探针托盘的制作方法

本实用新型涉及一种探针托盘。

背景技术：

通常，在作为用于制作半导体的封装(package)之前的步骤的晶圆步骤中，为了检查有无异常，会使用探针卡。

探针卡包括与晶圆接触而接收信号的探针10、从探针10接收信号并将信号传递至测试仪(tester)的pcb、以及在探针与pcb之间传递信号的空间变换器(spacetransformer)。

就探针10而言，如图1所示，由把持探针10的机械臂20移送探针10而将探针10安放于探针卡电极30，并用激光器熔化焊料来粘接于探针卡电极30。

如图2所示，机械臂20把持被安装在探针托盘40的探针10而移送至探针卡电极30，且在探针10被粘接于探针卡电极30的期间内持续进行把持。

此时，当探针10未被准确地安装于探针托盘40时，存在如下问题，即，机械臂20的把持无法正常进行，并且，即使探针10被把持，探针10也无法被正常地粘接于探针卡电极30。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于，提供一种探针托盘。

上述本实用新型的目的可以通过如下技术方案实现。

本实用新型的实施例提供一种探针托盘，包括：本体部，其由非金属材质构成；插入孔，其以具有能够插入所述探针的下侧的一部分的深度的方式形成于所述本体部；以及磁性部，其位于所述本体部的下部且至少朝向上方向具有磁性。

所述探针托盘包括：开口部，其形成于所述插入孔的上部，且形成为由上部越趋向下部宽度越窄的形状。

所述磁性部设置为，所述插入孔的上部与所述磁性部的间距大于所述插入孔的深度，以便能够顺利地分离所述探针。

所述磁性部是钕材质。

所述磁性部是通过输入电来产生磁性的电磁铁。

本实用新型的效果如下。

首先，由于通过磁性部的磁性向下方拉探针，因而具有探针能够被插入至插入孔的内侧的效果。

此外，由于通过开口部滑动，因而具有探针能够被准确地插入于插入孔的效果。

此外，由于可以省略将探针插入于插入孔的作业者将探针一直推到与插入孔的下部接触的动作，因而能够简化工程，并防止探针的损伤。

附图说明

图1是示出探针被粘接于探针卡电极的形态的图。

图2是示出以往的探针托盘的截面的图。

图3是示出本实用新型的实施例的探针托盘的截面的图。

符号说明

10：探针，20：机械臂，30：探针卡电极，40：探针托盘，100：本体部，200：插入孔，210：开口部，300：磁性部。

具体实施方式

机械臂20把持被安装在探针托盘40的探针10而移送至探针卡电极30，且在探针10被粘接于探针卡电极30的期间内持续进行把持。

此时，当探针10未被准确地安装于探针托盘40时，存在如下问题，即，机械臂20的把持无法正常进行，并且，即使探针10被把持，探针10也无法被正常地粘接于探针卡电极30。

为了解决这样的问题，如图3所图示，本实用新型的实施例的探针托盘40可以包括本体部100、插入孔200、以及位于本体部100的下部且至少朝向上方向具有磁性的磁性部300。

探针10由金属材质构成，本体部100由非金属材质构成。

插入孔200以具有能够插入探针10的下侧的一部分的深度的方式形成于本体部100。

优选插入孔200能够插入探针10的至少一半以上。

例如，当探针10的高度y1为1mm时，插入孔200的深度y2可以是至少550μm以上。

磁性部300位于本体部100的下部且至少朝向上方向具有磁性。

探针10从形成为上部被开口的插入孔200的上部被插入，并通过磁性部300的磁性被拉而与插入孔200的下部接触。

此时，当本体部100为金属时，由于本体部100自身会带有磁性，因而探针10会不再被进一步插入而粘附于插入孔200的侧壁。

因此，优选本体部100是非金属材质，且是磁性能够通过的材质。

例如，本体部100可以是陶瓷材质。

如图3所图示，本实用新型的实施例的探针托盘40包括开口部210。

开口部210形成于插入孔200的上部，并且，形成为由上部越趋向下部宽度越窄。

图3的左侧探针10图示了探针10触及开口部210而滑动地插入于插入孔200的形态，即使探针10不被准确地垂直地插入于插入孔200，仍通过开口部210滑动，使得插入角度被变更为与插入孔200垂直，从结果而言，探针10被垂直地插入于插入孔200。

探针10的直径x1形成得比插入孔200的直径x2小10～30μm，从而能够确保探针10触及开口部210而滑动以便能够变更插入角度的余裕空间。

如此，具有探针10能够通过开口部210滑动而被准确地插入于插入孔200的效果。

此外，由于可以省略将探针10插入于插入孔200的作业者将探针10一直推到与插入孔200的下部接触的动作，因而能够简化工程，并防止探针10的损伤。

磁性部300设置为，插入孔200的上部与磁性部300的间距y3可以大于插入孔200的深度y2，以便能够顺利地分离探针10。

当磁性部300与插入孔200贴紧而形成时，在机械臂20把持而移送探针10时，探针10被磁性拉的力较强，因而机械臂20需要用必要以上的强的力把持探针10。

因此，优选磁性部300和插入孔200被本体部100隔开规定间距。

优选磁性部300以多个插入孔200位于上部的方式形成为板材形状，但也可以根据需要而形成为与各个插入孔200对应的形状。

磁性部300可以是通常带有磁性的磁性(magnetic)材质，例如，磁性部300可以是钕(neodymium)材质。

此外，磁性部300可以是通过输入电来产生磁性的电磁铁。

技术特征：

1.一种探针托盘，其特征在于，包括：

本体部，其由非金属材质构成；

插入孔，其以具有能够插入所述探针的下侧的一部分的深度的方式形成于所述本体部；以及

磁性部，其位于所述本体部的下部且至少朝向上方向具有磁性。

2.根据权利要求1所述的探针托盘，其特征在于，包括：

开口部，其形成于所述插入孔的上部，且形成为由上部越趋向下部宽度越窄的形状。

3.根据权利要求2所述的探针托盘，其特征在于，

所述磁性部设置为，所述插入孔的上部与所述磁性部的间距大于所述插入孔的深度，以便能够顺利地分离所述探针。

4.根据权利要求2所述的探针托盘，其特征在于，

所述磁性部是钕材质。

5.根据权利要求2所述的探针托盘，其特征在于，

所述磁性部是通过输入电来产生磁性的电磁铁。

技术总结
本实用新型涉及一种探针托盘，包括：本体部，其由非金属材质构成；插入孔，其以具有能够插入所述探针的下侧的一部分的深度的方式形成于所述本体部；以及磁性部，其位于所述本体部的下部且至少朝向上方向具有磁性。

技术研发人员：李在桓;姜相赫;郑熙锡
受保护的技术使用者：吉佳蓝科技股份有限公司
技术研发日：2019.10.25
技术公布日：2020.08.21