在这里描述的一个或更多个实施方式涉及拾取单元和半导体器件的包括拾取单元的拾取系统。
背景技术：
已经开发了各种半导体器件。一种半导体器件可以通过在晶片上封装半导体芯片被制造。在制造工艺的结尾，可以执行测试程序以检查该器件。测试工艺可以使用通过计算机程序运行的测试装置执行。测试的目的是为了例如检查器件的电性能以及其在严格测试条件下的操作。
测试装置可以包括拾取半导体器件并在托盘上放置半导体器件的拾取装置。拾取装置可以包括配置为真空抽吸半导体器件的多个拾取滚筒。因为用户托盘和测试托盘的形状、尺寸、体积和节距可以不同，所以空间调节器件可以用于调节滚筒之间的距离。用户托盘可以具有相对小的节距以便容纳尽可能多的半导体器件。在这种情况下，测试托盘可以具有相对大的节距以便确保测试装置的可靠性。
技术实现要素：
根据一个或更多个实施方式，一种拾取装置包括：多个拾取器，沿着第一方向滑动，所述多个拾取器中的每个包括与拾取器主体组合的突出部分；以及空间调节器，包括多个空间调节板，所述多个空间调节板中的每个在所述多个拾取器中的相邻拾取器的相应对之间，所述多个拾取器中的每个的突出部分接触所述多个空间调节板中的相邻空间调节板的侧壁，其中所述多个空间调节板中的至少一个沿着交叉第一方向的第二方向移动并且其中所述多个空间调节板中的每个在第一方向上的宽度沿着第二方向变化。
根据一个或更多个实施方式，一种拾取装置包括：多个拾取器，沿着第一方向滑动，所述多个拾取器中的每个包括与拾取器主体组合的突出部分；以及空间调节器，包括多个空间调节板，所述多个空间调节板中的每个在所述多个拾取器中的相邻拾取器的相应对之间，突出部分接触所述多个空间调节板中的相邻空间调节板的侧壁，其中所述多个空间调节板中的每个在第一方向上的宽度通过在空间调节板中的相应空间调节板的侧壁上的突出部分调节。
根据一个或更多个实施方式，一种半导体器件的拾取系统包括：第一托盘，包括彼此间隔开第一距离的多个半导体器件；第二托盘，包括彼此间隔开不同于第一距离的第二距离的多个半导体器件；以及拾取装置，用于将半导体器件传送到第一托盘或第二托盘。该拾取装置包括：多个拾取器，沿着第一方向滑动，所述多个拾取器中的每个包括与拾取器主体组合的突出部分；以及空间调节器，包括多个空间调节板，所述多个空间调节板中的每个在所述多个拾取器中的相邻拾取器的相应对之间，所述多个拾取器中的每个的突出部分接触所述多个空间调节板中的相邻空间调节板的侧壁，其中所述多个空间调节板中的至少一个沿着交叉第一方向的第二方向移动，并且其中所述多个空间调节板的在第一方向上的宽度沿着第二方向变化。
附图说明
对于本领域的技术人员来说，通过参考附图详细描述示例性实施方式，特征将变得明显，其中：
图1示出拾取系统的一实施方式；
图2示出拾取单元的一实施方式；
图3示出拾取单元的一示例透视图；
图4示出拾取单元的另一示例透视图；
图5示出拾取单元的一示例正视图；
图6示出多个拾取器的一实施方式；
图7示出空间调节部件的一实施方式；
图8a至8c示出空间调节部件的另一实施方式；
图9和图10示出拾取单元的操作的实施方式；
图11和图12示出空间调节部件的操作的实施方式；
图13示出加压部分的一实施方式；
图14至图17示出空间调节部件的操作的实施方式；
图18和图19是加压部分的一实施方式；
图20和图21示出空间调节部件的操作的其它实施方式；以及
图22示出拾取单元的另一实施方式。
具体实施方式
图1示出拾取系统10的一实施方式。图2示出图1中的拾取单元100的透视图的一实施方式。图3示出拾取单元100的分解透视图的一实施方式。图4示出当从不同的角度看时，拾取单元100的透视图的一实施方式。图5示出拾取单元100的正视图的一实施方式。图6示出图5中的多个拾取器1000的正视图的一实施方式。图7示出图5中的空间调节部件3000的正视图的一实施方式。
参考图1，拾取系统10可以包括第一托盘t1、第二托盘t2和拾取单元100。拾取单元100可以将半导体器件s传送到第一托盘t1和第二托盘t2。半导体器件s可以在第一托盘t1和第二托盘t2中彼此间隔开不同的距离。拾取单元100可以将半导体器件s从第一托盘t1传送到第二托盘t2，或者可以将半导体器件s从第二托盘t2传送到第一托盘t1。
