仪之间的交界面平行于所述第一边；所述第三边用于垂直入射光线，所述第四边用于垂直出射光线；所述第一边以及所述第二边对应的表面具有反射层；

或，所述单层干涉仪中的所述条状干涉仪为具有45°顶角的平行四边形；任意相邻两个条状干涉仪关于二者之间的交界面对称；最外侧的两个所述条状干涉仪背离相邻所述条状干涉仪的表面设置有反射层。

本实用新型还提供了一种多层干涉仪，用于上述干涉系统，所述多层干涉仪包括：

多个层叠设置的单层干涉仪；

所述单层干涉仪包括多个层叠设置上的条状干涉仪；

其中，所述单层干涉仪的层叠方向垂直于所述条状干涉仪的层叠方向。

本实用新型还提供了一种单层干涉仪，用于上述干涉系统，所述单层干涉仪包括：

多个层叠设置的条状干涉仪，相邻两个条状干涉仪之间具有多个分束器。

本实用新型还提供了一种条状干涉仪，用于上述干涉系统，所述条状干涉仪的至少一个表面具有多个分束器。

通过上述描述可知，本实用新型技术方案提供的干涉系统为多通道全连通光学干涉仪，可以通过所述第一多自由度干涉模块以及所述第二多自由度干涉模块实现位于同一路径的不同自由度之间的干涉，进而可以增加通道数目；通过所述路径干涉模块实现位于不同路径的自由度之间的干涉，进而可以实现任意输入通道与任意输出通道的连通功能。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的一种干涉系统的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的一种多层干涉仪的俯视图；

图3为本实用新型实施例提供的一种多层干涉仪的侧视图；

图4为本实用新型实施例提供的另一种多层干涉仪的俯视图；

图5为本实用新型实施例提供的又一种多层干涉仪的俯视图；

图6为本实用新型实施例提供的又一种多层干涉仪的俯视图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

现有技术中，对于干涉系统，分束器三角形排布方式和分束器矩形排布方式在波导集成干涉仪中都已经被实现。但是在自由空间干涉仪中，由于自由空间干涉仪体积庞大而且相位不稳定，目前还没有办法实现干涉系统。

在精密测量和量子信息处理等尖端领域，光学干涉仪的能力由干涉仪的输入光子数和通道数来决定。输入光子数受制于干涉仪的损耗，而通道数受制于干涉仪的相位稳定性。可见，在这些领域，为了提高干涉仪的能力，必须同时降低损耗和提高通道数量。显然，自由空间干涉仪和波导集成干涉仪并不能同时满足这两个需求。

为了解决上述问题，本实用新型实施例提供了一种干涉系统，干涉系统包括：输入端、第一多自由度干涉模块、路径干涉模块、第二多自由度干涉模块以及输出端；

输入端用于输入多路光束；

第一多自由度干涉模块以及第二多自由度干涉模块用于位于同一路径的不同光自由度之间的干涉；

路径干涉模块用于位于不同路径的光自由度之间的干涉；

输出端用于输出多路光束；

输入端输入的光束依次经过第一多自由度干涉模块、路径干涉模块、第二多自由度干涉模块以及输出端后出射。

本实用新型实施例提供的干涉系统可以通过第一多自由度干涉模块以及第二多自由度干涉模块实现位于同一路径的不同自由度之间的干涉，进而可以增加通道数目；通过路径干涉模块实现位于不同路径的自由度之间的干涉，进而可以实现任意输入通道与任意输出通道的连通功能。

同时可以通过设置路径干涉模块具有两个多层干涉仪，通过设置构成多层干涉仪的光源元件阵列可以低损耗、相位稳定以及体积小的优点，实现干涉系统在自由空间干涉仪中的应用。

为了使本实用新型实施例提供的技术方案更加清楚，下面结合附图对上述方案进行详细描述。

参考图1，图1为本实用新型实施例提供的一种干涉系统的结构示意图。该干涉系统包括：输入端1、第一多自由度干涉模块2、路径干涉模块3、第二多自由度干涉模块4以及输出端5。图中箭头用于示意光线的传播方向。

