金属材料的表面状态的评价装置、透明基材的视认性评价装置、其评价程序及记录有其的 ...的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明设及一种金属材料的表面状态的评价装置、透明基材的视认性评价装置、 其评价程序及记录有其的电脑可读取记录媒体。
【背景技术】
[000引于智能型手机或平板PC等小型电子机器中，由于配线的容易性或轻量性，而采用 可提性印刷配线板（W下，记作FPC)。近年来，通过该些电子机器的高功能化，信号传输速 度的高速化取得进展，于FPC中阻抗（impedance)匹配亦成为重要的要素。作为对于信号 容量增加的阻抗匹配的对策，不断推进成为FPC的基底的树脂绝缘层（例如，聚酷亚胺）的 厚层化。另一方面，FPC虽被实施朝液晶基材的接合或1C晶片的搭载等加工，但此时的位 置对准是经由通过于对铜巧与树脂绝缘层的积层板中的铜巧进行蚀刻后残留的树脂绝缘 层而视认的定位图案来进行，因此，树脂绝缘层的视认性及对其产生影响的积层于树脂绝 缘层的铜巧的表面状态变得重要。
[0003] 作为此种树脂绝缘层的视认性的评价方法，于专利文献1中是观察通过 CCD(charge-coupleddevice,电荷禪合器件）相机隔着树脂绝缘层而拍摄的图像进行评 价。又，于专利文献2中，评价于利用CCD相机自相对于评价对象的树脂绝缘层的水平面呈 30°的角度拍摄到的图像中测试图案是否产生应变而映出。
[0004] [【背景技术】文献]
[000引[专利文献]
[0006] [专利文献1]日本特开2003-309336号公报
[0007] [专利文献2]日本特开2006-001056号公报。
【发明内容】
[000引[发明所欲解决的课题]
[0009] 然而，事实上，若如专利文献1般利用CCD相机观察而单纯地观察图像，则视认性 评价的精度有限，若不于生产线上实际地制作，则无法判断是否可隔着透明基材视认为了 进行位置对准等而设置的标记，于制造成本方面存在问题。即便为如专利文献2般评价于 该图像中测试图案是否产生应变而映出的方法，该情况亦同样。而且，若视认性评价的精度 如此低，则积层于树脂绝缘层的铜巧的表面状态的评价的精度亦变低。
[0010] 本发明提供一种可高效率且准确地评价金属材料的表面状态的金属材料的表面 状态的评价装置、透明基材的视认性评价装置、其评价程序及记录有其的电脑可读取记录 媒体。
[0011] [解决课题的技术手段]
[0012] 本发明者等人经过反复锐意研究，结果发现，于将金属材料贴合于透明基材的至 少一面之后，通过蚀刻去除金属材料，并隔着透明基材拍摄通过蚀刻而去除该金属材料后 存在于透明基材的下方的标记，着眼于自该标记部分的图像获得的观察点-亮度曲线图中 所描绘的标记端部附近的亮度曲线，对该亮度曲线进行评价，由此可不受透明基材的种类 或透明基材的厚度的影响而高效率且准确地评价透明基材的视认性，由此，可高效率且准 确地评价积层于透明基材的金属材料的表面状态。
[0013] 基于W上见解而完成的本发明于一方面中是一种金属材料的表面状态的评价装 置，该装置具备W下手段：摄影手段，其于将金属材料的表面贴合于透明基材的至少一面之 后，通过蚀刻去除上述金属材料的至少一部分，并隔着上述透明基材拍摄于通过蚀刻而去 除该金属材料后存在于上述透明基材的下方的标记；观察点-亮度曲线图制作手段，其对 于通过上述拍摄而获得的图像，沿着横穿所观察到的上述标记的方向测定每个观察点的亮 度而制作观察点-亮度曲线图；及金属材料表面状态评价手段，其于上述观察点-亮度曲线 图中，根据自上述标记的端部起至无上述标记的部分产生的亮度曲线的斜率评价上述透明 基材的视认性，并基于上述视认性的评价结果评价金属材料的表面状态；上述金属材料表 面状态评价手段将自上述标记的端部起至无上述标记的部分产生的亮度曲线的顶部平均 值化与底部平均值化的差设为AB(AB=化一化），使用Sv进行透明基材的视认性的评 价，并基于上述透明基材的视认性的评价结果评价金属材料的表面状态，上述Sv是于在上 述观察点-亮度曲线图中，将表示亮度曲线与化的交点中最接近于上述标记的交点的位置 的值设为tl，将表示于自亮度曲线与化的交点至W化为基准0. 1AB为止的深度范围内， 亮度曲线与0. 1AB的交点中最接近于上述标记的交点的位置的值设为t2时，由下述（1) 式进行定义。
