专利名称：液体压力传感器的制作方法
技术领域：
本实用新型属于压力测量技术领域，尤其涉及一种新型的液体压力传感器。
在已有技术中，监测机器设备中机油等液体的压力，一般都是采用使机油等液体直接作用于压力传感器的传感芯片的方法，但是机器设备中机油等液体压力的波动经常会对传感器的传感芯片造成冲击，使传感器输出的信号也随之产生不必要的剧烈波动，而且芯片也容易过早疲劳损坏，缩短了传感器的使用寿命。
本实用新型的目的就是克服上述现有技术之不足，提供一种输出信号平稳、使用寿命长的新型液体压力传感器。本实用新型的目的是这样实现的一种液体压力传感器，由传感芯片1和放大电路构成，其特征在于为传感芯片1设置了一个缓冲腔体3，被测压力通过该缓冲腔体作用于传感芯片。
为了更好地实现本实用新型的目的，所述缓冲腔体3为前细后粗的台形空腔。
为了更好地实现本实用新型的目的，为了更好地实现本实用新型的目的，所述缓冲腔体3为前后细、中间粗的台形空腔。
为了更好地实现本实用新型的目的，所述缓冲腔体由一级缓冲腔4和二级缓冲腔3构成。
为了更好地实现本实用新型的目的，所述传感芯片前设置了一个带有节流孔5的节流板2。
采用本实用新型的方案，由于液体压力经缓冲腔或节流板缓冲后才作用于传感芯片，有效地避免了液体压力波动对传感芯片经常性的疲劳冲击，因而可大大延长传感器的使用寿命，并且使输出信号变得平稳。
附
图1是本实用新型一个实施例的原理图。
参看附图1，一级缓冲腔4为一圆柱形空腔，二级缓冲腔体3是一个前后细、中间粗的合形空腔，与放大电路(图中未示出)连接的传感芯片安装在带有节流孔5的节流板2的后面，可接收从节流孔5传递的液体压力，产生变形位移信号，并通过放大电路输出电信号。
权利要求1.一种液体压力传感器，由传感芯片1和放大电路构成，其特征在于为传感芯片1设置了一个缓冲腔体3，被测压力通过该缓冲腔体作用于传感芯片。
2.根据权利要求1所述的液体压力传感器，其特征在于所述缓冲腔体3为前细后粗的台形空腔。
3.根据权利要求1所述的液体压力传感器，其特征在于所述缓冲腔体3为前后细、中间粗的台形空腔。
4.根据权利要求1所述的液体压力传感器，其特征在于所述缓冲腔体由一级缓冲腔4和二级缓冲腔3构成。
5.一种液体压力传感器，由传感芯片1和放大电路构成，其特征在于所述传感芯片前设置了一个带有节流孔5的节流板2。
专利摘要本实用新型的液体压力传感器,由传感芯片1和放大电路构成,芯片1前设置了缓冲腔体3和带有节流孔5的节流板2,被测压力通过缓冲腔体3、节流板2作用于传感芯片1。输出信号平稳、使用寿命长。
文档编号G01L7/02GK2347153SQ9823660
公开日1999年11月3日 申请日期1998年2月9日 优先权日1998年2月9日
发明者程麟源 申请人:程麟源