流体浓度测定装置的制造方法【
技术领域：
】[0001]本发明设及一种根据朗伯-比尔定律化amb&rt-Beerlaw)对在具有透光性并且可变形的管路内流动的流体的浓度进行测定的装置。【
背景技术：
】[0002]作为现有的流体浓度测定装置，例如已知有专利文献1所记载的测定装置，此处的测定方法及测定装置是测定作为对半导体晶片进行清洗处理的流体的处理液的浓度的方法及装置，在处理液供给配管的途中设置多个测定体，在各测定体内，设置使在处理液中穿过的光的光路长度不同的透光部，对与处理液的性质相对应的光路长度的透光部供给来自光源的光，在所述透光部中利用光检测器接收在处理液中透过的光而调查所述光的强度，利用所述光的强度根据朗伯-比尔定律求出处理液的浓度。[0003][现有技术文献][0004][专利文献][0005][专利文献1]日本特开平10-325797号公报【
发明内容】[0006]发明所要解决的问题[0007]且说，在所述现有的流体浓度测定装置中，已严密地明确各透光部中的光路长度，因此可利用已预先设定好光路长度的算式容易地求出流体的浓度。另一方面，如果能够测定在例如树脂管（tube)等具有透光性并且可变形的管路内流动的血液或药液等流体的浓度，那么可W预料在医疗等领域内极为有用。[0008]但是，如果要将所述现有的装置应用于对在树脂管或玻璃管等透光性的管路内流动的血液或药液等流体进行的浓度测定，则需要使光穿过横穿透光性的管路的光路，然而成为光路长度的管路的内径及管路的壁厚均难W实际测量，特别是在管路为可变形的树脂管的情况下内径有可能因所述变形而发生变化，因此，运种情况下的血液或药液等的浓度的测定极为困难，W前实质上无法进行所述测定。[0009]因此，本申请发明人W前提出了如下的流体浓度测定装置，即，使来自相同的光源的光在多个部位横穿透光性的管路并在各个部位求出光的强度，由此利用根据朗伯-比尔定律的计算来去除管路的内径或壁厚的影响（PCT/JP2013/54664号国际申请），但是在所述测定装置中在计算时将管壁内的光路的设定在各受光部位设定为与管壁成直角，而另一方面，实际的光路为倾斜地横穿管壁内，并且，其倾斜角因折射率的不同而各异，从而明确了在进一步提高计算精度方面存在改良的余地。[0010]解决问题的技术手段[0011]本发明是鉴于所述方面，通过相对于光供给部位将受光部位固定配置于管路的直径方向上的相反侧而使光路相对于管路的延伸方向维持成直角，来有利地解决现有的流体浓度测定装置的问题，本发明的流体浓度测定装置是对在具有透光性并且可变形的管壁的管路内流动的流体的浓度进行测定的装置，其特征在于包括：[0012]光源，从所述管路的表面上的光供给部位向所述管路内供给光；[0013]受光元件，利用相对于所述光供给部位而位于所述管路的直径方向上的相反侧的受光部位，接收所述经供给并穿过所述管路的壁内及所述管路内的流体内而来的光，并且输出表示所述光的强度的信号；[0014]光路距离设定部件，设定多个所述光供给部位与所述受光部位之间的光路距离；W及[0015]流体浓度输出部件，利用在运些多个光路距离的各个距离下的所述受光部位上的光的强度，根据朗伯-比尔定律，求出表示隔着所述各光路距离利用所述受光部位接收来自所述光供给部位的光时的光的强度与流体的浓度的关系的多个关系式，并根据所述多个光路距离下的关系式，利用所述受光部位上的光的强度求出流体的浓度并加W输出。[0016]发明的效果[0017]关于所述本发明的流体浓度测定装置，是对在树脂管等具有透光性并且可变形的管壁的管路内流动的流体的浓度进行测定的装置，其中光源从所述管路的表面上的光供给部位向所述管路内供给光，受光元件利用相对于所述光供给部位而位于所述管路的直径方向上的相反侧的受光部位，接收所述经供给并与所述管路的延伸方向成直角地穿过所述管路的壁内及所述管路内的流体内而来的光，并且输出表示所述光的强度的信号，光路距离设定部件设定多个所述光供给部位与所述受光部位之间的光路距离，并且，流体浓度输出部件利用在运些多个光路距离的各个距离下的所述受光部位上的光的强度根据朗伯-比尔定律，求出表示隔着所述各光路距离，利用所述受光部位接收来自所述光供给部位的光时的光的强度与流体的浓度的关系的多个关系式，并根据所述多个光路距离下的关系式，利用所述受光部位上的光的强度求出流体的浓度并加W输出。