[0014] Sv = (ABX0. l)/(tl - t2) (1)
[0015] 本发明于另一方面中是一种金属材料的表面状态的评价装置，该装置具备W下手 段：摄影手段，其于将金属材料的经表面处理的表面侧贴合于透明基材的至少一面之后，通 过蚀刻去除上述金属材料的至少一部分，并隔着上述透明基材拍摄于通过蚀刻而去除该金 属材料后存在于上述透明基材的下方的标记；观察点-亮度曲线图制作手段，其对于通过 上述拍摄而获得的图像，沿着横穿所观察到的上述标记的方向测定每个观察点的亮度而制 作观察点-亮度曲线图；及金属材料表面状态评价手段，其于上述观察点-亮度曲线图中， 根据自上述标记的端部起至无上述标记的部分产生的亮度曲线的斜率评价上述透明基材 的视认性，并基于上述视认性的评价结果评价金属材料的表面状态；上述金属材料表面状 态评价手段使用AB(AB=化一Bb)及Sv进行透明基材的视认性的评价，并基于上述透 明基材的视认性的评价结果对金属材料的表面状态进行评价，上述AB(AB=化一Bb)是 自上述标记的端部起至无上述标记的部分产生的亮度曲线的顶部平均值化与底部平均值 化的差，上述Sv是于在上述观察点-亮度曲线图中，将表示亮度曲线与化的交点中最接 近于上述标记的交点的位置的值设为tl，将表示于自亮度曲线与化的交点至W化为基准 0. 1AB为止的深度范围内，亮度曲线与0. 1AB的交点中最接近于上述标记的交点的位置 的值设为t2时，由下述（1)式进行定义。
[0016] Sv = (ABX0. l)/(tl - t2) (1)
[0017] 本发明于又一方面中是一种用W使电脑作为本发明的金属材料的表面状态的评 价装置而发挥功能的程序。
[0018] 本发明于又一方面中是一种记录有本发明的程序的电脑可读取记录媒体。
[0019] 本发明于又一方面中是一种金属材料的表面状态的评价方法，该方法是于将金属 材料的表面贴合于透明基材的至少一面之后，通过蚀刻去除上述金属材料的至少一部分， 并隔着上述透明基材拍摄于通过蚀刻而去除该金属材料后存在于上述透明基材的下方的 标记，对于通过上述拍摄而获得的图像，沿着横穿所观察到的上述标记的方向测定每个观 察点的亮度而制作观察点-亮度曲线图，于上述观察点-亮度曲线图中，根据自上述标记的 端部起至无上述标记的部分产生的亮度曲线的斜率评价上述透明基材的视认性，并基于上 述视认性的评价结果对金属材料的表面状态进行评价；上述金属材料的表面状态的评价是 将自上述标记的端部起至无上述标记的部分产生的亮度曲线的顶部平均值化与底部平均 值化的差设为AB(AB=化一化），使用Sv进行透明基材的视认性的评价，并基于上述 透明基材的视认性的评价结果对金属材料的表面状态进行评价，上述Sv是于在上述观察 点-亮度曲线图中，将表示亮度曲线与化的交点中最接近于上述标记的交点的位置的值设 为tl，将表示于自亮度曲线与化的交点至W化为基准0. 1AB为止的深度范围内，亮度曲 线与0. 1AB的交点中最接近于上述标记的交点的位置的值设为t2时，由下述（1)式进行 定义。
[0020]Sv= (ABX0.l)/(tl-t2) (1)
[0021] 本发明于又一方面中是一种金属材料的表面状态的评价方法，该方法是于将金属 材料的经表面处理的表面侧贴合于透明基材的至少一面之后，通过蚀刻去除上述金属材料 的至少一部分，并隔着上述透明基材拍摄于通过蚀刻而去除该金属材料后存在于上述透明 基材的下方的标记，对于通过上述拍摄而获得的图像，沿着横穿所观察到的上述标记的方 向测定每个观察点的亮度而制作观察点-亮度曲线图，于上述观察点-亮度曲线图中，根据 自上述标记的端部起至无上述标记的部分产生的亮度曲线的斜率评价上述透明基材的视 认性，并基于上述视认性的评价结果对金属材料的表面状态进行评价；上述金属材料的表 面状态的评价是使用AB(AB=化一化）及Sv进行透明基材的视认性的评价，并基于上述 透明基材的视认性的评价结果对金属材料的表面状态进行评价，上述ab(ab=化一化） 是自上述标记的端部起至无上述标记的部分产生的亮度曲线的顶部平均值化与底部平均 值化的差，上述Sv是于在上述观察点-亮度曲线图中，将表示亮度曲线与化的交点中最 接近于上述标记的交点的位置的值设为tl，将表示于自亮度曲线与化的交点至W化为基 准0. 