本发明涉及太阳能电池生产领域。
背景技术:
工业化光伏电池生产过程中,设备的完好性可保证工艺的稳定,而镀膜工艺设备真空泵的漏率问题,直接关系镀膜质量的好坏,由于专业侧漏设备价格高昂,且操作复杂,不利于在生产过程中的应用。
技术实现要素:
本发明所要解决的技术问题是:如何提供一种可快速检测炉管真空泵漏率方法。
本发明所采用的技术方案是:一种检测炉管真空泵漏率方法,按如下步骤进行
步骤一、将待测真空泵安装在炉管上,启动待测真空泵抽真空,检测炉管内部压力是否可以低于50mtorr,如果不能,说明真空泵漏率大于等于2000pal/s;
步骤二、对同一个炉管,首先采用完好的真空泵对炉管抽真空,当炉管内的压力为300mtorr,给炉管通气,保持炉管内的压力不变,每隔一分钟,测量通气流量s与真空泵蝶阀开度γ的对应关系,以γ为横坐标,s为纵坐标,建立直接坐标系,拟合得到斜率为β的一条直线;
步骤三、将待测真空泵安装在炉管上,启动启动待测真空泵抽真空,当炉管内的压力为300mtorr,给炉管通气,保持炉管内的压力不变,观察待测真空泵蝶阀开度γ,待其稳定后得到真空泵蝶阀开度γ0,待测真空泵漏率q漏=pstp*(β/γ0),其中,pstp为炉管内外压力差,pstp取大气压,如果q漏大于等于800pal/s,则得到待测真空泵漏率q漏即为待测真空泵的真实漏率,否则进行步骤四;
步骤四、对同一个炉管,首先采用完好的真空泵对炉管抽真空,当炉管内的压力低于50mtorr时,关闭真空泵,给炉管通气,通气流量逐渐增加,最大达到500sccm,通气流量每增加50sccm,记录一次炉管通气流量,同时计算出炉管压力增加速率ωδp,以为炉管压力增加速率ωδp横坐标,炉管通气流量为纵坐标,建立直接坐标系拟合得到斜率为α的一条直线;
步骤五、将待测真空泵安装在炉管上,启动启动待测真空泵抽真空,当炉管内的压力低于50mtorr时,关闭真空泵,记录每分钟炉管压力增加值,取平均值计为炉管压力增加速率ωδp,待测真空泵真实漏率q漏修=pstp*(ωδp/α),pstp为炉管内外压力差,pstp取大气压,q漏修小于800pal/s。
本发明的有益效果是:本发明专利提出了一种检测炉管真空泵漏率方法,可针对不同漏率使用,成本低且操作简单,有利于工业化生产中的推广应用。
具体实施方式
一种检测炉管真空泵漏率方法,安如下步骤进行
步骤一、将待测真空泵安装在炉管上,启动待测真空泵抽真空,检测炉管内部压力是否可以低于50mtorr,如果不能,说明真空泵漏率大于等于2000pal/s;真空泵的漏率大于等于2000pal/s时,人工可以直接观察到,不需要进行测试检测。
步骤二、对同一个炉管,首先采用完好的真空泵对炉管抽真空,当炉管内的压力为300mtorr,给炉管通气,保持炉管内的压力不变,每隔一分钟,测量通气流量s与真空泵蝶阀开度γ的对应关系,以γ为横坐标,s为纵坐标,建立直接坐标系,拟合得到斜率为β的一条直线;通气流量s与真空泵蝶阀开度γ成直线关系。
步骤三、将待测真空泵安装在炉管上,启动启动待测真空泵抽真空,当炉管内的压力为300mtorr,给炉管通气,保持炉管内的压力不变,观察待测真空泵蝶阀开度γ,待其稳定后得到真空泵蝶阀开度γ0,待测真空泵漏率q漏=pstp*(β/γ0),其中,pstp为炉管内外压力差(炉管内的压力为300mtorr相对于外界的大气压压力很小),计算时pstp取大气压,如果q漏大于等于800pal/s,则得到待测真空泵漏率q漏即为待测真空泵的真实漏率,否则进行步骤四;
步骤四、对同一个炉管,首先采用完好的真空泵对炉管抽真空,当炉管内的压力等于30mtorr时,关闭真空泵,给炉管通气,通气流量逐渐增加,最大达到500sccm,通气流量每增加50sccm,记录一次炉管通气流量,同时计算出炉管压力增加速率ωδp,以为炉管压力增加速率ωδp横坐标,炉管通气流量为纵坐标,建立直接坐标系拟合得到斜率为α的一条直线;
步骤五、将待测真空泵安装在炉管上,启动启动待测真空泵抽真空,当炉管内的压力低于50mtorr时,关闭真空泵,记录每分钟炉管压力增加值,取平均值计为炉管压力增加速率ωδp,待测真空泵真实漏率q漏修=pstp*(ωδp/α),pstp为炉管内外压力差(炉管内的压力相对于外界的大气压压力来说很小),pstp取大气压,q漏修小于800pal/s。
1.一种检测炉管真空泵漏率方法,其特征在于:安如下步骤进行
步骤一、将待测真空泵安装在炉管上,启动待测真空泵抽真空,检测炉管内部压力是否可以低于50mtorr,如果不能,说明真空泵漏率大于等于2000pal/s;
步骤二、对同一个炉管,首先采用完好的真空泵对炉管抽真空,当炉管内的压力为300mtorr,给炉管通气,保持炉管内的压力不变,每隔一分钟,测量通气流量s与真空泵蝶阀开度γ的对应关系,以γ为横坐标,s为纵坐标,建立直接坐标系,拟合得到斜率为β的一条直线;
步骤三、将待测真空泵安装在炉管上,启动启动待测真空泵抽真空,当炉管内的压力为300mtorr,给炉管通气,保持炉管内的压力不变,观察待测真空泵蝶阀开度γ,待其稳定后得到真空泵蝶阀开度γ0,待测真空泵漏率q漏=pstp*(β/γ0),其中,pstp为炉管内外压力差,pstp取大气压,如果q漏大于等于800pal/s,则得到待测真空泵漏率q漏即为待测真空泵的真实漏率,否则进行步骤四;
步骤四、对同一个炉管,首先采用完好的真空泵对炉管抽真空,当炉管内的压力低于50mtorr时,关闭真空泵,给炉管通气,通气流量逐渐增加,最大达到500sccm,通气流量每增加50sccm,记录一次炉管通气流量,同时计算出炉管压力增加速率ωδp,以为炉管压力增加速率ωδp横坐标,炉管通气流量为纵坐标,建立直接坐标系拟合得到斜率为α的一条直线;
步骤五、将待测真空泵安装在炉管上,启动启动待测真空泵抽真空,当炉管内的压力低于50mtorr时,关闭真空泵,记录每分钟炉管压力增加值,取平均值计为炉管压力增加速率ωδp,待测真空泵真实漏率q漏修=pstp*(ωδp/α),pstp为炉管内外压力差,pstp取大气压,q漏修小于800pal/s。