膜厚的检测装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本申请涉及厚度检测的技术领域，具体而言，涉及一种膜厚的检测装置。
【背景技术】
[0002]薄片状物品，如纸张、票据、塑料待测膜、纺织物品等的在线连续厚度测量，在其产品的生产、检测、处理、回收等过程中处于越来越重要的地位。当前，待测膜厚度的检测技术要包括使用霍尔器件、反射型超声波检测、透射型超声波检测、电磁感应式检测、涡流式检测等技术。但这些技术对应的检测装置体积较大，成本较高，不利于这些技术的应用。
[0003]近年来，通过电极间的静电感应进行待测膜厚度的检测技术在不断研究探索之中，例如公开号为CN210302446Y的文件公开了一种电容式纸厚传感器，其主要是将电容器的容量变化转化成振荡频率的变化，再通过频压转换模块将频率的变化转换成电压的变化。公开号为CN103363887A的文件也公开了一种材料厚度的检测方法，利用平板电容的极板作为厚度检测的敏感器件，实测对象的厚度变化引起的电容活动极板产生位移，导致平板电容器的容量发生变化。
[0004]上述这些通过电极间的静电感应的检测待测膜厚度的技术在一定程度上减小了检测装置的体积，但仍需要传动机构，因此与检测设备的小型化发展还不相符。
【发明内容】
[0005]本申请旨在提供一种膜厚的检测装置，以解决现有技术中的检测装置较复杂的问题。
[0006]为了实现上述目的，根据本申请的一个方面，提供了一种膜厚的检测装置，该检测装置包括:电源、公共电极、至少一个检测电极与检测电路。其中，电源用于提供电信号；公共电极与上述电源电连接；各检测电极与上述公共电极在第一方向上相对且间隔设置，上述公共电极与各上述检测电极之间的间隔构成待测膜的传输通道，上述第一方向与第一平面垂直，上述第一平面与上述待测膜的移动方向平行；检测电路与上述检测电极电连接，用于检测上述检测电极的感应电信号。
[0007]进一步地，上述检测装置还包括:第一基板与第二基板，其中，第二基板与上述第一基板在上述第一方向上间隔设置，上述第一基板的第一表面朝向上述第二基板的第一表面，且上述第一基板的第一表面与上述第二基板的第一表面均平行于上述第一平面，上述公共电极设置在上述第一基板的第一表面上，上述检测电极设置在上述第二基板的第一表面上，上述检测电路设置在上述第二基板的第二表面。
[0008]进一步地，上述检测装置还包括:第一屏蔽电极与第二屏蔽电极，第一屏蔽电极设置在上述第一基板的第一表面上，并且，围绕上述公共电极设置；第二屏蔽电极设置在上述第二基板的第一表面上，并且围绕上述检测电极设置。
[0009]进一步地，上述检测装置中包括N个检测电极对，且N个上述检测电极对沿第二方向间隔设置，上述第二方向与上述待测膜的移动方向垂直，上述第二方向与上述第一方向垂直，且每个上述检测电极对包括沿第三方向间隔设置的至少2个检测电极，上述第三方向与上述第一方向垂直，且上述第三方向为上述待测膜的移动方向，上述N多2。
[0010]进一步地，每个上述检测电极对中的相邻2个上述检测电极的间隔小于每个上述检测电极在上述第三方向上的长度。
[0011]进一步地，上述检测装置还包括:输入部与输入输出部，且输入部用于将上述电源的电信号输入至上述公共电极，上述输入部设置在上述第一基板的第二表面；输入输出部用于向上述检测电路提供电压，且将上述检测电路的电信号输出，上述输入输出部设置在上述第二基板的第二表面。
[0012]进一步地，上述检测电路包括:采样单元、阻抗匹配单元与放大单元，采样单元的输入端与上述检测电极电连接；阻抗匹配单元一端与上述采样单元的输出端电连接；放大单元一端与上述阻抗匹配单元的另一端电连接，另一端与上述输入输出部电连接。
[0013]进一步地，当上述检测电路还包括输出单元，上述输出单元设置在上述放大单元与上述输入输出部之间。
[0014]进一步地，所有上述检测电极围成的区域在第一平面的投影面积小于等于上述公共电极的第一表面的面积。
[0015]进一步地，当上述检测装置包括一个检测电极时，上述检测电极在第二方向上的总长度大于等于上述待测膜的长度；当上述检测装置包括沿上述第二方向依次设置的M个上述检测电极对时，第一个上述检测电极对与第M个上述检测电极对在上述第二方向之间的距离大于等于上述待测膜的长度，上述第二方向与上述待测膜的移动方向垂直，上述M彡2。
