1.一种石英盘式谐振微机械陀螺谐振子的制造方法，其特征在于：包括如下步骤：
(1)刻蚀碳化硅晶圆，制作与盘式谐振子微结构相对应的刻蚀槽；
(2)将石英玻璃与刻蚀完成的碳化硅晶圆进行键合，形成晶圆键合结构；
(3)对晶圆键合结构进行加热，直至石英玻璃均匀灌入碳化硅晶圆的刻蚀槽内，停止加热；
(4)对灌入石英玻璃的碳化硅晶圆进行减薄抛光，去除刻蚀槽以外石英玻璃；
(5)去除碳化硅，完成石英盘式谐振子结构释放。
2.根据权利要求1所述的一种石英盘式谐振微机械陀螺谐振子的制造方法，其特征在于：所述步骤(1)中刻蚀碳化硅晶圆，采用干法刻蚀工艺刻蚀碳化硅晶圆制作刻蚀槽。
3.根据权利要求1所述的一种石英盘式谐振微机械陀螺谐振子的制造方法，其特征在于：所述刻蚀槽的深度对应谐振子微结构的设计厚度。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的一种石英盘式谐振微机械陀螺谐振子的制造方法，其特征在于：刻蚀槽为同心圆环结构，圆环之间通过连接槽连通。
5.根据权利要求1～3中任一项所述的一种石英盘式谐振微机械陀螺谐振子的制造方法，其特征在于：刻蚀槽深度为100μm，连接槽宽度为30μm，深度为100μm。
6.根据权利要求1所述的一种石英盘式谐振微机械陀螺谐振子的制造方法，其特征在于：碳化硅晶圆和石英玻璃在真空状态通过低温键合工艺进行键合。
7.根据权利要求1所述的一种石英盘式谐振微机械陀螺谐振子的制造方法，其特征在于：所述步骤(3)对晶圆键合结构进行加热以高于石英玻璃软化点的温度进行。
8.根据权利要求7所述的一种石英盘式谐振微机械陀螺谐振子的制造方法，其特征在于：所述温度采用1800℃。
9.根据权利要求1所述的一种石英盘式谐振微机械陀螺谐振子的制造方法，其特征在于：所述步骤(5)去除碳化硅采用干法刻蚀工艺，具体为：将完成减薄抛光的晶圆从正面粘贴石英玻璃片进行保护，采用干法刻蚀工艺从背面去除碳化硅。