一种具有稳定气流的氮气发生器气路装置的制作方法

1.本实用新型涉及光阻干膜生产技术领域，尤其涉及检测作业中的氮气发生器气路装置。


背景技术：

2.光阻干膜的生产中需要使用气相色谱仪(gc)、热失重分析仪(tga)、差示扫描量热仪(dsc)等检测仪器。目前，产生载气的氮气发生器是通过一分二接头形成两条气路(第一气路和第二气路)，其中第一气路直接通向4台gc，第二气路直接通向tga和dsc。gc因生产需要需常通氮气，tga与dsc则按需使用。当使用tga与dsc时，会瞬间增加第二气路的流量，且由于tga与dsc会将多余的氮气排出，导致第二气路氮气需求量过大，使得第一气路的氮气流量发生波动甚至不足，从而影响gc的正常运行与分析结果。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种具有稳定气流的氮气发生器气路装置，以有效解决通向gc气路的氮气流量波动与流量不足的问题，同时为通向tga与dsc的气路提供足够流量的氮气并避免氮气的浪费。
4.本实用新型的目的通过以下技术方案予以实现：
5.本实用新型提供的一种具有稳定气流的氮气发生器气路装置，包括氮气发生器、由氮气发生器分别连接到气相色谱仪的第一气路和连接到热失重分析仪与差示扫描量热仪的第二气路；所述第二气路上、依通往热失重分析仪与差示扫描量热仪前端的方向上，依次设置有阀门、压力表、储气罐，所述压力表设置在储气罐的进气口处。
6.本实用新型具有以下有益效果：
7.(1)本实用新型设计简单，安装方便，易于实现。
8.(2)储气罐起到缓冲作用，解决了由于突然用气引起的气路波动问题。
9.(3)通过调节阀门控制流量，有效解决了gc用气时氮气流量不足与使用dsc、tga时氮气浪费的问题。
附图说明
10.下面将结合实施例和附图对本实用新型作进一步的详细描述：
11.图1是本实用新型实施例的结构示意图。
12.图中：氮气发生器1，气相色谱仪2，第一气路3，热失重分析仪4，差示扫描量热仪5，第二气路6，阀门7，压力表8，储气罐9
具体实施方式
13.图1所示为本实用新型一种具有稳定气流的氮气发生器气路装置的实施例，包括氮气发生器1、由氮气发生器1分别连接到气相色谱仪2的第一气路3和连接到热失重分析仪
4与差示扫描量热仪5的第二气路6。如图1所示，第二气路6上、依通往热失重分析仪4与差示扫描量热仪5前端的方向上，依次设置有阀门7、压力表8、储气罐9，压力表8设置在储气罐9的进气口处。
14.使用过程中，打开热失重分析仪4与差示扫描量热仪5，调节阀门7直至比热失重分析仪4与差示扫描量热仪5正常运行所需用气的总量略大即可，这样能使储气罐9是常满状态，保证起到缓冲作用，减少了由于流量变化而对第一气路3产生的波动；此时剩余的氮气便通过的第一气路3通向气相色谱仪2，保证第一气路3提供的氮气是足量的。


技术特征：
1.一种具有稳定气流的氮气发生器气路装置，包括氮气发生器(1)、由氮气发生器(1)分别连接到气相色谱仪(2)的第一气路(3)和连接到热失重分析仪(4)与差示扫描量热仪(5)的第二气路(6)；其特征在于：所述第二气路(6)上、依通往热失重分析仪(4)与差示扫描量热仪(5)前端的方向上，依次设置有阀门(7)、压力表(8)、储气罐(9)，所述压力表(8)设置在储气罐(9)的进气口处。

技术总结
本实用新型公开了一种具有稳定气流的氮气发生器气路装置，包括氮气发生器、由氮气发生器分别连接到气相色谱仪GC的第一气路和连接到热失重分析仪TGA与差示扫描量热仪DSC的第二气路；所述第二气路上、依通往热失重分析仪TGA与差示扫描量热仪DSC前端的方向上，依次设置有阀门、压力表、储气罐，所述压力表设置在储气罐的进气口处。本实用新型设计简单，安装方便，易于实现，有效解决了通向GC气路的氮气流量波动与流量不足的问题，同时也为通向TGA与DSC的气路提供了足够流量的氮气并避免了氮气的浪费。气的浪费。气的浪费。


技术研发人员：郑彬铭 林燕 林耿弘 胡慧
受保护的技术使用者：长兴（广州）电子材料有限公司
技术研发日：2021.08.25
技术公布日：2022/2/11