[0016]应用本申请的技术方案，无需机械装置引导电极产生位移就能够测量得到待测膜的厚度，更加轻便，方便使用，能够应用到很多领域中。
【附图说明】
[0017]构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本申请的进一步理解，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中:
[0018]图1示出了本申请一种典型实施方式提出的膜厚的检测装置的侧视图；
[0019]图2示出了一种实施例提供的公共电极的第一表面的俯视图；
[0020]图3示出了一种实施例提供的检测电极的第一表面的俯视图；
[0021]图4示出了一种实施例提供的检测电路的结构图；
[0022]图5示出了一种实施例提供的膜厚的检测装置的剖面结构示意图；
[0023]图6示出了另一种实施例提供的膜厚的检测装置的剖面结构示意图；
[0024]图7示出了一种实施例提供的膜厚的检测装置的电路原理示意图；
[0025]图8示出了一种实施例提供的膜厚的检测装置的工作时序示意图；以及
[0026]图9示出了一种实施例中的输出信号SIG、控制信号SP及时钟信号CLK的时序图。
【具体实施方式】
[0027]应该指出，以下详细说明都是例示性的，旨在对本申请提供进一步的说明。除非另有指明，本文使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属技术领域的普通技术人员通常理解的相同含义。
[0028]需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述【具体实施方式】，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。
[0029]正如【背景技术】所介绍的，现有的检测装置需要引导产生位移的机械装置，为了解决如上的技术问题，本申请提出了一种膜厚的检测装置。
[0030]本申请的一种典型的是实施方式中，提供了一种膜厚的检测装置，如图1所示(该图中未画出电源)，该检测装置包括电源、公共电极12、至少一个检测电极22与检测电路25。其中，电源用于提供电信号；公共电极12与上述电源电连接；各检测电极22与公共电极12在第一方向上相对且间隔设置，上述公共电极12与对应的检测电极22之间的间隔的大小相同，且间隔构成待测膜的传输通道，上述第一方向与第一平面垂直，上述第一平面与上述待测膜的移动方向平行；检测电路25与上述检测电极22电连接，用于检测上述检测电极22的感应电信号，该检测装置中的公共电极12与检测电极22均为导电电极，由导电材料形成。
[0031]该检测装置中，公共电极12与检测电极22都是平面电极，公共电极12与检测电极22相对且间隔设置，二者之间形成类似平板电容结构，并且二者之间没有固定的介质填充而是形成一个传输通道。当电源向公共电极12提供电信号后，公共电极12带电荷，检测电极22上感应出电荷。
[0032]检测电极22感应出电荷的多少取决于于两个电极的面积、两个电极相隔的距离、公共电极12上所携带的电荷量以及两个电极之间的介电常数。在结构一定的情况下，检测电极22上感应出的电荷只与两个电极之间介电常数有关。当待测膜经过传输通道时，改变了两个电极间的介质的介电常数，使检测电极22上感应的电荷的数量也随之发生变化，待测膜的厚度不同，两个电极间的介电常数也不相同，进而检测电极22上感应的电荷也不相同，因此通过检测极板上感应电信号的多少可以计算出待测膜的厚度。
[0033]该检测装置无需机械装置引导电极产生位移就能够测量得到待测膜的厚度，更加轻便，方便使用，能够应用到很多领域中。
[0034]本申请的一种实施例中，上述公共电极12包括间隔设置的多个公共电极部，本领域技术人员可以根据实际情况设置一定数目的公共电极部。
[0035]本申请的一种实施例中，上述检测装置中包含一个公共电极12。
[0036]本申请的另一个实施例中，如图1所示，上述检测装置还包括:第一基板11与第二基板21。其中，第二基板21与第一基板11在上述第一方向上间隔设置，上述第一基板11的第一表面朝向上述第二基板21的第一表面，且上述第一基板11的第一表面与上述第二基板21的第一表面均平行于上述第一平面，上述公共电极12设置在上述第一基板11的第一表面上，上述检