检查装置的制造方法

文档序号:9291426阅读:315来源:国知局
检查装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种精密度佳且可检查电子零件等微小被检查对象物端面的外观形状的检查装置。
【背景技术】
[0002]众所皆知,现有日本特开平5-288527号公报所揭示的检查装置乃为用于检查电子零件等的外观形状的装置之一。该检查装置具有:可让载置于工作台上的印刷基板往XY方向移动的手段;具有配置于穹顶状(Dome)的多个LED,且用于照明该印刷基板上的被检查部的照明手段;及可从形成于照明手段的顶部的孔拍摄到印刷基板上的被检查部的电视摄影机(TV camera)。
[0003]若通过该检查装置,可通过该照明手段来照明印刷基板上的被检查部,且通过该电视摄影机来拍摄到该被检查部的影像。且,通过解析如此所拍摄到的影像数据,来判断该被检查部的外观形状是否良好。
[0004]且,以往类似的检查装置,在具有可让被检查物移动的手段、可照明被检查物的手段及可拍摄到被检查物的画面的手段上,该基本构造虽没改变,但可因应于作为检查对象物的被检查物的形状或检查部位而采用被设计过或改变形状的形态。
[0005]譬如,如图6所示,当检查具有6面体的电子零件(譬如,电容等)W的端面(箭头D方向端面)Wa时,可采用通过适当搬运机构100将该电子零件W搬运到既定的搬运方向(箭头E方向),如图7所示,接着,在设定于该搬运途中的际定位置的检查位置P上,从搬运方向前方通过照明机构102来照明到电子零件W的前端面Wa,同时通过适当摄影照相机101,从斜前方拍摄到该电子零件W的前端面Wa的形态。又,图6(a)为电子零件W的平面图,(b)为于(a)中箭头D方向的侧面图。
[0006]此种情况是采用让上述的LED配置于穹顶状的照明手段,于与搬运机构100的搬运方向正交的垂直面上来分割的形态而作为照明机构102,于该边运方向前侧部分,可照明到电子零件W的前端面Wa。
[0007]另外,照明机构102,于无配置LED 103的处,让通孔102a穿孔,该摄影照相机101通过该通孔102a而拍摄到该电子零件W的前端面Wa。
[0008]先前技术文献
[0009]专利文献
[0010]专利文献1:特开平5-288527号公报