半导体器件s可以被放置在第一托盘t1中并且彼此间隔开第一距离w1。半导体器件s可以被放置在第二托盘t2中并且彼此间隔开不同于第一距离w1的第二距离w2。第一托盘t1可以是传送已封装的半导体器件s的传送托盘。第二托盘t2可以是将半导体器件s传送到测试台以被测试的测试托盘。拾取单元100可以例如自动地控制所述多个拾取器1000之间的空间，所述多个拾取器1000拾取并放置半导体器件s并且将半导体器件s传送到第一托盘t1和第二托盘t2。
参考图2至图7，拾取单元100可以包括所述多个拾取器1000和空间调节部件(或调节器)3000。拾取器1000可以拾取或放置半导体器件s。空间调节部件3000可以控制拾取器1000之间的距离。
参考图2至图4，拾取器1000可以附接和分离半导体器件s并且可以布置为沿着第一方向(x轴)是可滑动的。拾取器1000之间的距离可以是可控制的。每个拾取器1000可以包括拾取器主体1100、保持部分1700、突出部分1300和第六导轨1500。
拾取器主体1100可以沿着第三方向(y轴)延伸并且可以形成用于附接半导体器件s与保持部分1700或分离半导体器件s与保持部分1700的负压或正压。例如，拾取器主体1100可以形成负压从而用与拾取器主体1100的下部结合的保持部分1700吸取半导体器件s。拾取器主体1100可以形成用于从保持部分1700去除半导体器件s的正压。拾取器主体1100可以在其中直接形成负压或正压，或可以从外部供给源接收负压或正压。
保持部分1700可以布置在拾取器主体1100下面，并且可以在中间部分具有开口，该开口与拾取器主体1100连通。保持部分1700可以由例如弹性材料形成以防止半导体器件s在被保持部分1700吸取时被损坏。保持部分1700可以包括例如橡胶或硅材料。
拾取器1000可以与第六导轨1500组合。第六导轨1500可以引导拾取器1100以使其沿着第一方向(x轴)是可滑动的。第六导轨1500可以是例如在第一方向上(x轴)上延伸的杆构件。
突出部分1300可以与拾取器主体110组合以在第三方向(y方向)上突出。突出部分1300的侧壁可以接触邻近突出部分1300的一对空间调节板3100。在这些实施方式中，当拾取器1000沿着第一方向(x轴)滑动时，突出部分1300可以在接触空间调节板3100的同时滑动。
突出部分1300可以包括至少一个辊1300'。辊1300'可以绕平行于第三方向(y轴)的其自己的轴旋转。辊1300'可以在该对空间调节板3100之间并且可以在接触空间调节板3100的同时旋转。应用于突出部分1300的辊的尺寸(例如辊的直径)可以是相同的。
在示例实施方式中，空间调节部件3000可以包括多个空间调节板3100、第一导轨3300、第二导轨3500和加压部分3700。空间调节板3100可以沿着第一方向(x轴)并排布置。一个突出部分1300可以在一对相邻的空间调节板3100之间。拾取器1000的辊1300'可以在接触该对空间调节板3100的同时在该对空间调节板3100之间。
每个空间调节板3100的宽度可以沿着第二方向(z轴)从上到下逐渐减小。空间调节板3100可以具有关于平行于第二方向(z轴)的轴的对称形状。例如，空间调节板3100可以具有三角形形状。如图7所示，空间调节板3100可以具有倒三角形形状。
在另一实施方式中，空间调节板3100可以具有不同的形状。例如，如图8所示，空间调节板3100可以具有梯形形状(图8a)、半圆形状(图8b)或椭圆形状(图8c)。在一个实施方式中，空间调节板3100可以具有与倒三角形形状对称的三角形形状。
再次参考图2至图4，一些空间调节板3100可以被安装在第一导轨3300中。其他空间调节板3100可以被安装在第二导轨3500中。在这些实施例中，第一导轨3300可以沿着第二方向(z轴)向上和向下是可移动的。因而，安装在第一导轨300中的一些空间调节板3100可以沿着第二方向(z轴)是可移动的。
另一方面，第二导轨3500可以被固定为沿着第二方向不可移动。例如，被安装在第二导轨3500中的一些空间调节板3100可以沿着第二方向(z轴)是不可移动的。在一个实施方式中，第二导轨3500可以沿着第二方向(z轴)可移动并且第一导轨3300可以被固定。
在示例实施方式中，被安装在第一导轨3300和第二导轨3500中的空间调节板3100可以沿着第一方向(x轴)是可滑动的。空间调节板3100可以在第一方向(x轴)上沿着第一导轨3300和第二导轨3500滑动。