其中，输入端1用于输入多路光束。第一多自由度干涉模块2以及第二多自由度干涉模块4用于位于同一路径的不同光自由度之间的干涉。路径干涉模块3用于位于不同路径的光自由度之间的干涉。输出端5用于输出多路光束。输入端输入的光束依次经过第一多自由度干涉模块、路径干涉模块、第二多自由度干涉模块以及输出端后出射。

本实用新型实施例中，光自由度包括光的偏振自由度、轨道角动量自由度、时间自由度以及能量自由度中的至少一个。需要说明的是，本实用新型实施例中自由度包括但不局限于上述偏振自由度、轨道角动量自由度、时间自由度以及能量自由度。

输入端1包括N个输入端口，N为大于1的正整数，每个输入端口用于容纳一个或是多个光通道，光通道包括自由度。输出端包括N个输出端口，每个输出端口用于容纳一个或是多个光通道。

第一多自由度干涉模块2以及第二多自由度干涉模块4均包括多个多自由度干涉装置。第一多自由度干涉模块2中多自由度干涉装置的个数以及第二多自由度干涉模块4中多自由度干涉装置的个数均与输入端口的个数相同，均为N。

如未设置第一多自由度干涉模块2以及第二多自由度干涉模块4，干涉系统的通道数为N个，设置第一多自由度干涉模块2以及第二多自由度干涉模块4，可以使得通道数为k*N。其中，k是光的内部自由度的个数。如果第一多自由度干涉模块2以及第二多自由度干涉模块4均是利用偏振自由度时，此时第一多自由度干涉模块2以及第二多自由度干涉模块4均是偏振干涉模块，k＝2，可以使得通道数为2N。

在图1所示实施方式中，当N＝9时，干涉系统中的9个输入端口，依次为In1、In2、In3、In4、In5、In6、In7、In8以及In9，对应的具有9个输出端口依次为Out1、Out2、Out3、Out4、Out5、Out6、Out7、Out8以及Out9。

当输入端口为9个时，第一多自由度干涉模块2中多自由度干涉装置的个数以及第二多自由度干涉模块4中多自由度干涉装置的个数均为9。图1中示出了N＝9时，第一多自由度干涉模块2中多自由度干涉装置的个数为9，依次为W1、W2、W3、W4、W5、W6、W7、W8以及W9；第二多自由度干涉模块4中多自由度干涉装置的个数为9，依次为W1、W2、W3、W4、W5、W6、W7、W8以及W9。

当N＝9时，通过设置第一多自由度干涉模块2以及第二多自由度干涉模块4实现18通道干涉仪，如果移除第一多自由度干涉模块2以及第二多自由度干涉模块4，18通道干涉仪将退化为9通道干涉仪。

可选的，多自由度干涉装置是偏振旋转器件、或轨道角动量调节器件、或时间延迟器件、或频率调节器件。具体的，多自由度干涉装置可以为波片、或螺旋相位片或电光调制器。多自由度干涉装置的干涉效果可以调节，通过调节多自由度干涉装置的干涉效果可以调节不同通道之间的连通程度。

当多自由度干涉装置是波片时，多自由度干涉装置包括波片组，波片组采用四分之一波片、二分之一波片和四分之一波片的组合。第一多自由度干涉模块2以及第二多自由度干涉模块4通过波片组实现任意的偏振态的调节。

第一多自由度干涉模块2以及第二多自由度干涉模块4可以增加通道数。如当多自由度干涉装置是波片时，第一多自由度干涉模块2以及第二多自由度干涉模块4用于将单一偏振光旋转到任意的偏振光，二者通过偏振光干涉，实现光在同一路径上的两个偏振通道之间的干涉。

多自由度干涉装置与路径干涉模块相互分离，或是多自由度干涉装置与路径干涉模块集成为一体。也就是说，在光线传播路径上，第一多自由度干涉模块2以及第二多自由度干涉模块4可以分别独立的设置在路径干涉模块3的前后，也可以集成在路径干涉模块3内，直接和路径干涉模块3的分束器等其他光学元件无空气间隙地拼接在一起。

