技术总结
本发明属于气体标准物质的研制制备领域，尤其是涉及一种氮中砷化氢气体标准物质的制备装置及方法。采用冷却和液氮气化吹扫的方式使具有具体剧毒的气态砷化氢在转移过程保持液态，避免了其泄露造成事故的可能性同时完全无残留转移，同时使用的吹扫气体即为稀释气体，不会影响配制结果，总的氮气用量可以通过质量比较仪计量的方式获得，保证了精确性。该方法操作起来安全便捷，精确度高，并且所获得的氮中砷化氢气体标准物质具有良好的均一性和稳定性。
技术研发人员：荀其宁;张文申;许峰;邓卫华;赵晓刚;侯倩倩;刘霞;毛如增;任万杰;王鹏
受保护的技术使用者：山东非金属材料研究所
技术研发日：2019.04.12
技术公布日：2019.06.14