加压部分3700可以对位于所述多个拾取器1000的在第一方向(x轴)上的两个边缘处的一对拾取器1000中的至少一个加压。加压部分3700可以朝向所述多个拾取器1000的中间对该对拾取器1000加压。例如，加压部分3700可以对该对拾取器1000加压，从而使突出部分1300和空间调节板3100彼此粘附。由于加压部分3700，突出部分1300和在突出部分1300的两个侧壁中的空间调节板3100可以不彼此间隔开。在一个实施方式中，仅一对加压部分3700可以对拾取器加压。
加压部分3700可以包括例如液压阻尼器、空气阻尼器、弹簧或用于对空间调节板3100和突出部分1300加压以使其彼此粘附的其它加压器件。
在一个实施方式中，加压部分3700可以对位于所述多个拾取器1000的在第一方向(x轴)上的两个边缘处的至少一对拾取器1000直接加压。加压部分3700可以朝向所述多个拾取器1000的中间对该对拾取器1000施压。例如，加压部分3700可以对该对拾取器1000加压，从而使突出部分1300和空间调节板3100彼此粘附。由于加压部分3700，突出部分1300和在突出部分1300的两个侧壁中的空间调节板3100可以不彼此间隔开。
参考图5至图7，多个拾取器主体1100可以沿着第一方向(x轴)布置。拾取器主体1107、1108、1101、1102、1103、1104、1105、1106、1109和1110可以沿着第一方向(x轴)顺序地布置。例如，突出部分1307可以与拾取器主体1107组合，突出部分1308可以与拾取器主体1108组合，突出部分1301可以与拾取器主体1101组合，突出部分1302可以与拾取器主体1102组合，突出部分1303可以与拾取器主体1103组合，突出部分1304可以与拾取器主体1104组合，突出部分1305可以与拾取器主体1105组合，突出部分1306可以与拾取器主体1106组合，突出部分1309可以与拾取器主体1109组合，突出部分1310可以与拾取器主体1110组合。突出部分可以是例如辊。
拾取器主体1107、1108、1101、1102、1103、1104、1105、1106、1109和1110可以沿着第六导轨1500是可滑动的。在这些实施方式中，多个第六导轨1500可以彼此平行地布置。
多个空间调节板3100可以沿着第一方向(x轴)布置。空间调节板3116、3117、3111、3112、3113、3114、3115、3118和3119可以沿着第一方向(x轴)顺序地布置。
连接条3136可以与空间调节板3116组合，连接条3137可以与空间调节板3117组合，连接条3131可以与空间调节板3111组合，连接条3132可以与空间调节板3112组合，连接条3133可以与空间调节板3113组合，连接条3134可以与空间调节板3114组合，连接条3135可以与空间调节板3115组合，连接条3138可以与空间调节板3118组合，连接条3139可以与空间调节板3119组合。连接条3131、3132、3133、3134、3135、3136、3137、3138和3139可以具有例如在第二方向(z轴)上延伸的条形状。
空间调节板3116、3111、3113、3115和3119可以被安装在第一导轨3300中。空间调节板3116、3111、3113、3115和3119可以被安装为在第一方向(x轴)上沿着第一导轨3300是可滑动的。在这些实施方式中，空间调节板3116、3111、3113、3115和3119中的空间调节板3113可以被固定为沿着第一方向(x轴)是不可滑动的。
第一导轨3300可以沿着第二方向(z轴)向上和向下移动。因而，空间调节板3116、3111、3113、3115和3119可以沿着第二方向(z轴)是可移动的。在这些实施方式中，第一导轨3300可以通过电机和滚珠丝杠沿着第二方向(z轴)是可移动的。
空间调节板3117、3112、3114和3118可以被安装在第二导轨3500中。空间调节板3117、3112、3114和3118可以安装为在第二方向(x轴)上沿着第二导轨3500是可滑动的。在这些实施方式中，第二导轨3500可以沿着第二方向(z轴)向上和向下是不可移动的。因而，空间调节板3117、3112、3114和3118可以沿着第二方向(z轴)是不可移动的。
