点测机的多功能晶粒点测电路结构的制作方法

文档序号:9273891
点测机的多功能晶粒点测电路结构的制作方法
【技术领域】
[0001]本申请涉及一种半导体测试用的点测机,特别是涉及LED芯片的测试。
【背景技术】
[0002]LED晶粒需要通过点测机对其进行测试,以获取其光电参数,根据光电参数对LED晶粒进行分选。
[0003]目前用于对硅衬底LED芯片进行测试的点测机包括探针部分、晶粒检测电源装置以及工作台,参看图1所示,前置盒内包括晶粒检测电源装置,前置盒于静电发生器(即静电箱)连接,前置盒的两个端口N端口和P端口分别连接探针装置和工作台。由于硅衬底LED晶粒是垂直结构,以及工作台本身导电特点,将晶粒放在工作台上,探针在点测晶粒的时候即可构成点测回路获取点测数据。
[0004]由于目前市面上的蓝宝石衬底的LED晶粒都是水平结构的,其用到的点测机与硅衬底的LED晶粒不相同,其需要两个探针分别测位于芯片表面上的两个电极,而工作台不导电。
[0005]用于制造硅衬底LED的点测机与用于制造蓝宝石衬底LED的点测机不能通用,如果更换衬底类型,则需要对点测机进行改造,非常不便。
[0006]而对于大功率LED芯片,通常需要多个探针检测芯片,用于检测大功率芯片的设备不能直接用于检测小芯片,设备通用性差。