1AB为止的深度范围内，亮度曲线与0. 1AB的交点中最接近于上述标记的交点的位 置的值设为t2时，由下述（1)式进行定义。
[002引Sv= (ABX0.l)/(tl-t2) (1)
[0023] 本发明于又一方面中是一种透明基材的视认性评价装置，该装置具备W下手段： 摄影手段，其隔着上述透明基材拍摄存在于透明基材的下方的标记；观察点-亮度曲线图 制作手段，其对于通过上述拍摄而获得的图像，沿着横穿所观察到的上述标记的方向测定 每个观察点的亮度而制作观察点-亮度曲线图；及视认性评价手段，其于上述观察点-亮度 曲线图中，根据自上述标记的端部起至无上述标记的部分产生的亮度曲线的斜率评价上述 透明基材的视认性；上述视认性评价手段将自上述标记的端部起至无上述标记的部分产生 的亮度曲线的顶部平均值化与底部平均值化的差设为AB(AB=化一化），使用Sv进行 视认性的评价，上述Sv是于在上述观察点-亮度曲线图中，将表示亮度曲线与化的交点中 最接近于上述标记的交点的位置的值设为tl，将表示于自亮度曲线与化的交点至W化为 基准0. 1AB为止的深度范围内，亮度曲线与0. 1AB的交点中最接近于上述标记的交点的 位置的值设为t2时，由下述（1)式进行定义。
[0024] Sv = (ABX0. l)/(tl - t2) (1)
[0025] 本发明于又一方面中是一种透明基材的视认性评价装置，该装置具备W下手段： 摄影手段，其隔着上述透明基材拍摄存在于透明基材的下方的标记；观察点-亮度曲线图 制作手段，其对于通过上述拍摄而获得的图像，沿着横穿所观察到的上述标记的方向测定 每个观察点的亮度而制作观察点-亮度曲线图；及视认性评价手段，其于上述观察点-亮度 曲线图中，根据自上述标记的端部起至无上述标记的部分产生的亮度曲线的斜率评价上述 透明基材的视认性；上述视认性评价手段使用AB(AB=化一Bb)及Sv进行视认性的评 价，上述AB(AB=化一Bb)是自上述标记的端部起至无上述标记的部分产生的亮度曲线 的顶部平均值化与底部平均值化的差，上述Sv是于在上述观察点-亮度曲线图中，将表 示亮度曲线与化的交点中最接近于上述标记的交点的位置的值设为tl，将表示于自亮度 曲线与化的交点至W化为基准0. 1AB为止的深度范围内，亮度曲线与0. 1AB的交点中 最接近于上述标记的交点的位置的值设为t2时，由下述（1)式进行定义。
[0026] Sv = (ABX0. l)/(tl - t2) (1)
[0027] 本发明于又一方面中是一种用W使电脑作为本发明的透明基材的视认性评价装 置而发挥功能的程序。
[002引本发明于又一方面中是一种电脑可读取记录媒体，其记录有用W使电脑作为本发 明的透明基材的视认性评价装置而发挥功能的程序。
[0029] 本发明于又一方面中是一种积层体的定位装置，该装置用W进行金属与透明基材 的积层体的定位；具备W下手段：摄影手段，其对于具有标记的上述金属与透明基材的积 层体，隔着上述透明基材拍摄上述标记；观察点-亮度曲线图制作手段，其对于通过上述拍 摄而获得的图像，沿着横穿所观察到的上述标记的方向测定每个观察点的亮度而制作观察 点-亮度曲线图；及定位手段，其于上述观察点-亮度曲线图中，根据自上述标记的端部起 至无上述标记的部分产生的亮度曲线的斜率决定上述积层体的位置；上述定位手段于将自 上述标记的端部起至无上述标记的部分产生的亮度曲线的顶部平均值化与底部平均值化 的差设为ab(ab=化一化），于在上述观察点-亮度曲线图中，将表示亮度曲线与化的 交点中最接近于上述标记的交点的位置的值设为tl，将表示于自亮度曲线与化的交点至 W化为基准0. 1AB为止的深度范围内，亮度曲线与0. 1AB的交点中最接近于上述标记的 交点的位置的值设为t2时，由下述（1)式定义的Sv成为特定值W上的情形时，基于测定出 上述Sv的位置检测上述标记的位置，并基于上述所检测出的标记的位置进行金属与透明 基材的积层体的定位。
