Icp发光分光分析装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及进行溶液试样所包含的元素(例如微量杂质元素)的分析的ICP(Inductively Coupled Plasma:高频感应親合等离子)发光分光分析装置。
【背景技术】
[0002]ICP发光分光分析装置利用感应耦合等离子(ICP)对ICP发光分光分析中的溶液试样进行原子化或离子化，此时对发出的原子发光线(光谱线)进行分光分析，进行微量杂质的定量分析/定性分析。并且，使用用于使光高效地入射到分光器的会聚光学系统，该分光器用于对原子发光线进行分光分析(专利文献I)。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1:日本特开2011-227054号公报
【发明内容】
[0006]发明所要解决的课题
[0007]但是，在现有的被固定的透镜系统中存在如下问题:因为分光器的入射位置和透镜系统的焦点针对去除由透镜的材质或形状决定的特定波长之后的波长而不同，所以产生会聚率相对于原子发光线的损耗。
[0008]作为针对色差的对策考虑了组合反射镜而成的会聚系统，但存在需要多片反射镜而导致成本增加或由于反射面的劣化等带来的保养效率差等课题。
[0009]本发明是鉴于上述情况而作出的，其目的是提供不用使装置的结构变得复杂、以低成本的方式通过与所测定的波长相应的适当的会聚透镜位置来将原子发光线的损耗限制到最小限的ICP发光分光分析装置。
[0010]解决问题的手段
[0011]本发明的ICP发光分光分析装置具备:感应耦合等离子产生部，其利用感应耦合等离子对分析对象元素进行原子化或离子化，获得原子发光线；会聚透镜，其会聚上述原子发光线；分光器，其在隔着入射窗导入上述原子发光线之后，对上述原子发光线进行分光检测；位置运算部，其根据上述原子发光线的波长，运算上述会聚透镜相对于上述感应耦合等离子产生部以及上述分光器在上述原子发光线的行进方向上的最优位置；和驱动部，其根据上述最优位置，使上述会聚透镜相对于上述感应耦合等离子产生部以及上述分光器相对地进行移动。
[0012]作为本发明的ICP发光分光分析装置的一个方式，例如当设从上述会聚透镜的中心点到由上述感应耦合等离子产生部生成的上述感应耦合等离子的水平距离为A、设从上述会聚透镜的中心点到上述入射窗的水平距离为B、设根据上述原子发光线的波长决定的上述会聚透镜的焦点距离为F时，上述位置运算部运算1/A+1/B = 1/F成立的上述会聚透镜的位置作为上述最优位置。
[0013]发明效果
[0014]基于本发明，根据希望测定的原子发光线的波长利用位置运算部来运算最优位置，并根据运算结果利用驱动部使会聚透镜移动到最优位置。通过使会聚透镜移动到最优位置，能够在全部波长区域中进行高灵敏度的测定，而不会产生由于焦点偏离而引起的灵敏度降低。另外，只要是与波长相应的最优位置，就能够使相对于测定适当强度的原子发光线入射到分光器，并能够发挥可测定10nm至900nm左右的宽范围的波长的ICP发光分光分析装置的性能。
【附图说明】
[0015]图1是示出本发明的ICP发光分光分析装置的一例的概念图。
[0016]图2是示出以本发明的ICP发光分光分析装置的会聚透镜为中心的位置关系的示意图。
[0017]图3是本发明的ICP发光分光分析装置的框图。
[0018]符号说明
[0019]I:ICP发光分光分析装置10:感应耦合等离子产生部18:感应耦合等离子20:会聚部21:会聚透镜22:入射窗23:驱动部24:位置运算部30:分光器33:检测器50:控制部
【具体实施方式】
[0020]以下，根据图1?图3详细地叙述本发明的ICP发光分光分析装置的优选实施方式。
[0021]图1是示出本发明的ICP发光分光分析装置的一例的概念图。
[0022]ICP发光分光分析装置I大致由感应親合等离子产生部10、会聚部20、分光器30和控制部50构成。感应耦合等离子产生部10大致由喷涂室11、喷雾器12、等离子焊炬13、高频线圈14、气体控制部15和高频电源16构成。会聚部20配置于感应耦合等离子产生部10与分光器30之间，具备会聚透镜21、入射窗22、驱动部23和位置运算部24。
[0023]分光器30具备衍射格栅、反射镜等光学部件31和检测器33。
[0024]供给到喷雾器12内的载气(氩气)从喷雾器12的前端向喷涂室11内喷出，根据载气的负压吸引将试样容器17的溶液试样17a吸上来，并从喷雾器12的前端喷射试样。所喷射的溶液试样17a在喷涂室11内可实现粒子的均匀化和气流的稳定化，利用气体控制部15进行控制并导入等离子焊炬13。然后，从高频电源16向高频线圈14流入高频电流，对溶液试样17a的试样分子(或原子)进行加热/激励后产生发光，在等离子焊炬13的上方生成感应耦合等离子18 (以下，表述为等离子)。
[0025]利用等离子18对作为溶液试样17a的分析对象元素进行原子化或离子化后的原子发光线向入射会聚部20进行入射，并利用会聚透镜21进行会聚，然后隔着入射窗22入射到分光器30内。会聚透镜21支承在驱动部23上，根据位置运算部24的指令在会聚部20内相对于分光器30相对地进行移动(参照图中两个箭头)。位置运算部24根据预先输入到由计算机等构成的控制部50中的原子发光线的波长，运算会聚透镜21相对于感应耦合等离子产生部10以及分光器30在原子发光线的行进方向上的最优位置。驱动部23根据运算部24的运算结果使会聚透镜21移动到相对于特定波长最优化的位置(最优位置)。
[0026]原子发光线通过成为真空的分光器30内的光学部件31进行分光，并利用检测器33进行检测。利用分光器30进行分光并检测后的原子发光线利用控制部50进行数据处理来予以分析，根据原子发光线(光谱线)的波长进行溶液试样17a所包含的元素(例如微量杂质元素)的定性分析和根据原子发光线(光谱线)的强度进行元素的定量分析。
[0027]图2是示出以本发明的ICP发光分光分析装置的会聚透镜为中心的位置关系的示意图。
[0028]在图2中，设从会聚透镜21的中心点到在感应耦合等离子产生部10中生成的等离子18的水平距离为A，设从会聚透镜21的中心点到入射窗22的水平距离为B，设由原子发光线的波长决定的会聚透镜21的焦点距离为F。利用1/A+1/B = 1/F来表示等离子1