【发明内容】

[0007]本申请所要解决的第一个技术问题是:提供一种点测机的多功能晶粒点测结构,该结构用于满足不同芯片测试的需求,可以方便实现垂直结构的芯片、水平结构的芯片、小功率芯片和大功率芯片之间切换,提高点测机的通用性。
[0008]本申请所要解决的第二个技术问题是:提供一种多功能点测机,其用于满足不同芯片测试的需求,可以方便实现垂直结构的芯片、水平结构的芯片、小功率芯片和大功率芯片之间切换,提高点测机的通用性。
[0009]为了解决本申请的第一个技术问题,本申请提出一种点测机的多功能晶粒点测电路结构,包括晶粒检测电源装置、晶粒第一电极探针装置以及工作台;其中,晶粒检测电源装置包括分别用于检测晶粒的两个电极的两个引出端,两个引出端中的第一个引出端连接到晶粒第一电极探针装置;以及还包括晶粒第二电极探针装置和选择开关装置;所述两个引出端的第二个引出端连接所述选择开关装置,该开关装置包括两个选择输出,两个选择输出分别连接所述工作台和晶粒第二电极探针装置,对于垂直电极晶粒的点测,选择开关装置接通工作台;对于水平电极晶粒的点测,选择开关接通晶粒第二电极探针装置;所述两个引出端的第一个引出端连接至少两个并接的晶粒第一电极探针装置,其中,它们通过开关并接,在开关接通的时候,所述两个晶粒第一电极探针装置并接。选择开关包括两个选择输出,可以供在两个选择输出之间进行选择接通。
[0010]为了解决上述第二个技术问题,本申请提出一种多功能点测机,包括晶粒检测电源装置、晶粒第一电极探针装置以及工作台;其中,晶粒检测电源装置包括分别用于检测晶粒的两个电极的两个引出端,两个引出端中的第一个引出端连接到晶粒第一电极探针装置;以及还包括晶粒第二电极探针装置和选择开关装置;
[0011]所述两个引出端的第二个引出端连接所述选择开关装置,该开关装置包括两个选择输出,两个选择输出分别连接所述工作台和晶粒第二电极探针装置,对于垂直电极晶粒的点测,选择开关装置接通工作台;对于水平电极晶粒的点测,选择开关接通晶粒第二电极探针装置;
[0012]所述两个引出端的第一个引出端连接至少两个并接的晶粒第一电极探针装置,其中,它们通过开关并接,在开关接通的时候,所述两个晶粒第一电极探针装置并接。
[0013]优选地:晶粒第一电极探针装置为两个。
[0014]优选地:所述选择开关装置以及所述开关为机械开关或者电子开关。
[0015]优选地:所述选择开关装置是单刀双掷开关。
[0016]优选地:所述第二引出端连接一第二选择开关装置,该第二选择开关装置的一个选择输出连接所述选择开关装置,该第二选择开关装置的另一个选择输出连接到所述多个晶粒第一电极探针装置的并接处,且与所述开关连接。第二选择开关包括两个选择输出,可以供在两个选择输出之间进行选择接通。
[0017]本申请的有益效果:
[0018]相比现有技术,本申请提出的点测机多功能切换方案,由于设置了数个开关,可以很便捷的实现水平结构LED芯片的检测、垂直结构LED芯片的检测、大功率芯片和小功率芯片之间的切换,无需因为芯片类型的不同而对设备进行改造,实现上述多种不同类型的晶粒的快速切换,解决了点测机对于上述多种不同类型芯片不能通用的问题。
【附图说明】
[0019]图1是现有技术的结构框图。
[0020]图2是本申请的结构框图。
【具体实施方式】
[0021]本申请提出一种点测机的多功能晶粒点测电路结构以及具有该结构的多功能点测机。本申请的技术方案包括晶粒检测电源装置、晶粒第一电极探针装置以及工作台。
[0022]其中,晶粒检测电源装置包括分别用于检测晶粒的两个电极的两个引出端,两个引出端中的第一个引出端连接到晶粒第一电极探针装置。
[0023]以及,还包括晶粒第二电极探针装置和选择开关装置。
[0024]该两个引出端的第二个引出端连接选择开关装置,该开关装置包括两个选择输出,两个选择输出分别连接工作台和晶粒第二电极探针装置,对于垂直电极晶粒的点测,选择开关装置接通工作台;对于水平电极晶粒的点测,选择开关接通晶粒第二电极探针装置。
[0025]两个引出端的第一个引出端连接至少两个并接的晶粒第一电极探针装置,其中,它们通过开关并接,在开关接通的时候,两个晶粒第一电极探针装置并接。
[0026]本申请的实施例的结构框图参见图2所示。
[0027]晶粒检测电源装置的第一个引出端为用来接触LED晶粒的第一电极,其第二引出端为用来接触LED晶粒的第二电极。该第一引出端连接第一个晶粒第一电极探针装置I和第二个晶粒第一电极探针装置8。第一个晶粒第一电极探针装置I与第二个晶粒第一电极探针装置8通过开关9并接在一起,当开关9接通的时候,即接通C点,两个晶粒第一电极探针装置就并联在一起,共用一个电源端。
[0028]该第二引出端连接第二选择开关装置10,该第二选择开关装置10的一个输出连接选择开关装置3。该第二选择开关装置10的另一个选择输出连接到开关9的C点处,与第二个晶粒第一电极探针装置连接。
[0029]选择开关装置3包括两个输出,该两个输出端分别与晶粒第二电极探针装置2和工作台5连接。晶粒检测电源装置负责给检测回路供电,其设在点测机的前置盒内,与静电箱连接,静电箱为静电发生装置。
[0030]选择开关装置3优选为机械开关,例如可以是单刀双掷开关。该选择开关装置也可以为电子开关,电子开关可以是常用的晶体开关管电路模块,其与控制器连接,由控制器控制。
[0031]第二选择开光装置10是可选配件,其可以常置于A点。如果不选用第二选择开光装置10的时候,第二引出端直接连接到选择开关装置3上,与第二个晶粒第一电极探针装置8将没有任何可供连接的端口。
【主权项】
1.一种点测机的多功能晶粒点测电路结构,包括晶粒检测电源装置、晶粒第一电极探针装置以及工作台;其中,晶粒检测电源装置包括分别用于检测晶粒的两个电极的两个引出端,两个引出端中的第一个引出端连接到晶粒第一电极探针装置;其特征在于:还包括晶粒第二电极探针装置和选择开关装置;所述两个引出端的第二个引出端连接所述选择开关装置,该开关装置包括两个选择输出,两个选择输出分别连接所述工作台和晶粒第二电极探针装置,对于垂直电极晶粒的点测,选择开关装置接通工作台;对于水平电极晶粒的点测,选择开关接通晶粒第二电极探针装置;所述两个引出端的第一个引出端连接至少两个并接的晶粒第一电极探针装置,其中,它们通过开关并接,在开关接通的时候,所述两个晶粒第一电极探针装置并接。2.根据权利要求1所述的点测机的多功能晶粒点测电路结构,其特征在于:晶粒第一电极探针装置为两个。
【专利摘要】本申请提供了点测机的多功能晶粒点测结构,涉及半导体测试领域,用于满足不同芯片测试的需求,可以方便实现垂直结构的芯片、水平结构的芯片、小功率芯片和大功率芯片之间切换,提高点测机的通用性。本申请具体方案为:晶粒检测电源装置包括分别用于检测晶粒的两个电极的两个引出端,其第一个引出端连接到晶粒第一电极探针装置,其第二个引出端连接选择开关装置,该开关装置的两个选择输出分别连接工作台和晶粒第二电极探针装置;该第一个引出端连接至少两个并接的晶粒第一电极探针装置,它们通过开关并接,在开关接通的时候,两个晶粒第一电极探针装置并接。
【IPC分类】G01R31/26
【公开号】CN104991179
【申请号】CN201510398236
【发明人】单云峰
【申请人】单云峰
【公开日】2015年10月21日
【申请日】2015年6月30日
...
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1