[0030] Sv = (ABX0. l)/(tl - t2) (1)
[0031] 本发明于又一方面中是一种积层体的定位装置，该装置用W进行金属与透明基材 的积层体的定位；具备W下手段：摄影手段，其对于具有标记的上述金属与透明基材的积 层体，隔着上述透明基材拍摄上述标记；观察点-亮度曲线图制作手段，其对于通过上述拍 摄而获得的图像，沿着横穿所观察到的上述标记的方向测定每个观察点的亮度而制作观察 点-亮度曲线图；及定位手段，其于上述观察点-亮度曲线图中，根据自上述标记的端部起 至无上述标记的部分产生的亮度曲线的斜率决定上述积层体的位置；上述定位手段使用 AB(AB=化一Bb)及Sv，于AB及Sv成为特定值W上的情形时，基于测定出上述Sv的 位置检测上述标记的位置，并基于上述所检测出的标记的位置进行金属与透明基材的积层 体的定位，上述AB(AB=化一Bb)是自上述标记的端部起至无上述标记的部分产生的亮 度曲线的顶部平均值Bt与底部平均值化的差，上述Sv是于在上述观察点-亮度曲线图 中，将表示亮度曲线与化的交点中最接近于上述标记的交点的位置的值设为tl，将表示于 自亮度曲线与化的交点至W化为基准0. 1AB为止的深度范围内，亮度曲线与0. 1AB的 交点中最接近于上述标记的交点的位置的值设为t2时，由下述（1)式进行定义。
[003引Sv = (ABX0. l)/(tl - t2) (1)
[0033] 本发明于又一方面中是一种用W使电脑作为本发明的积层体的定位装置而发挥 功能的程序。
[0034] 本发明于又一方面中是一种电脑可读取记录媒体，其记录有用W使电脑作为本发 明的积层体的定位装置而发挥功能的程序。
[0035] 本发明于又一方面中是一种印刷配线板（printedwiringboard)的制造方法，该 方法包含W下步骤；使用本发明的定位装置进行印刷配线板的定位，于经定位的上述印刷 配线板安装零件。
[0036] 本发明于又一方面中是一种判定金属与透明基材的积层体所具有的标记是否存 在的装置，该装置具备W下手段：摄影手段，其对于具有标记的上述金属与透明基材的积层 体，隔着上述透明基材拍摄上述标记；观察点-亮度曲线图制作手段，其对于通过上述拍 摄而获得的图像，沿着横穿所观察到的上述标记的方向测定每个观察点的亮度而制作观察 点-亮度曲线图；及判定手段，其于上述观察点-亮度曲线图中，根据自上述标记的端部起 至无上述标记的部分产生的亮度曲线的斜率判定标记是否存在；上述判定手段于将自上述 标记的端部起至无上述标记的部分产生的亮度曲线的顶部平均值化与底部平均值化的差 设为AB(AB=化一化），于在上述观察点-亮度曲线图中，将表示亮度曲线与化的交点 中最接近于上述标记的交点的位置的值设为tl，将表示于自亮度曲线与化的交点至W化 为基准0. 1AB为止的深度范围内，亮度曲线与0. 1AB的交点中最接近于上述标记的交点 的位置的值设为t2时，由下述（1)式定义的Sv成为特定值W上的情形时，判定为上述标记 存在。
[0037] Sv = (ABX0. l)/(tl - t2) (1)
[003引本发明于又一方面中是一种判定金属与透明基材的积层体所具有的标记是否存 在的装置，该装置具备W下手段：摄影手段，其对于具有标记的上述金属与透明基材的积 层体，隔着上述透明基材拍摄上述标记；观察点-亮度曲线图制作手段，其对于通过上述 拍摄而获得的图像，沿着横穿所观察到的上述标记的方向测定每个观察点的亮度而制作观 察点-亮度曲线图；及判定手段，其于上述观察点-亮度曲线图中，根据自上述标记的端 部起至无上述标记的部分产生的亮度曲线的斜率判定标记是否存在；上述判定手段使用 AB(AB=化一Bb)及Sv，于AB及Sv成为特定值W上的情形时，判定为上述标记存在， 上述AB(AB=化一Bb)是自上述标记的端部起至无上述标记的部分产生的亮度曲线的 顶部平均值化与底部平均值化的差，上述Sv是于在上述观察点-亮度曲线图中，将表示 亮度曲线与化的交点中最接近于上述标记的交点的位置的值设为tl，将表示于自亮度曲 线与化的交点至W化为基准0. 1AB为止的深度范围内，亮度曲线与0. 1AB的交点中最 接近于上述标记的交点的位置的值设为t2时，由下述（1)式进行定义。
