可校正的化学感测装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种化学感测器，特别是一种可校正的化学感测装置。
【背景技术】
[0002]一般来说，化学感测器随着待测气体或液体的浓度多寡而改变其内部的电阻或电容的物理量，在透过电阻或电容知物理量的变化来反应出所感测知气体或液体的状态。而化学感测气化学感测器常使用于一氧化碳感测器、氧气感测器或湿度感测器等，所以化学感测器的感测信号准确、功能稳定及省电上非常重要。
[0003]并且，化学感测器的制作上需要透过外加的感测材料，例如金属氧化物(二氧化锡，SnO2;二氧化鹤，WO 2)与高分子材料(聚亚酰胺，Polyimide)。然而，在制作化学感测器上，当整片晶圆沉积金属或涂布高分子材料不均匀时，会使得化学感测器的初始值产生变异，进而使得化学感测器所输出的电阻或电容的物理量也会产生误差。因此，化学感测器的初始值的控制上仍有改善的空间。
【发明内容】
[0004]本发明所要解决的技术问题是提供一种可校正的化学感测装置，通过校正阻抗初始值，以降低各可校正的化学感测装置之间的误差。
[0005]为了实现上述目的，本发明提供了一种可校正的化学感测装置，包括感测单元、多个第一接垫、数值读出电路、多个第二接垫。感测单元具有第一阻抗元件与多个第二阻抗元件，第一阻抗元件与第二阻抗元件各自具有第一端与第二端，其中第二阻抗元件的阻抗值不相同。第一接垫用以分别与对应的第一端与第二端耦接。数值读出电路具有第一输入端、第二输入端与输出端。第二接垫用以与对应的第一输入端、第二输入端与输出端耦接。其中，透过调整第一接垫与第二接垫的一连接关系，以校正感测单元的阻抗值，并由耦接输出端的第二接垫输出对应感测单元的阻抗值的感测值。
[0006]在一实施例中，前述第一阻抗元件为电阻，第二阻抗元件为电容。
[0007]在一实施例中，前述第一阻抗元件与第二阻抗元件为电阻。
[0008]在一实施例中，前述数值读出电路为运算放大器。
[0009]如在一实施例中，前述可校正的化学感测装置还包括印刷电路板。此印刷电路板具有多个第三接垫与多个连接线，其中第三接垫分别与对应的第一接垫与第二接垫耦接，连接线与对应的第三接垫耦接，以调整连接关系。
[0010]在一实施例中，前述第三接垫分别与对应的第一接垫与第二接垫透过镑线方式进tx親接。
[0011]本发明的技术效果在于:
[0012]本发明的可校正的化学感测装置，通过配置感测单元、多个第一接垫、数值读出电路、多个第二接垫，且感测单元具有第一阻抗元件与多个第二阻抗元件，而第二阻抗元件的阻抗值不相同，且透过第一接垫分别与对应的第一端与第二端耦接，以及透过第二接垫与对应的数值读区电路的第一输入端、第二输入端与输出端耦接。接着，再透过调整第一接垫与第二接垫的一连接关系，以校正感测单元的阻抗值，并由耦接输出端的第二接垫输出对应感测单元的阻抗值的感测值。如此一来，可有效校正阻抗初始值，以降低各可校正的化学感测装置之间的误差。
[0013]以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的限定。
【附图说明】
[0014]图1为本发明一实施例的可校正的化学感测装置的示意图；
[0015]图2A为图1的可校正的化学感测装置的等效电路图的第一实施范例；
[0016]图2B为图1的可校正的化学感测装置的等效电路图的第二实施范例；
[0017]图3为本发明另一实施例的可校正的化学感测装置的另一示意图；
[0018]图4A为图3的可校正的化学感测装置的等效电路图的第一实施范例；
[0019]图4B为图3的可校正的化学感测装置的等效电路图的第二实施范例。
[0020]其中，附图标记
[0021]100、300可校正的化学感测装置
[0022]110,310 感测单元
[0023]120、320第一阻抗元件
[0024]121、131、141、151、321、331、341、351 第一端
[0025]122、132、142、152、322、332、342、352 第二端
[0026]130、140、150、330、340、350 第二阻抗元件
[0027]161、162、163、164、165、166、167、168 第一接垫
[0028]170数值读出电路
[0029]171第一输入端
[0030]172第二输入端
[0031]173输出端
[0032]181、182、183 第二接垫
[0033]190印刷电路板
[0034]161，、162，、163，、164，、165，、166，、167，、168，、181，、182，、183，第三接垫
[0035]191连接线
【具体实施方式】
[0036]下面结合附图对本发明的结构原理和工作原理作具体的描述:
[0037]以下所列举的各实施例中，将以相同的标号代表相同或相似的元件。
