膜厚的检测装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本申请涉及薄膜厚度检测的技术领域，具体而言，涉及一种膜厚的检测装置。
【背景技术】
[0002]薄片状物品，如纸张、票据、塑料薄膜、纺织物品等的在线连续厚度测量，在其产品的生产、检测、处理、回收等过程中处于越来越重要的地位。当前，薄膜厚度的检测技术要包括霍尔、反射型超声波、透射型超声、电磁感应式、涡流式等技术。但这些技术对应的检测装置体积较大，成本较高，不利于这些技术的应用。
[0003]近年来，通过电极间的静电感应进行薄膜厚度的检测技术在不断研究探索之中，例如公开号CN210302446Y的专利公开的了一种电容式纸厚传感器，其主要是将电容器的容量变化转化成振荡频率的变化，再通过频压转换模块将频率的变化转换成电压的变化。公开号为CN103363887A的专利也公开了一种材料厚度的检测方法，利用平板电容的极板作为厚度检测的敏感器件，实测对象的厚度变化引起的电容活动极板产生位移，导致平板电容器的容量发生变化。
[0004]上述这些通过电极间的静电感应的检测薄膜厚度的技术在一定程度上减小了检测装置的体积，但仍需要传动机构，因此与检测设备的小型化发展还不相符。
[0005]另外，现有技术中的检测装置不能精确测量薄膜各个位置的厚度，不利于薄膜产品厚度的均匀性。
【发明内容】
[0006]本申请旨在提供一种膜厚的检测装置，以解决现有技术中的检测装置不能精确测量薄膜各个位置的厚度的问题。
[0007]为了实现上述目的，根据本申请的一个方面，提供了一种膜厚的检测装置，该检测装置包括:公共电极、多个检测电极组与检测电路。其中，各检测电极组与上述公共电极在第一方向上相对且间隔设置，且上述公共电极的第一表面与每个上述检测电极组的第一表面相对，多个上述检测电极组沿第二方向间隔设置，各上述检测电极组包括至少一个检测电极，上述第一方向与第一平面垂直，上述第二方向与待测膜的移动方向垂直，上述第一平面与上述第二方向平行；检测电路与多个上述检测电极组电连接，上述检测电路包括移位控制单元，上述移位控制单元用于控制多个上述检测电极组的感应电信号的输出顺序。
[0008]进一步地，上述移位控制单元包括开关模块与开关控制模块。
[0009]进一步地，上述开关模块中包含多个开关，每一个检测电极组对应一个上述开关。
[0010]进一步地，上述开关控制模块包括移位寄存器，上述移位寄存器将接收到的外部控制信号传输至上述开关模块中，逐个开启每一个上述开关。
[0011]进一步地，上述外部控制信号由时钟信号驱动。
[0012]进一步地，上述检测电路还包括采样单元、阻抗匹配单元与放大单元。其中，采样单元的输入端与上述检测电极组电连接；阻抗匹配单元一端与上述采样单元的输出端电连接，另一端与上述移位控制单元电连接；放大单元一端与上述移位控制单元电连接。
[0013]进一步地，上述检测电路还包括复位单元，上述复位单元设置在上述采样单元与上述阻抗匹配单元之间，在上述采样单元采样之前，上述复位单元将上述检测电极的信号进行复位。
[0014]进一步地，上述复位单元采用复位信号实施上述复位，上述复位信号的有效区间对应施加在上述公共电极上的电信号的无效区间。
[0015]进一步地，上述检测装置还包括第一基板与第二基板，第二基板与上述第一基板在上述第一方向上间隔设置，上述第一基板的第一表面朝向上述第二基板的第一表面，且上述第一基板的第一表面与上述第二基板的第一表面均为垂直于上述第一平面，上述公共电极设置在上述第一基板的第一表面上，上述检测电极设置在上述第二基板的第一表面上，上述检测电路设置在上述第二基板的第二表面。
[0016]进一步地，上述检测装置还包括第一屏蔽电极与第二屏蔽电极，其中，第一屏蔽电极设置在上述第一基板的第一表面上，并且围绕上述公共电极设置；第二屏蔽电极设置在上述第二基板的第一表面上，并且围绕上述检测电极设置。
[0017]应用本申请的检测装置，检测装置中包括多个检测电极组，当待测膜经过传输通道时，每个检测电极均感应出电荷，因为不同的检测电极组对应待测膜的不同位置，所以不同的检测电极感应出的电荷的多少不同，并且，该检测装置中的移位控制单元能够将检测电极组的感应电信号按照顺序输出，这样就可以得到待测膜不同位置处的厚度。并且，该检测装置无需机械装置引导电极产生位移就能够测量得到待测膜的厚度，更加轻便，方便使用，能够应用到很多领域中。
【附图说明】
[0018]构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本申请的进一步理解，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中:
[0019]图1示出了本申请一种典型实施方式提出的膜厚的检测装置的侧视图；
[0020]图2示出了一种实施例提供的检测电路的结构图；
[0021]图3示出了一种实施例提供的膜厚的检测装置的电路原理示意图；
[0022]图4示出了一种实施例提供的膜厚的检测装置的工作时序示意图；
[0023]图5示出了一种实施例提供的公共电极的第一表面的俯视图；
[0024]图6示出了一种实施例提供的检测电极的第一表面的俯视图；
[0025]图7示出了一种实施例提供的膜厚的检测装置的剖面结构示意图；
[0026]图8示出了另一种实施例提供的膜厚的检测装置的剖面结构示意图；以及
[0027]图9示出了一种实施例中的输出信号SIG、控制信号SP与时钟信号CLK的时序图。
【具体实施方式】
[0028]应该指出，以下详细说明都是例示性的，旨在对本申请提供进一步的说明。除非另有指明，本文使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属技术领域的普通技术人员通常理解的相同含义。
[0029]需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述【具体实施方式】，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。
[0030]正如【背景技术】所介绍的，现有的检测装置不能精确检测出待测膜不同位置的厚度，为了解决如上的问题，本申请提出了一种膜厚的检测装置。
[0031]本申请的一种典型的是实施方式中，提供了一种膜厚的检测装置，如图1所示该检测装置包括公共电极12、多个检测电极组2与检测电路25。其中，各检测电极组2与上述公共电极12在第一方向上相对且间隔设置，且上述公共电极12的第一表面与每个上述检测电极组2的第一表面相对，多个上述检测电极组2沿第二方向间隔设置，各上述检测电极组2包括至少一个检测电极22，上述第一方向与第一平面垂直，上述第二方向与上述待测膜的移动方向垂直，上述第一平面与上述第二方向平行。检测电路25与多个上述检测电极组2电连接，上述检测电路25包括移位控