Xrf设备及其样品自动定位多点测试方法、装置的制造方法

文档序号:8941456阅读:556来源:国知局
Xrf设备及其样品自动定位多点测试方法、装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及XRF领域,特别涉及一种XRF设备及其样品自动定位多点测试方法、装置。
【背景技术】
[0002]现有技术中,当利用XRF设备测试待测样品的多个点时,需要待测试完某个点后中断测试,打开测试样品腔,然后手动移动样品的位置,且须对照摄像头图像去找对应待测试的点,且多次测试不同的点的结果须手动计算平均值,客户体验较差。由于手动移动测试点的位置,因此准确性较差。

【发明内容】

[0003]本发明提供了一种测试效率高、准确性高的XRF设备及其样品自动定位多点测试方法、装置。
[0004]为解决上述问题,作为本发明的一个方面,提供了一种XRF设备的样品自动定位多点测试方法,包括:获取待测样品在移动平台上的图像;显示所述图像;获取用户在显示的所述图像上选择的多个待测点;根据用户选择的所述至少一个待测点,控制所述移动平台运动以使所述待测点依次位于测试中心位置处。
[0005]优选地,所述方法还包括:在完成一个测试点的测试后,自动控制所述移动平台切换至下一个待测试点,以使所述下一个待测试点移动至所述测试中心位置处。
[0006]优选地,所述方法还包括:通过使所述移动平台在XY方向上的运动,以使所述待测点依次位于测试中心位置处。
[0007]优选地,根据所述图像对用户选择的所述至少一个待测点通过图像识别得到所述多个测试点的位置,以控制所述移动平台的运动。
[0008]本发明还提供了一种XRF设备的样品自动定位多点测试装置,包括:第一获取模块,用于获取待测样品在移动平台上的图像;显示模块,用于显示所述图像;第二获取模块,用于获取用户在显示的所述图像上选择的多个待测点;控制模块,用于根据用户选择的所述至少一个待测点,控制所述移动平台运动以使所述待测点依次位于测试中心位置处。
[0009]优选地,所述控制模块在完成一个测试点的测试后,自动控制所述移动平台切换至下一个待测试点,以使所述下一个待测试点移动至所述测试中心位置处。
[0010]本发明还提供了一种XRF设备的样品自动定位多点测试装置,包括:摄像单元,用于获取待测样品在移动平台上的图像;显示单元,用于显示所述图像;输入单元,用于输入用户在显示的所述图像上选择的多个待测点;控制单元,用于根据用户选择的所述至少一个待测点,控制所述移动平台运动以使所述待测点依次位于测试中心位置处。
[0011]优选地,所述控制单元在完成一个测试点的测试后,自动控制所述移动平台切换至下一个待测试点,以使所述下一个待测试点移动至所述测试中心位置处。
[0012]优选地,所述移动平台包括X轴步进电机和Y轴步进电机,所述X轴步进电机和Y轴步进电机驱动所述移动平台在XY方向上运动,以使所述待测点依次位于测试中心位置处。
[0013]本发明还提供了一种XRF设备,包括上述的装置。
[0014]本发明特别适用于部分不均匀的样品,极大地改善了用户体验,并提高了测试效率和准确性。
【附图说明】
[0015]图1示意性地示出了本发明中的样品自动定位多点测试方法的流程图;
[0016]图2示意性地示出了一个实施例中的样品自动定位多点测试装置的结构示意图;
[0017]图3示意性地示出了另一实施例中的样品自动定位多点测试装置的结构示意图。
[0018]图中附图标记:1、待测样品;2、移动平台;3、摄像单元;4、显示单元;5、控制单元;6、X射线管;7、传感器。
【具体实施方式】
[0019]以下结合附图对本发明的实施例进行详细说明,但是本发明可以由权利要求限定和覆盖的多种不同方式实施。
[0020]请参考图1,本发明的一个方面,提供了一种XRF设备的样品自动定位多点测试方法,包括:获取待测样品I在移动平台2上的图像;显示图像;获取用户在显示的图像上选择的多个待测点;根据用户选择的至少一个待测点,控制移动平台2运动以使待测点依次位于测试中心位置处。优选地,在连续多点测试完毕后,统计多点测试结果平均值和计算误差。
[0021]在用户进行多点测试前,先通过摄像头实时获取待测样品I在移动平台2上的图像,例如,可以将该图像进行放大处理,以供用户在该图像上点选目标的测试点,于是就能自动地按确认的测试点的位置,使得待测试点移动到测试位置,然后开始测试。本发明特别适用于部分不均匀的样品,极大地改善了用户体验,并提高了测试效率和准确性。
[0022]优选地,该方法还包括:在完成一个测试点的测试后,自动控制移动平台2切换至下一个待测试点,以使下一个待测试点移动至测试中心位置处。
[0023]优选地,该方法还包括:通过使移动平台2在XY方向上的运动,以使待测点依次位于测试中心位置处。请参考图3,测试中心位置是指X射线管6发射出的X射与传感器7在移动平台上的交叉点。传感器负责接收经X射线照射后,样品上逃逸的电子能量形成的荧光光谱。
[0024]优选地,根据图像对用户选择的至少一个待测点通过图像识别得到多个测试点的位置,以控制移动平台2的运动。这样,用户在图像上对目标的测试点进行标记,当经过图像识别处理后,就能确定这些测试点的位置,以根据这些位置控制移动平台的运动。在图像识别时,首先对图像的限定区域内设计标志特征点,并保存待用户选择的测试点的位置坐标信息,随后在限定区域内以测试点为中心截取多个图片并保存,且每张图片都拥有该标志特征点。
[0025]下面,对确定测试点位置的具体过程进行详细说明。具体的计算过程可分为粗调和细调两阶段。其中,粗调用于快速计算相对位置,以使得移动平台2迅速移动到目标点位置,细调慢速移动平台2,并计算实时图像像素的特征信息与之前保存的测试点图像的标识像素的特征信息的最大相似度,然后判断此最大相似度是否在容许误差范围内。如果是,则实时图像与保存的测试点图像匹配,即移动平台2已经移动到目标位置;如果超出容许误差范围,则当前实时图像与目标的测试点图像不匹配,即移动平台2还
当前第1页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1