[0038]请参考图1所示，其为本发明一实施例的可校正的化学感测装置的示意图。可校正的化学感测装置100包括感测单元110、多个第一接垫(Pad) 161、162、163、164、165、166、167、168、数值读出电路170、多个第二接垫181、182、183。并且，本实施例的感测单元110、多个第一接垫(Pad)161、162、163、164、165、166、167、168、数值读出电路170、多个第二接垫181、182、183可以系统晶片(System on Chip, SOC)的方式实现。
[0039]感测单元110具有第一阻抗元件120与多个第二阻抗元件130、140、150，第一阻抗元件120具有第一端121与第二端122，第二阻抗元件130具有第一端131与第二端132，第二阻抗元件140具有第一端141与第二端142，第二阻抗元件150具有第一端151与第二端152。并且，第二阻抗元件130、140、150的阻抗值彼此不相同，且阻抗值的大小例如为第二阻抗元件130〉第二阻抗元件140〉第二阻抗元件150。在本实施例中，第一阻抗元件120例如为电阻，而第二阻抗元件130、140、150例如为电容。
[0040]第一接垫161、162、163、164、165、166、167、168 用以分别与对应的第一端 121、131、141、151与第二端122、132、142、152耦接。举例来说，第一接垫161耦接第一端121，第一接垫162耦接第二端122、第一接垫163耦接第一端131，第一接垫164耦接第二端132，第一接垫165耦接第一端141，第一接垫166耦接第二端142，第一接垫167耦接第一端151，第一接垫168耦接第二端152。
[0041]数值读出电路170具有第一输入端171、第二输入端172与输出端173。在本实施例中，数值读出电路170例如为运算放大器，且数值读出电路170的第一输入端171例如为运算放大器的正输入端，数值读出电路170的第二输入端172例如为运算放大器的负输入端，数值读出电路170的输出端173例如为运算放大器的输出端。
[0042]第二接垫181、182、183用以与对应的第一输入端171、第二输入端172与输出端173。举例来说，第二接垫181耦接第一输入端171、第二接垫182耦接第二输入端172，第二接垫183耦接输出端173。
[0043]并且，透过调整第一接垫161、162、163、164、165、166、167、168 与第二接垫 181、182,183的连接关系，以校正感测单元110的阻抗值。在一实施例中，假设将第一接垫162 (即第一阻抗元件120的第二端122)、第一接垫163 (即第二阻抗元件130的第一端131)及第二接垫182 (即数值读出单元170的第二输入端172)耦接，将第一接垫164 (即第二阻抗元件130的第二端132)与第二接垫183 (即数值读出单元170的输出端173)耦接，则可校正的化学感测装置100所形成的等效电路如图2A所示。接着，可通过耦接数值读出单元170的输出端173的第二接垫182输出对应感测单元110的阻抗值(例如对应第二阻抗元件130的阻抗值)的感测值。
[0044]在另一实施例中，假设将第一接垫162 (即第一阻抗元件120的第二端122)、第一接垫163 (即第二阻抗元件130的第一端131)、第一接垫165 (即第二阻抗元件140的第一端141)及第二接垫182 (即数值读出单元170的第二输入端172)耦接，将第一接垫164 (即第二阻抗元件130的第二端132)、第一接垫166 (即第二阻抗元件140的第二端142)与第二接垫183 (即数值读出单元170的输出端173)耦接，则第二阻抗元件130与140以并联的方式耦接，而可校正的化学感测装置100所形成的等效电路如图2B所示。接着，则通过耦接数值读出单元170的输出端173的第二接垫182输出对应感测单元110的阻抗值(例如对应第二阻抗元件130与140并联的阻抗值)的感测值。
[0045]在前述实施例中，第二阻抗元件130与140以并联的方式为例，但本发明不限于此，亦可将第二阻抗元件130与140以串联的方式连接而成。如此一来，可通过调整第一接垫161、162、163、164、165、166、167、168与第二接垫181、182、183的连接关系，以校正感测单元110的阻抗值，以使得各个感测单元110可具有相同的阻抗初始值(例如电容初始值)，进而增加各个可校正的化学感测装置100之间的阻抗初始的误差。另外，前述第二阻抗元件的数量以3个为例，但本发明不限于此，使用者亦可视其需求将第二阻抗元件的数量调整为2个或3个以上。
[0046]进一步来说，可校正的化学感测装置100还包括印刷电路板190。印刷电路板190具有多个第三接垫 161’、162’、163’、164’、165’、166’、167’、168’、181’、182’、183’ 与多个连接线 191。并且，第三接垫 161’、162’、163’、164’、16