微型滑块轴承润滑油膜测量倾角调节装置的制作方法

技术特征：

1.微型滑块轴承润滑油膜测量倾角调节装置，其特征在于，包括双层的机架(5)以及设置在机架(5)上的显微干涉测量单元(3)、玻璃盘回转调整单元(2)、微型滑块固定调节单元(1)与加载单元(4)，所述机架(5)用于支撑和固定各个部件；

所述玻璃盘回转调整单元(2)设置在机架(5)上层表面，玻璃盘回转调整单元(2)包括轴承(207)，轴承(207)的内外表面分别设置轴承内套(209)、轴承外套(206)，轴承外套(206)外凸肩处均布6块压电陶瓷致动器(211)用来对整个单元进行偏转调节，轴承内套(209)内凸肩处放置碟簧(205)，碟簧(205)向上依次设置玻璃盘(201)、和玻璃盘压盘(203)，玻璃盘压盘(203)位于玻璃盘(201)上圆周面，玻璃盘(201)上下边缘均布碟簧(205)；紧定螺钉(202)设置在玻璃盘压盘(203)内用于对玻璃盘(201)进行预固定和初步调平；同步带轮(208)通过轴承(207)与玻璃盘(201)连接从而带动玻璃盘(201)转动；

所述显微干涉测量单元(3)设置在机架(5)底层且位于玻璃盘(201)的下方；

所述微型滑块固定调节单元(1)设置在玻璃盘(201)上面，所述微型滑块固定调节单元(1)包括滑块座(101)，滑块座(101)底部固定微型滑块(103)，微型滑块(103)底部与两侧均设置保护垫片(104)，微型滑块(103)与保护垫片(104)之间通过螺钉(105)固定；滑块座(101)的上部设置有柔性多自由度连接机构，柔性多自由度连接机构上部与压板(401)下端连接；

所述加载单元(4)包括压板(401)，压板(401)的一端固定在压板支座(402)的轴承座(404)上轴承连接，压板(401)的中部竖直设置有平衡机构(403)，平衡机构(403)下方设置有弹簧(405)，弹簧(405)位于压板支座(402)与压板(401)之间；所述压板支座(402)连接到机架(5)上层表面并处于中轴线上。

2.根据权利要求1所述的微型滑块轴承润滑油膜测量倾角调节装置，其特征在于，所述轴承(207)上端设置有轴承压盖(210)。

3.根据权利要求1所述的微型滑块轴承润滑油膜测量倾角调节装置，其特征在于，所述玻璃盘(201)和玻璃盘压盘(203)之间设置有垫片(204)。

4.根据权利要求1所述的微型滑块轴承润滑油膜测量倾角调节装置，其特征在于，所述压电陶瓷致动器(211)上下表面设置有致动器垫片(212)。

5.根据权利要求1所述的微型滑块轴承润滑油膜测量倾角调节装置，其特征在于，通过轴承外套(206)外凸肩处6个固定螺栓(213)，将轴承外套(206)连接到机架(5)上层表面并处于中轴线上。

6.根据权利要求1所述的微型滑块轴承润滑油膜测量倾角调节装置，其特征在于，所述柔性多自由度连接机构为球轴承连接杆(102)。

7.根据权利要求1所述的微型滑块轴承润滑油膜测量倾角调节装置，其特征在于，所述显微干涉测量单元(3)包括支架(301)、精密平移台(302)、同轴光照明显微镜(303)、显微镜套筒(304)与CCD(305)，所述支架(301)上固定精密平移台(302)，精密平移台(302)上通过显微镜套筒(304)固定同轴光照明显微镜(303)，CCD(305)设置在同轴光照明显微镜(303)的下方，并使得同轴光照明显微镜(303)正对微型滑块(103)与玻璃盘(201)的接触区；所述精密平移台(302)设置有三个且相互叠装。