参考图5，空间调节板3116可以在突出部分1307和突出部分1308之间。空间调节板3117可以在突出部分1308和突出部分1301之间。空间调节板3111可以在突出部分1301和突出部分1302之间。空间调节板3112可以在突出部分1302和突出部分1303之间。空间调节板3113可以在突出部分1303和突出部分1304之间。空间调节板3114可以在突出部分1304和突出部分1305之间。空间调节板3115可以在突出部分1305和突出部分1306之间。空间调节板3118可以在突出部分1306和突出部分1309之间。空间调节板3119可以在突出部分1309和突出部分1310之间。
加压部分3700可以分别与突出部分1307和突出部分1310接合。例如，与突出部分1307接合的加压部分3700可以从左向右(当在图5中看时)对突出部分1307加压。与突出部分1310接合的加压部分3700可以从右向左(当在图5中看时)对突出部分1310加压。
图9和图10示出使用空间调节部件3000控制拾取器1000的距离的工艺的实施方式。例如，图9和图10示出图2中的拾取单元与图5中的一部分拾取器1000和一部分空间调节部件3000一起的操作的实施方式。
参考图9，空间调节板3111可以在突出部分1301和突出部分1302之间。空间调节板3112可以在突出部分1302和突出部分1303之间。空间调节板3113可以在突出部分1303和突出部分1304之间。空间调节板3114可以在突出部分1304和突出部分1305之间。空间调节板3115可以在突出部分1305和突出部分1306之间。突出部分1301、1302、1303、1304、1305和1306的中心可以在虚线n上对准。
空间调节板3111、3112、3113、3114和3115可以沿着第一方向(x轴)布置在例如相同的高度。因为空间调节板3111、3112、3113、3114和3115具有相同的倒三角形形状，所以在空间调节板3111、3112、3113、3114和3115之间的突出部分1301、1302、1303、1304、1305和1306之间的距离可以是相同的。突出部分1301、1302、1303、1304、1305和1306中的一对相邻突出部分之间的距离可以是相同的。
因为突出部分之间的距离是相同的，所以拾取器主体1101、1102、1103、1104、1105和1106之间的节距p1可以是相同的。拾取器主体1101、1102、1103、1104、1105和1106中的一对相邻拾取器主体之间的节距p1可以是相同的。
空间调节板3111、3113和3115可以被安装在第一导轨3300中(例如参见图5)。在图9和图10中，第一导轨3300可以被称为虚线a1。空间调节板3112和3114可以被安装在第二导轨3500中。在图9和图10中，第二导轨3500可以被称为虚线a2。
参考图10，第一导轨a1可以沿着第二方向(z轴)向上移动。因而，被安装在第一导轨a1中的空间调节板3111、3113和3115可以沿着第二方向(z轴)向上移动。在这种情况下，因为第二导轨a2不沿着第二方向(z轴)移动，所以空间调节板3112和3114可以不移动。
如图10所示，随着空间调节板3111、3113和3115向上移动，接触空间调节板3111、3113和3115的侧壁的突出部分1301、1302、1303、1304、1305和1306之间的距离可以变化。例如，接触空间调节板3111的侧壁的突出部分1301和1302之间的距离可以减小。接触空间调节板3113的侧壁的突出部分1303和1304之间的距离可以减小。接触空间调节板3115的侧壁的突出部分1305和1306之间的距离可以减小。
在这些实施方式中，突出部分1301和1302之间的距离、突出部分1303和1304之间的距离以及突出部分1305和1306之间的距离可以例如分别由突出部分之间的空间调节板3111、3113和3115的宽度确定。例如，突出部分1301和1302之间的距离可以由空间调节板3111的宽度确定。突出部分1303和1304之间的距离可以由空间调节板3113的宽度确定。突出部分1305和1306之间的距离可以由空间调节板3115的宽度确定。
在图10中，随着空间调节板3111、3113和3115沿着第二方向(z轴)向上移动，在突出部分之间的空间调节板3111、3113和3115的宽度(例如突出部分之间的距离)可以减小。因而，随着突出部分1301和1302之间的距离、突出部分1303和1304之间的距离以及突出部分1305和1306之间的距离分别减小，拾取器主体1101和1102之间的距离、拾取器主体1103和1104之间的距离、以及拾取器主体1105和1106之间的距离可以从节距p1减小为第二节距p2。