【发明内容】

[0011 ] 本发明所欲解决的问题
[0012]然而,如上述所言,当要检查电子零件W的前端面Wa的外观形状时,要高精密度检查此,配置摄影照相机101而让搬运方向(箭头E方向)与摄影照相机101的摄影光轴所形成的角度(仰角)尽量较小,且较佳地尽可能从该正面拍摄到电子零件W的前端面Wa。利用从正面拍摄到前端面Wa,让所得的画面数据为最大且可进行更高精密度的解析。
[0013]另外,该照明机构102,相对于电子零件W的前端面Wa,尽可能让该照明光轴接近于直角的位置,换言之,较佳地尽可能于接近于搬运机构100的搬运路径的位置上设置LED103。如此一来,利用于接近搬运路径的位置上设置LED103,如上述所言,于配置有让摄影光轴的仰角尽量较小的摄影照相机101中,可从该前端面Wa获得更多的反射光,藉此,可让通过该摄影照相机101所拍摄到的画面更鲜明。于是,利用取得如此的鲜明画面,即可提高依据该画面的解析的精密度。
[0014]近年来,加速该电子零件W的微小化,从传统的剖面为3mmX 2mm而小型化进展到剖面为0.4mmX 0.2_,为了对应于如此的微小化,较佳配置有如上述的摄影照相机101及LED 102ο
[0015]然而,于上述图7所述的构造中,若尽量将摄影照相机101的摄影光轴的仰角设定较小且采用尽可能将LED 103配置于接近搬运机构100的搬运路径的位置的构造时,如图8所示,则会使得摄影照相机101的摄影光轴及LED 103产生相互干涉的位置关系,且无法将用于拍摄电子零件W的通孔设置于照明机构中,也就是说,会产生无法拍摄到电子零件W的问题。
[0016]有鉴于上述情形,本发明的目的在提供一种可更高精密度来检查出被检查物的端面的外观形状的检查装置。
[0017]解决问题的手段
[0018]用于解决上述课题的本发明是一种可往设定的搬运方向搬运被检查物,且以该被检查物于该搬运方向的前端面或后端面的至少一者作为被检查面而进行检查的检查装置;其至少具有:
[0019]搬运机构,具有沿着该搬运方向的搬运路径,将该搬运路径上的该被检查物往该搬运方向来搬运;第I照明机构,以该搬运路径作为边界且同样地配置于与该被检查物相同侧,用于在所述搬运路径上所预先设定的检查位置照明通过该搬运机构所搬运的该被检查物的该被检查面;及摄影照相机,同样地配置于与该被检查物相同侧,用于拍摄位于该检查位置的该被检查物的该被检查面;
[0020]其中,该第I照明机构具有用于照明该被检查物的被检查面的多个发光器,及用于支撑该多个发光器的支撑体;
[0021]该支撑体构成为至少与其它一群的发光器的位置相比,在隔离该检查位置的位置来支撑离该搬运路径最近的发光器,同时也具备着于该隔离的发光器及其它一群的发光器之间,从与该检查位置另一侧的背面可观察到该被检查物的被检查面的空间;
[0022]该摄影照相机是配置于该支撑体的该背面侧,且通过该支撑体的空间可拍摄该被检查物的被检查面。
[0023]若通过该检查装置的话,被检查物可通过搬运机构而于该搬运路上进行搬运,且于该搬运路上的检查位置中,通过第I照明机构照明到该被检查面的状态下,可通过该摄影照相机来拍摄到该被检查面。
[0024]且,该第I照明机构是配置于至少与其它一群的发光器的位置相比,在隔离该检查位置的位置上,所以将离该搬运路径最近的发光器尽可能接近到该搬运机构的搬运路径的状态上,可于此及该其它一群的发光器之间设定适当的间隔,于该部分可设置用于拍摄该被检查物的被检查面的空间。
[0025]且,利用如此的构造,让该摄影照相机尽可能缩小该摄影光轴及该搬运路径所形成的角度(仰角),也就是说,可配置于尽可能接近于该搬运路径的状态,通过该摄影照相机尽可能可从该正面拍摄到该被检查物的被检查面。藉此,即可取得通过该摄影照相机所拍摄到的该被检查面的画面更大的画面,结果,就可高精密度检查该被检查面的外观形状。
[0026]另外,如上述所言,由于可将离该搬运路径最近的发光器配置于尽可能接近该搬运路径的状态,所以可从该被检查面将更多的反射光取入到该摄影照相机内,藉此,就可将通过摄影照相机所拍摄到的画面作为更鲜明的画面。因此,利用取得被检查面的鲜明画面,即可高精密度来检查该被检查面的外观形状。
[0027]又,虽然代表性地举出LED而作为该发光器,但若能以检查所需的充分光量来照明该被检查面的话,则并无局限于任合一种LED。
[0028]如以上所述,若通过具有上述构造的本发明的检查装置的话,即可高精密度来检查被检查物的外观形状。
[0029]另外,于上述检查装置中,该摄影照相机的影像光轴较佳地是位于与该搬运路径成正交的面内,且以与该搬运路径成10度_ 35度的范围角度来配置成交叉,同时,该第I照明机构的该隔离的发光器的该照明光轴是以与该搬运路径成3度-15度的范围角度来配置成交叉。
[0030]利用让该摄影照相机的摄影光轴及该第I照明机构的照明光轴各设定于上述范围内,即可获得更适当的通过该摄影照
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