[0018]因此，根据本发明的流体浓度测定装置，不对经过相对于管路的延伸方向倾斜地横穿所述管路的光路的光进行测定，因此可高精度地测定在树脂管等具有透光性并且可变形的管壁的管路内流动的血液或药液等的流体的浓度。[0019]再者，在本发明的流体浓度测定装置中，也可W是所述光路距离设定部件包含多对间隔互不相同的所述光供给部位与所述受光部位的对，通过选择性地使用运些光供给部位与受光部位的对来变更光路距离，运样一来，可不变更光路距离而设定多个光路距离，因此可缩短测定时间。[0020]并且，在本发明的流体浓度测定装置中，也可W是所述光路距离设定部件使相同的所述光供给部位与所述受光部位的间隔发生变化而变更运些部位之间的光路距离，运样一来，可任意设定光路距离，因此可容易地应对流体浓度的变化，而且，因为使用相同的元件作为光源或受光元件，所W还可W消除因光源或受光元件的不同所导致的测定误差。[0021]此外，在本发明的流体浓度测定装置中，也可W是所述光路距离设定部件包含多对间隔互不相同的所述光供给部位与所述受光部位的对，运些光供给部位与受光部位的对中的一对使相同的所述给光部位与所述受光部位的间隔发生变化而变更运些部位之间的光路距离，运样一来，可通过使用变更光路距离的对来任意设定光路距离，因此可容易地应对流体浓度的变化，一旦关系式明确，便可通过使用光路距离固定的对来缩短测定时间，从而可实质上实时连续地进行测定。[0022]而且，在本发明的流体浓度的测定装置中，也可W是所述流体浓度输出部件使用预先求出并存储的表示在运些多个光路距离的各个距离下的受光部位上的光的强度与流体的浓度的关系的表（table)，利用所述受光部位上的光的强度求出流体的浓度并加W输出，如果使用运种表，可利用受光部位上的光的强度短时间且容易地求出流体的浓度并加W输出。【附图说明】[0023]图1(a)~（C)是分别示意性地表示本发明的流体浓度测定装置的S种实施例的外观的说明图。[0024]图2是综合表示所述=种实施例的流体浓度测定装置的电气构成的框图。[0025]图3是将所述各实施例中的符号的说明与图1(C)的实施例的流体浓度测定装置的原理一并进行表示的说明图。[0026]图4是表示所述图1(a)的实施例的流体浓度测定装置的原理的说明图。[0027]图5是表示所述图1化）的实施例的流体浓度测定装置的原理的说明图。[0028]图6是在关盖的状态下表示所述图1化）的实施例的流体浓度测定装置的构成例的说明图。[0029]图7是在开盖的状态下表示所述图1化）的实施例的流体浓度测定装置的构成例的说明图。[0030]图8是表示所述图1化）的实施例的流体浓度测定装置的构成例的内部的发光单元与受光单元的对的说明图。[0031]图9是切去一部分而表示对所述图1化）的实施例的流体浓度测定装置的构成例的内部的发光单元与受光单元的相对移动进行引导的引导机构的说明图。[0032]图10是表示对所述图1化）的实施例的流体浓度测定装置的构成例的内部的发光单元与受光单元的相对间隔进行变更的马达驱动的曲柄机构的说明图。[0033]图11是表示对所述图1化）的实施例的流体浓度测定装置的构成例的内部的发光单元与受光单元的相对间隔进行变更的凸轮板与曲柄机构的连结状态的说明图。[0034]图12是表示对所述图1化）的实施例的流体浓度测定装置的构成例的内部的发光单元与受光单元的相对间隔进行变更的凸轮板的构成的说明图。【具体实施方式】[0035]W下，通过实施例，根据附图，对本发明的实施方式进行详细说明。在运里，图1~5是表示本发明的流体浓度测定装置的=种实施例中的流体浓度的测定原理及计算方法的说明图。[003引即，图1(a)~（C)是分别示意性地表示本发明的流体浓度测定装置的^种实施例的外观的说明图，图1(a)~（C)所示的=种实施例的装置分别是对作为流体的血液的浓度进行测定的装置，所述作为流体的血液是在作为具有透光性并且可变形的管壁的管路的实质上透明的树脂管内流动。在运里，图1(a)所示的流体浓度测定装置包括两对发光受光单元对4,所述两对发光受光单元对4是W将未图示的树脂管夹于中间并使其在直径方向上压缩变形的方式而相向地固定于壳体1的沟槽la的侧壁部的发光单元2与受光单元3的对，所述未图示的树脂管通入至在壳体1的中央部在图中为在左右方向上延伸的沟槽la内，作为运些发光受光单当前第1页1 2 3 4