另外，突出部分1302和1303之间的距离以及突出部分1304和1305之间的距离可以分别基于突出部分之间的空间调节板3112和3114的宽度被确定。例如，突出部分1302和1303之间的距离可以由突出部分1302和1303之间的空间调节板3112的宽度确定。突出部分1304和1305之间的距离可以由突出部分1304和1305之间的空间调节板3114的宽度确定。在图10中，因为空间调节板3112和3114不沿着第二方向(z轴)移动，所以空间调节板3112和3114的宽度可以保持p1。
在这些实施方式中，第一导轨a1沿着第二方向(z轴)向上移动并且第二导轨a2不移动。在一个实施方式中，第二导轨a2可以沿着第二方向(z轴)向上移动。在这种情况下，因为第二导轨a2在与第一导轨a1相同的高度处向上移动，所以拾取器主体1102和1103之间的距离以及拾取器主体1104和1105之间的距离可以从节距p1减小为第二节距p2。
在一个实施方式中，第二导轨a2可以在与第一导轨a1从其向上移动的高度不同的高度处向上移动。因而，拾取器主体1102和1103之间的距离以及拾取器主体1104和1105之间的距离可以被调整以使得节距不同于图9中的节距p1或节距p2。
图11和12示出图9中的空间调节部件的操作的额外实施方式。参考图11和图12，空间调节板3111、3112、3113、3114和3115可以被安装在第三导轨a3中。随着第三导轨a3沿着第二方向(z轴)向上移动，空间调节板3111、3112、3113、3114和3115可以沿着第二方向(z轴)向上移动。在图9和图10中，空间调节板3111、3112、3113、3114和3115中的一些和空间调节板3111、3112、3113、3114和3115中的其它空间调节板可以被分别安装在第一导轨a1和第二导轨a2中。然而，在图11和图12中，空间调节板3111、3112、3113、3114和3115可以被安装在一个第三导轨a3中。
因而，随着第三导轨a3沿着第二方向(z轴)向上移动，突出部分1301和1302之间的距离、突出部分1302和1303之间的距离、突出部分1303和1304之间的距离、突出部分1304和1305之间的距离以及突出部分1305和1306之间的距离可以从节距p1减小为节距p3。
在图11和图12中，加压部分3700(例如参见图5)可以对突出部分1301和1306加压，由此使空间调节板3111、3112、3113、3114和3115粘附到突出部分1301、1302、1303、1304、1305和1306。加压部分3700可以包括液压阻尼器、空气阻尼器、弹簧、或其它类型的加压装置。
参考图13，弹簧3703可以组合在相邻的空间调节板3111、3112、3113、3114和3115之间。例如，弹簧3703可以连接在空间调节板3111和3112之间，弹簧3703可以连接在空间调节板3112和3113之间，弹簧3703可以连接在空间调节板3113和3114之间，弹簧3703可以连接在空间调节板3114和3115之间。
图14至图17示出图9中的空间调节部件的操作的额外实施方式。参考图14，多个空间调节板3100可以包括第一行空间调节板3140和第二行空间调节板3150。
第一行空间调节板3140可以沿着第一方向(x轴)布置并且可以具有从上到下逐渐增大的宽度。例如，第一行空间调节板3140可以具有三角形形状。在一个实施方式中，第一行空间调节板3140可以具有其它形状，例如梯形形状、半圆形状、椭圆形状或其它形状。
第一行空间调节板3140可以被安装在第四导轨a4中。第四导轨a4可以沿着第二方向(z轴)向上和向下移动。因而，被安装在第四导轨a4中的第一行空间调节板3140可以沿着第二方向(z轴)移动。第一行空间调节板3140可以被安装在第四导轨a4中以沿着第一方向(x轴)是可滑动的。例如，第一行空间调节板3140可以在第一方向(x轴)上沿着第四导轨a4滑动。
第二行空间调节板3150可以沿着第一方向(x轴)布置并且可以具有从上到下逐渐减小的宽度。例如，第二行空间调节板3150可以具有倒三角形形状。例如，第二行空间调节板3150可以具有关于与第一方向(x轴)平行的轴与第一行空间调节板3140对称的形状。