[0039] Sv = (ABX0. l)/(tl - t2) (1)
[0040] 本发明于又一方面中是一种用W使电脑作为本发明所记载的判定装置而发挥功 能的程序。
[0041] 本发明于又一方面中是一种电脑可读取记录媒体，其记录有用W使电脑作为本发 明所记载的判定装置而发挥功能的程序。
[0042] 本发明于又一方面中是一种检测金属与透明基材的积层体所具有的标记的位置 的装置，该装置具备W下手段：摄影手段，其对于具有标记的上述金属与透明基材的积层 体，隔着上述透明基材拍摄上述标记；观察点-亮度曲线图制作手段，其对于通过上述拍 摄而获得的图像，沿着横穿所观察到的上述标记的方向测定每个观察点的亮度而制作观察 点-亮度曲线图；及检测手段，其于上述观察点-亮度曲线图中，根据自上述标记的端部起 至无上述标记的部分产生的亮度曲线的斜率检测标记的位置；上述检测手段于将自上述标 记的端部起至无上述标记的部分产生的亮度曲线的顶部平均值化与底部平均值化的差设 为AB(AB=化一化），于在上述观察点-亮度曲线图中，将表示亮度曲线与化的交点中 最接近于上述标记的交点的位置的值设为tl，将表示于自亮度曲线与化的交点至W化为 基准0. 1AB为止的深度范围内，亮度曲线与0. 1AB的交点中最接近于上述标记的交点的 位置的值设为t2时，由下述（1)式定义的Sv成为特定值W上的情形时，基于测定出上述Sv 的位置检测上述标记的位置。
[0043] Sv = (ABX0. l)/(tl - t2) (1)
[0044] 本发明于又一方面中是一种检测金属与透明基材的积层体所具有的标记的位置 的装置，该装置具备W下手段：摄影手段，其对于具有标记的上述金属与透明基材的积层 体，隔着上述透明基材拍摄上述标记；观察点-亮度曲线图制作手段，其对于通过上述拍 摄而获得的图像，沿着横穿所观察到的上述标记的方向测定每个观察点的亮度而制作观察 点-亮度曲线图；及检测手段，其于上述观察点-亮度曲线图中，根据自上述标记的端部 起至无上述标记的部分产生的亮度曲线的斜率检测上述标记的位置；上述检测手段使用 AB(AB=化一Bb)及Sv，于AB及Sv成为特定值W上的情形时，基于测定出上述Sv的 位置检测上述标记的位置，上述AB(AB=化一Bb)是自上述标记的端部起至无上述标记 的部分产生的亮度曲线的顶部平均值化与底部平均值化的差，上述Sv是于在上述观察 点-亮度曲线图中，将表示亮度曲线与化的交点中最接近于上述标记的交点的位置的值设 为tl，将表示于自亮度曲线与化的交点至W化为基准0. 1AB为止的深度范围内，亮度曲 线与0. 1AB的交点中最接近于上述标记的交点的位置的值设为t2时，由下述（1)式进行 定义。
[0045] Sv = (ABX0. l)/(tl - t2) (1)
[0046] 本发明于又一方面中是一种用W使电脑作为本发明的检测装置而发挥功能的程 序。
[0047] 本发明于又一方面中是一种电脑可读取记录媒体，其记录有用W使电脑作为本发 明的检测装置而发挥功能的程序。
[0048] 本发明于又一方面中是一种透明基材的视认性评价方法，该方法是于透明基材的 下方设置标记，并利用摄影手段隔着上述透明基材拍摄上述标记，对于通过上述拍摄而获 得的图像，沿着横穿所观察到的上述标记的方向测定每个观察点的亮度而制作观察点-亮 度曲线图，于上述观察点-亮度曲线图中，根据自上述标记的端部起至无上述标记的部分 产生的亮度曲线的斜率评价上述透明基材的视认性；将自上述标记的端部起至无上述标记 的部分产生的亮度曲线的