路径干涉模块3包括：两个多层干涉仪31；其中，每一多层干涉仪31包括多个层叠设置的单层干涉仪32；两个多层干涉仪31的单层路径干涉平面相互正交。

如图1所示，两个多层干涉仪31中左侧的多层干涉仪31中各个单层干涉仪32的层叠方向为竖直方向，右侧的多层干涉仪31中各个单层干涉仪32的层叠方向为水平方向。

每个多层干涉仪31包括L层单层干涉仪32，依次为第1层至第L层，L为大于1的正整数。图1中，多层干涉仪31虚线表示相邻两层单层干涉仪32之间的界面。光线入射方向平行于单层干涉仪32。

通过图1所示路径干涉模块3级联了两个多层干涉仪32，两个多层干涉仪31的单层路径干涉平面相互正交，可以实现多通道全连通功能。

单层干涉仪32包括多个层叠设置上的条状干涉仪33。同一单层干涉仪32中相邻的两个条状干涉仪33相对的平面之间具有多个分束器。分束器用于实现两个路径之间的光的干涉。分束器通过镀膜可实现不同的分束比。同一多层干涉仪31中，单层干涉仪32的层叠方向与条状干涉仪33的层叠方向垂直。不同的分束器的分束比相同或是不同。具体的，分束器可以通过镀膜实现不同的分束比。分束器的分束比与光自由度相关或是不相关，如分束比与偏振自由度相关或是不相关。分束比与光自由度相关指分束比可以根据光自由度设置，二者之间具有关联关系。

其中，单层干涉仪32的内部相位通过外部附加设备调节，外部附加设备用于调节压力和/或温度。具体的，当压力和/或温度变化时，会导致光程改变，进而改变内部相位。通过调节压力和/或温度，可以调节不同通道之间的连通程度。

对于同一多层干涉仪31，只有处于同一个水平面的任意两个通道才是连通的，而处于不同水平面的任意两个通道都是不连通的。光线经过两个多层干涉仪31后，实现任意两个输入和输出路径都是连通的。进一步，经过第二多自由度干涉模块4后，任意两个输入和输出通道都是连通的。最后，当多自由度干涉装置是波片时，输出端5的输出端口输出的是任意偏振光，进一步地，可用偏振分束器把水平和竖直偏振分量分束到不同的路径上。

本实用新型实施例提供的干涉系统中，一种实施方式中，多层干涉仪31中的结构可以如图2和图3所示。

参考图2和图3，图2为本实用新型实施例提供的一种多层干涉仪的俯视图，图3为本实用新型实施例提供的一种多层干涉仪的侧视图。图2和图3所示多层干涉仪31具有多个层叠设置的单层干涉仪32。每一个单层干涉仪32具有多个层叠设置的条状干涉仪33。单层干涉仪32包括多个层叠设置上的条状干涉仪33。同一多层干涉仪31中单层干涉仪32的层叠方向与同一单层干涉仪32中条状干涉仪33的层叠方向垂直。

该实施方式中，多层干涉仪31为三棱柱体结构。同一多层干涉仪31中，在单层干涉仪32的层叠方向：单层干涉仪32为等腰直角三角形，如图2所示。等腰直角形的底边对应的平面具有反射层S0，如图2所示，通过发生层S0反射作用改变光线的方向。等腰直角形的一个腰边用于垂直入射光线，另一个腰边用于垂直出射光线。

在条状干涉仪33的层叠方向上，相邻两个条状干涉仪33之间的交界面平行于底边。图2中示出了一个单层干涉仪32具有三个条状干涉仪33，具有交界面21和交界面22。交界面21设置有分束器S1以及分束器S3。交界面22设置有分束器S2。