每个第二行空间调节板3150可以在彼此相邻的一对第一行空间调节板3140之间。例如，第二行空间调节板3151可以在一对第一行空间调节板3141和3142之间。第二行空间调节板3152可以在一对第二行空间调节板3142和3143之间。
第二行空间调节板3150可以被安装在第五导轨a5中。第五导轨a5可以沿着第二方向(z轴)向上和向下移动。因而，被安装在第五导轨a5中的第二行空间调节板3150可以沿着第二方向(z轴)移动。第二行空间调节板3150可以被安装在第五导轨a5中以沿着第一方向(x轴)是可滑动的。也就是，第二行空间调节板3150可以在第一方向(x轴)上沿着第五导轨a5滑动。
在这种情况下，第一行空间调节板3140和第二行空间调节板3150可以关于与第一方向(x轴)平行的轴对称并且可以具有相同的尺寸。
第一行空间调节板3141可以在突出部分1301和1302之间。第二行空间调节板3151可以在突出部分1302和1303之间。第一行空间调节板3142可以在突出部分1303和1304之间。第二行空间调节板3152可以在突出部分1304和1305之间。第一行空间调节板3143可以在突出部分1305和1306之间。在图14中，第一行空间调节板3140和第二行空间调节板3150可以被定位成使得成对的相邻突出部分1301、1302、1303、1304、1305和1306之间的距离可以是相同的。
参考图15，第五导轨a5可以沿着第二方向(z轴)向上移动。因而，被安装在第五导轨a5中的第二行空间调节板3150可以沿着第二方向(z轴)向上移动。因为第四导轨a4不沿着第二方向(z轴)移动，所以第一行空间调节板3140可以不移动。
随着第二行空间调节板3150向上移动，突出部分1302和1303之间的距离和突出部分1304和1305之间的距离可以减小，而突出部分1301和1302之间的距离、突出部分1303和1304之间的距离以及突出部分1305和1306之间的距离可以保持相同。
随着突出部分1302和1303之间的距离以及突出部分1304和1305之间的距离减小，拾取器主体1102和1103之间的距离以及拾取器主体1104和1105之间的距离可以从节距p1减小为节距p4。另一方面，拾取器主体1101和1102之间的距离、拾取器主体1103和1104之间的距离、以及拾取器主体1105和1106之间的距离可以保持节距p1。
参考图16，第四导轨a4可以沿着第二方向(z轴)向下移动。因而，被安装在第四导轨a4中的第一行空间调节板3140可以沿着第二方向(z轴)向下移动。因为第五导轨a5不沿着第二方向(z轴)移动，所以第二行空间调节板3150可以不移动。
随着第一行空间调节板3140向下移动，突出部分1301和1302之间的距离、突出部分1303以及1304之间的距离以及突出部分1305和1306之间的距离可以减小，而突出部分1302和1303之间的距离以及突出部分1304和1305之间的距离可以保持相同。
随着突出部分1301和1302之间的距离、突出部分1303和1304之间的距离以及突出部分1305和1306之间的距离减小，拾取器主体1101和1102之间的距离、拾取器主体1103和1104之间的距离以及拾取器主体1105和1106之间的距离可以从节距p1减小为节距p5。另一方面，拾取器主体1102和1103之间的距离以及拾取器主体1104和1105之间的距离可以保持节距p1。
参考图17，第四导轨a4可以沿着第二方向(z轴)向下移动并且第五导轨a5可以沿着第二方向(z轴)向上移动。因而，被安装在第四导轨a4中的第一行空间调节板3140可以沿着第二方向(z轴)向下移动并且被安装在第五导轨a5中的第二行空间调节板3150可以沿着第二方向(z轴)向上移动。
随着第一行空间调节板3140向下移动，突出部分1301和1302之间的距离、突出部分1303和1304之间的距离以及突出部分1305和1306之间的距离可以减小。随着第二行空间调节板3150向上移动，突出部分1302和1303之间的距离以及突出部分1304和1305之间的距离可以减小。
随着突出部分1301和1302之间的距离、突出部分1303和1304之间的距离以及突出部分1305和1306之间的距离减小，拾取器主体1101和1102之间的距离、拾取器主体1103和1104之间的距离以及拾取器主体1105和1106之间的距离可以从节距p1减小为节距p6。
