技术总结
本发明公开了一种基于激光烧蚀平面叉指电极气体传感器的制备方法，该气体传感器主要包括加热装置、叉指电极和气敏薄膜三部分。在叉指电极基片上磁控溅射金属薄膜，利用激光光束将金属薄膜烧蚀分割为两部分，即可形成叉指电极；叉指电极的电极宽度、电极长度和电极间距分别通过激光切割机载物台的X轴、Y轴扫描空程和激光光斑大小进行有效地控制。在上述激光烧蚀分割的平面叉指电极上表面，可直接进行气敏薄膜制备。将制备气敏薄膜的平面叉指电极和加热装置进行叠放，夹持叉指电极基片和加热装置基片在保护气体氛围下共烧结，即可实现基于激光烧蚀平面叉指电极气体传感器的制备。实验结果证明。
技术研发人员：商世广;赵玲;张文倩;董军
受保护的技术使用者：西安邮电大学
技术研发日：2019.03.19
技术公布日：2019.06.14