本实用新型实施例提供的干涉系统中，另一种实施方式中，多层干涉仪31中的结构可以如图4。参考图4，图4为本实用新型实施例提供的另一种多层干涉仪的俯视图。

在图4所示实施方式的多层干涉仪31，多层干涉仪31四棱柱结构。同一多层干涉仪31中，在单层干涉仪32的层叠方向：单层干涉仪32为矩形，如图4所示。在条状干涉仪33的层叠方向上，相邻两个条状干涉仪33之间的交界面平行于矩形的同一对角线；矩形的两个临边用于垂直入射光线，另外两个临边用于垂直出射光线。图4中示出了分束器S1、分束器S2、分束器S3、分束器S4、分束器S5、分束器S6、分束器S7、分束器S8以及分束器S9。

当采用图4所示多层干涉仪31，需要将输入端1中的输入端口分为两组，将第一多自由度干涉模块2中的多自由度干涉装置分为两组。每一个输入端口对应第一多自由度干涉模块2的一个多自由度干涉装置。其中的一组输入端口与第一多自由度干涉模块2的一组多自由度干涉装置用于为第一个多层干涉仪31的一个侧面输入光信息。另一组输入端口与第一多自由度干涉模块2的另一组多自由度干涉装置用于为第一个多层干涉仪31的另一个侧面输入光信息。第一个多层干涉仪31对光信息进行处理后，光信息通过第一个多层干涉仪31的另外两个侧面分别出射。第二个多层干涉仪31的一个侧面直接与第一个多层干涉仪31正对设置，获取第一个多层干涉仪31的对应侧面出射的光信息。第一个多层干涉仪31的另一个侧面出射的光信息通过光学元件改变路径后入射第二个多层干涉仪31的另一个侧面。

光信息在第二个多层干涉仪31中经过处理后从第二个多层干涉仪31的另外两个侧面出射。对应的输出端5的输出端口分为两组，第二多自由度干涉模块4中的多自由度干涉装置分为两组。每一个输出端口对应第二多自由度干涉模块4的一个多自由度干涉装置。其中一组输出端口与对应的第二多自由度干涉模块4的一组多自由度干涉装置用于接收输出第二个多层干涉仪31的一个侧面出射的光信息，另一组输出端口与对应的第二多自由度干涉模块4的另一组多自由度干涉装置用于接收输出第二个多层干涉仪31的另一个侧面出射的光信息。

本实用新型实施例提供的干涉系统中，又一种实施方式中，多层干涉仪31中的结构可以如图5。参考图5，图5为本实用新型实施例提供的又一种多层干涉仪的俯视图。

在图5所示实施方式的多层干涉仪31，多层干涉仪31四棱柱结构。同一多层干涉仪31中，在单层干涉仪32的层叠方向：单层干涉仪32为平行四边形，如图5所示。平行四边形具有平行设置的第一边a以及第二边b；平行设置的第三边c以及第四边d。

在条状干涉仪33的层叠方向上，相邻两个条状干涉仪33之间的交界面平行于第一边a；第三边c用于垂直入射光线，第四边d用于垂直出射光线；第一边a以及第二边b对应的表面具有反射层S0。图5中示出了分束器S1、分束器S2、分束器S3、分束器S4、分束器S5以及分束器S6。

本实用新型实施例提供的干涉系统中，又一种实施方式中，多层干涉仪31中的结构可以如图6。参考图6，图6为本实用新型实施例提供的又一种多层干涉仪的俯视图。

在图6所示实施方式的多层干涉仪31，同一多层干涉仪31中，在单层干涉仪32的层叠方向：单层干涉仪32中的条状干涉仪33为具有45°顶角的平行四边形；任意相邻两个条状干涉仪33关于二者之间的交界面对称；最外侧的两个条状干涉仪背离相邻条状干涉仪的表面设置有反射层。图6中示出了分束器S1、分束器S2、分束器S3以及分束器S4，分别位于两个条状干涉仪33表面的两个反射层S0。

在本实用新型实施例提供的各个多层干涉仪31中，同一单层干涉仪32相邻的条状干涉仪33之间进行无间隙拼接。同一多层干涉仪31中，相邻两层单层干涉仪32之间进行无间隙拼接。通过分离的光学元件进行无空气间隙的拼接，从根本上解决了空气流动带来的相位扰动问题。两个多自由度干涉模块利用的是光的内部自由度，因而相位也不会受空气的影响。