随着突出部分1302和1303之间的距离以及突出部分1304和1305之间的距离减小，拾取器主体1102和1103之间的距离以及拾取器主体1104和1105之间的距离可以从节距p1减小为节距p6。
因而，拾取器主体1101、1102、1103、1104、1105和1106之间的距离可以由于空间调节部件3000而被调整为相同的或不同的，如图14至图17所示。
参考图18，弹簧3705可以组合在彼此相邻的第一行空间调节板3140之间，由此使第一行空间调节板3140、第二行空间调节板3150以及突出部分1301、1302、1303、1304、1305和1306彼此粘附。例如，弹簧3705可以连接在第一行相邻的空间调节板3141和3142之间，弹簧3705可以连接在第一行相邻的空间调节板3142和3143之间。
另外，弹簧3706可以组合在第二行相邻的空间调节板3150之间。例如，弹簧3706可以连接在第二行空间调节板3151和3152之间。
参考图19，线可以连接在第一行空间调节板3140和第二行空间调节板3150之间，由此使第一行空间调节板3140、第二行空间调节板3150以及突出部分1301、1302、1303、1304、1305和1306彼此粘附。在一个实施方式中，弹簧3706可以与所述线组合。
图20和图21示出图9中的空间调节部件的操作的额外实施方式。参考图20，空间调节板3801、3802、3803、3804和3805可以具有管形状。空间调节板3801、3802、3803、3804和3805在第一方向(x轴)上的宽度可以通过外力变化。例如，空间调节板3801、3802、3803、3804和3805可以包括具有弹性的金属管。例如，当没有外力被施加于空间调节板3801、3802、3803、3804和3805上时，空间调节板3801、3802、3803、3804和3805可以具有预定形状，例如如图20所示的椭圆形状或圆形形状。
空间调节板3801可以在相邻的突出部分1301和1302之间。空间调节板3802可以在相邻的突出部分1302和1303之间。空间调节板3803可以在相邻的突出部分1303和1304之间。空间调节板3804可以在相邻的突出部分1304和1305之间。空间调节板3805可以在相邻的突出部分1305和1306之间。
参考图21，因为外力沿第一方向(x轴)被施加于突出部分1301和1306上，所以空间调节板3801、3802、3803、3804和3805的宽度可以减小。因而，突出部分1301和1302之间的距离、突出部分1302和1303之间的距离、突出部分1303和1304之间的距离、突出部分1304和1305之间的距离、以及突出部分1305和1306之间的距离可以减小。
因此，拾取器主体1101和1102之间的距离、拾取器主体1102和1103之间的距离、拾取器主体1103和1104之间的距离、拾取器主体1104和1105之间的距离以及拾取器主体1105和1106之间的距离可以从节距p1减小为节距p7。
参考图22，根据本实施方式的应用于半导体器件的拾取系统10的拾取单元100可以包括第一行拾取单元110和第二行拾取单元130。第一行拾取单元110和第二行拾取单元130可以沿着第三方向(y轴)彼此间隔开。例如，在这个实施方式中，可以布置多个图2中的拾取单元100。第一行拾取单元110和第二行拾取单元130在第三方向(y轴)上分隔开的距离l可以被控制。
根据上述实施方式中的一个或更多个，半导体器件的拾取系统可以与设置在第一托盘和第二托盘t2中的半导体器件之间的不同距离对应地自动调整拾取单元的多个拾取器之间的距离。
在这里已经公开了示例实施方式，虽然采用了专用术语，但是它们仅以一般性和描述性意义被使用和解释而不用于限制。在一些情况下，如在提交本申请时起对于本领域的普通技术人员来说可能显然的是，结合特定实施方式描述的特征、特性和/或元件可以单独地使用或者可以与结合其它实施方式描述的特征、特性和/或元件一起使用，除非另外地特别指出。因此，形式和细节中的各种变化可以进行，而不脱离在权利要求中阐述的实施方式的精神和范围。
2017年3月28日提交的发明名称为“pickupunitandpickupsystemofsemiconductordeviceincludingthesame(拾取单元和半导体器件的包括该拾取单元的拾取系统)”的第10-2017-0039078号韩国专利申请通过引用被合并于此。