三氯化硼分析采样装置的制作方法

本实用新型涉及三氯化硼分析采样装置，属于化工设备技术领域。

背景技术：

在三氯化硼的分析过程中，主要有以下几种情况；

1,三氯化硼容易在分析管道中液化,三氯化硼的液化在定量环中或者管路中后由气体带入到采样系统中，导致仪器检测器过载，造成检测器损坏或者定量偏差较大。

2，三氯化硼容易与分析管路及吹扫气路上吸附的微量水反应生成固体的硼酸或者B2O3,造成管道的堵塞，从而会损坏仪器。

3，三氯化硼容易吸附在采样管壁上，即使关闭前端阀门，三氯化硼依然会吸附在管壁上，长期会腐蚀管壁和增加操作人员的健康危害风险。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题在于：提供三氯化硼分析采样装置，它解决了三氯化硼在进行分析采样时遇到由气体带到采样系统中，导致仪器检测器过载，造成检测器损坏或者定量偏差较大、三氯化硼易与微量水反应生成固体的硼酸或者B2O3,堵塞管道，损坏仪器和三氯化硼易吸附在采样管壁上，长期会腐蚀管壁和增加操作人员的健康危害风险的问题。

本实用新型所要解决的技术问题采取以下技术方案来实现：

三氯化硼分析采样装置，包括三氯化硼储罐、吹扫系统、连接系统、加热系统和文丘里真空系统，所述吹扫系统包括氦气钢瓶、第一减压器和纯化器，所述氦气钢瓶的顶端通过管路与第一减压器相连通，所述第一减压器的另一端通过管路与纯化器相连通，所述连接系统包括连接接头和三氯化硼储罐阀门，所述连接接头为三通接头，且所述连接接头的第一端通过第一管路与纯化器相连通，所述连接接头的第二端通过第二管路与三氯化硼储罐相连通，所述加热系统包括加热器和第二减压器，所述连接接头的第三端用过第三管路与加热器相连通，所述加热器的一端通过第一采样管路与第二减压器相连通，所述文丘里真空系统包括流量计、文丘里真空发生器和分析仪，所述第二减压器的另一端通过第二采样管路与分析仪相连通，所述文丘里真空发生器的一端连通有第三采样管路，所述第三采样管路的一端与流量计相连通，所述流量计的一端通过第四采样管路与分析仪相连通，所述第三采样管路的另一端与第二采样管路相连通，所述文丘里真空发生器的另一端连通有尾气处理器，所述尾气处理器的一侧通过第四管路与第三采样管路相连通，所述尾气处理器的另一侧通过第五管路与三氯化硼储罐相连通。

作为优选实例，第一管路上、第三管路上、第四管路上、第五管路上、第二采样管路上和第三采样管路的两端均设有阀门。

作为优选实例，所述加热器的加热温度范围为20-100℃，所述第一减压器和第二减压器的压力范围为0.1bar-1.0bar。

作为优选实例，所述第一采样管路、第二采样管路、第三采样管路、第四采样管路和第二减压器上均设有伴热带。

本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单，采用加热器对氦气钢瓶通入的气体进行加热，然后利用伴热带对第一采样管路、第二采样管路、第三采样管路和第四采样管路保温且伴热，接着进入分析仪中进行采样分析，以此来解决三氯化硼的液化问题；采用纯化器对吹扫出的氦气进行纯化，进一步脱出吹扫氦气的水分，采用加热器加热的方式脱出第一采样管路、第二采样管路、第三采样管路和第四采样管路的水分，以避免水分和三氯化硼的接触反应堵塞分析仪、流量计及第一采样管路、第二采样管路、第三采样管路和第四采样管路；采用了文丘里真空发生器抽真空的方式来解决三氯化硼吸附的问题，在采样完成后，对第一采样管路、第二采样管路、第三采样管路和第四采样管路进行抽真空，实现去除第一采样管路、第二采样管路、第三采样管路和第四采样管路中总残余三氯化硼的目的。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图中：三氯化硼储罐1、氦气钢瓶2、第一减压器3、纯化器4、尾气处理器5、加热器6、第二减压器7、流量计8、文丘里真空发生器9、分析仪10。

具体实施方式

为了对本实用新型的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。

如图1所示，三氯化硼分析采样装置，包括三氯化硼储罐1、吹扫系统、连接系统、加热系统和文丘里真空系统，吹扫系统包括氦气钢瓶2、第一减压器3和纯化器4，氦气钢瓶2的顶端通过管路与第一减压器3相连通，第一减压器3的另一端通过管路与纯化器4相连通，连接系统包括连接接头和三氯化硼储罐1阀门，连接接头为三通接头，且连接接头的第一端通过第一管路与纯化器4相连通，连接接头的第二端通过第二管路与三氯化硼储罐1相连通，加热系统包括加热器6和第二减压器7，连接接头的第三端用过第三管路与加热器6相连通，加热器6的一端通过第一采样管路与第二减压器7相连通，文丘里真空系统包括流量计8、文丘里真空发生器9和分析仪10，第二减压器7的另一端通过第二采样管路与分析仪10相连通，文丘里真空发生器9的一端连通有第三采样管路，第三采样管路的一端与流量计8相连通，流量计8的一端通过第四采样管路与分析仪10相连通，第三采样管路的另一端与第二采样管路相连通，文丘里真空发生器9的另一端连通有尾气处理器5，尾气处理器5的一侧通过第四管路与第三采样管路相连通，尾气处理器5的另一侧通过第五管路与三氯化硼储罐1相连通。

第一管路上、第三管路上、第四管路上、第五管路上、第二采样管路上和第三采样管路的两端均设有阀门。

加热器6的加热温度范围为20-100℃，第一减压器3和第二减压器7的压力范围为0.1bar-1.0bar。

第一采样管路、第二采样管路、第三采样管路、第四采样管路和第二减压器7上均设有伴热带，伴热带带有温控装置，伴热带的温度由温控装置控制，温控装置为型号为MAXVU的温控表。

氦气通过第一减压器3减压后，进入到纯化器4，使脱出水分至小于0.1ppm。

在连接三氯化硼储罐1前，需要用干燥好的氦气对连接接头及三氯化硼储罐1的阀门接口进行吹扫，以去除这些第一管路、第二管路和第三管路的水分。

连接系统吹扫完成后，三氯化硼通过第三管路进入到加热器6，加热器6加热到50℃，接着从加热器6的顶部排出至第二减压器7，第二减压器7压力调节为0.5bar。

从加热系统和第一减压器3、第二减压器7都需采用40W的恒温40℃的伴热带进行进一步的加热保温，以免三氯化硼的液化，40W和40℃由型号为MAXVU的温控表控制。

工作原理：在使用时，采用加热器6对氦气钢瓶2通入的气体进行加热，然后利用伴热带对第一采样管路、第二采样管路、第三采样管路和第四采样管路保温且伴热，接着进入分析仪10中进行采样分析，以此来解决三氯化硼的液化问题；采用纯化器4对吹扫出的氦气进行纯化，进一步脱出吹扫氦气的水分，采用加热器6加热的方式脱出第一采样管路、第二采样管路、第三采样管路和第四采样管路的水分，以避免水分和三氯化硼的接触反应堵塞分析仪10、流量计8及第一采样管路、第二采样管路、第三采样管路和第四采样管路；采用了文丘里真空发生器9抽真空的方式来解决三氯化硼吸附的问题，在采样完成后，对第一采样管路、第二采样管路、第三采样管路和第四采样管路进行抽真空，实现去除第一采样管路、第二采样管路、第三采样管路和第四采样管路中总残余三氯化硼的目的。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。