条状干涉仪33为毫米量级的光学元件，进行无间隙拼接改善了自由空间干涉仪体积庞大的缺点，也就是说具有了集成干涉仪的体积小的优点。

分束器以及反射层等光学元件可以通过在条状干涉仪33的对应表面镀膜加工形成，工艺简单，成本低，且体积较小。同一单层干涉仪32中的多个条状干涉仪33利用空间的一个方向进行层叠拼接，多个单层干涉仪32之间利用空间的另一个方向进行层叠拼接。由多个条状干涉仪33立体拼接而成的多层干涉仪31中可以容纳多层入射和出射光束。同一多层干涉仪31中不同层的单层干涉仪32之间相互独立，不连通。采用两个多层干涉仪31级联，设置分别位于不同多层干涉仪31的两个单层干涉仪32相互正交，从而使得不同层之间的输入输出路径全连通。

两个多自由度干涉模块中的多自由度干涉装置可以与分束器一样设置在两个相邻的条状干涉仪33之间，从而将多自由度干涉模块集成在多层干涉仪31中。可以通过设置N以及L的取值实现任意多通道的全连通功能。

通过上述描述可知，本实用新型实施例提供的干涉系统中路径干涉模块3中具有两个级联的多层干涉仪31构成。多层干涉仪31由条状干涉仪33阵列立体拼接而成。条状干涉仪33为低损耗的自由空间光学元件，通过光学拼接技术把条状干涉仪33进行无空隙连接，实现了相位的稳定，同时具有较小的体积。在条状干涉仪33对应光束的入射表面镀有抗反射膜，可以降低损耗。

为了实现立体拼接光学元件方阵的全连通性，本实用新型把多层干涉仪31进行级联。为了进一步增加通道的数量，本实用新型还增加了多自由度的第一多自由度干涉模块2以及第二多自由度干涉模块4。本实用新型在保持超低损耗和干涉相位稳定的前提下，能够大幅度提高光学干涉仪的通道数量。

基于上述实施例，本实用新型实施例还提供了一种多层干涉仪，该多层干涉仪用于上述干涉系统。该多层干涉仪包括：多个层叠设置的单层干涉仪；单层干涉仪包括多个层叠设置上的条状干涉仪。其中，单层干涉仪的层叠方向垂直于条状干涉仪的层叠方向。

需要说明的是，该多层干涉仪的具体实施方式可以参考上述实施例中的多层干涉仪的实现方式，在此不再赘述。

该多层干涉仪中单层干涉仪之间、条状干涉仪之间采用无缝拼接，具有体积小，相位稳定的优点。且可以通过两个多层干涉仪，设置两个多层干涉仪的单层路径干涉平面相互正交，可以实现多通道全连通功能。

基于上述实施例，本实用新型实施例还提供了一种单层干涉仪，该单层干涉仪用于上述干涉系统，可以构成上述多层干涉仪，该单层干涉仪包括：多个层叠设置的条状干涉仪，相邻两个条状干涉仪之间具有多个分束器；不同的所述分束器的分束比相同或是不同。

需要说明的是，该单层干涉仪的具体实施方式可以参考上述实施例中的单层干涉仪的实现方式，在此不再赘述。

该单层干涉仪中各个条状干涉仪之间采用无缝拼接，具有体积小，相位稳定的优点。也可以将同一单层干涉仪中各个条状干涉仪放置在真空中，无需无缝拼接即可实现相位稳定。

基于上述实施例，本实用新型实施例还提供了条状干涉仪，该条状干涉仪用于上述干涉系统，可以构成上述单层干涉仪以及多层干涉仪，该条状干涉仪的至少一个表面具有多个分束器；不同的所述分束器的分束比相同或是不同。

需要说明的是，该条状干涉仪的具体实施方式可以参考上述实施例中的单层干涉仪的实现方式，在此不再赘述。

该条状干涉仪之间采用无缝拼接，形成单层干涉仪，具有体积小，相位稳定的优点。也可以将各个条状干涉仪放置在真空中，无需无缝拼接即可实现相位稳定。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。