一种老化板的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体芯片品质可靠性技术领域，尤其涉及一种老化板。
【背景技术】
[0002]随着半导体技术的不断发展，芯片的应用领域开始不断延伸，且对芯片的可靠性要求也越来越高。为了确保芯片的可靠性，通常会对芯片进行老化测试(Burn-1n Test),即在芯片被制造出来之后，常将芯片装在一个老化板上，在高温下，对硅器件一般来说为150°C及以上，使芯片尽早地暴露出器件中的缺陷，从而检测出有缺陷的器件。
[0003]目前业界通用的老化板，需要通过在老化板上拔插配件(跳线、电阻)的方式来分析芯片的失效模式。该种试样方法中:配件的拔插工序耗时较长，降低工作效率；且通常为了保证老化板良好的接触性，老化板上配件的拔插孔通常设计较紧密，经常拔插配件会导致配件损耗严重。
[0004]基于上述问题，现亟需一种操作简单，通用性强的新型老化板。
【发明内容】
[0005]本发明实施例提供一种老化板，操作简单，通用性强。
[0006]本发明实施例提供一种老化板，包括:
[0007]基板，基板上设置有用于插接被测器件的插座以及第一排针至第四排针，插座包括源极S端口、漏极D端口、栅极G端口 ；
[0008]第一排针上的第一针脚和第二针脚连通,且第一针脚或第二针脚接地；
[0009]第二排针上的第一针脚连通S端口、第二针脚连通G端口；
[0010]第三排针上的第一针脚至第三针脚分别连通G端口、D端口和S端口；
[0011]第四排针上的第一针脚至第三针脚均连接VCC ；
[0012]第一排针的第一针脚、第二针脚分别与第二排针的第一针脚、第二针脚位置相对，第三排针的第一针脚至第三针脚分别与第四排针的第一针脚至第三针脚位置相对。
[0013]较佳的，第一排针和第二排针平行；第三排针与第四排针平行。
[0014]较佳的，第一排针与第二排针之间的第一间距与第三排针与第四排针之间的第二间距相等。
[0015]较佳的，第二排针的第一针脚与第二针脚之间的间距、第三排针的第一针脚至第三针脚的相邻针脚之间的间距、第四排针的第一针脚至第三针脚的相邻针脚之间的间距均等于第一间距。
[0016]较佳的，第四排针上的第一针脚至第三针脚与VCC之间串接保险丝和电阻。
[0017]较佳的，第一排针的第一针脚与第二排针的第一针脚之间插接有短路冒；第一排针的第二针脚与第二排针的第二针脚之间插接有短路冒；第三排针的第二针脚与第四排针的第二针脚之间插接有短路冒。
[0018]较佳的，第一排针的第一针脚与第二排针的第一针脚之间插接有短路冒；第三排针的第二针脚与第三针脚之间插接有短路冒；第三排针的第一针脚与第四排针的第一针脚之间插接有短路冒。
[0019]较佳的，第一排针的第二针脚与第二排针的第二针脚之间插接有短路冒；第三排针的第一针脚与第二针脚之间插接有短路冒；第三排针的第三针脚与第四排针的第三针脚之间插接有短路冒。
[0020]本发明实施例提供的老化板，包括:基板，基板上设置有用于插接被测器件的插座以及第一排针至第四排针，插座包括源极s端口、漏极D端口、栅极G端口 ；第一排针上的第一针脚和第二针脚连通，且第一针脚或第二针脚接地；第二排针上的第一针脚连通S端口、第二针脚连通G端口 ；第三排针上的第一针脚至第三针脚分别连通G端口、D端口和S端口 ；第四排针上的第一针脚至第三针脚均连接VCC ;第一排针的第一针脚、第二针脚分别与第二排针的第一针脚、第二针脚位置相对，第三排针的第一针脚至第三针脚分别与第四排针的第一针脚至第三针脚位置相对。由于插座的S端口、D端口、G端口与接地端以及VCC端均通过排针连接，进一步可通过在排针上插接短路冒的方式实现S端口、D端口、G端口中任一端口接地或接电源，因此可在该老化板上仅通过改变短路冒的插接即可进行多种实验，进一步提高了老化板的通用性，提高了工作效率，降低了配件拔插损耗。
【附图说明】
[0021]图1为本发明实施例提供的一种老化板；
[0022]图2为本发明实施例提供的一种短路冒插接在老化板上的示意图；
[0023]图3为本发明实施例提供的一种短路冒插接在老化板上的示意图；
[0024]图4为本发明实施例提供的一种短路冒插接在老化板上的示意图。
【具体实施方式】
[0025]本发明实施例提供的老化板，包括:基板，基板上设置有用于插接被测器件的插座以及第一排针至第四排针，插座包括源极S端口、漏极D端口、栅极G端口 ；第一排针上的第一针脚和第二针脚连通，且第一针脚或第二针脚接地；第二排针上的第一针脚连通S端口、第二针脚连通G端口 ；第三排针上的第一针脚至第三针脚分别连通G端口、D端口和S端口 ；第四排针上的第一针脚至第三针脚均连接VCC ;第一排针的第一针脚、第二针脚分别与第二排针的第一针脚、第二针脚位置相对，第三排针的第一针脚至第三针脚分别与第四排针的第一针脚至第三针脚位置相对。由于插座的S端口、D端口、G端口与接地端以及VCC端均通过排针连接，进一步可通过在排针上插接短路冒的方式实现S端口、D端口、G端口中任一端口接地或接电源，因此可在该老化板上仅通过改变短路冒的插接即可进行多种实验，进一步提高了老化板的通用性，且简化了实验步骤。
[0026]为了使本发明的目的、技术方案及有益效果更佳清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
[0027]结合图1至图4所示，本发明实施例提供的一种老化板，包括:基板101，基板101上设置有用于插接被测器件的插座108以及第一排针102至第四排针113，插座108包括源极S端口、漏极D端口、栅极G端口 ；
[0028]第一排针102上的第一针脚104和第二针脚105连通,且第一针脚104或第二针脚105接地；
[0029]第二排针103上的第一针脚106连通S端口、第二针脚107连通G端口；
[0030]第三排针112上的第一针脚109至第三针脚111分别连通G端口、D端口和S端Π ;
[0031]第四排针113上的第一针脚114至第三针脚116均连接VCC ；
[0032]第一排针102的第一针脚104、第二针脚105分别与第二排针103的第一针脚106、第二针脚107位置相对，第三排针112的第一针脚109至第三针脚111分别与第四排针113的第一针脚114至第三针脚116位置相对。
[0033]较佳的，第一排针102和第二排针103平行；第三排针112与第四排针113平行。
[0034]较佳的，第一排针102与第二排针103之间的第一间距与第三排针112与第四排针113之间的第二间距相等。
[0035]较佳的，第二排针103的第一针脚106与第二针脚107之间的间距、第三排针112的第一针脚109至第三针脚111的相邻针脚之间的间距、第四排针113的第一针脚114至第三针脚116的相邻针脚之间的间距均等于第一间距。
[0036]较佳的，第四排针113上的第一针脚114至第三针脚116与VCC之间串接保险丝118和电阻117。
[0037]在实施中，较佳的，第一排针102、第二排针103处于竖直且平行的状态，第一排针102的第一针脚104、第二针脚105分别与第二排针103的第一针脚106、第二针脚107位置相对。较佳的，如图1所示，第一排针102的第一针脚104与与第二排针103的第一针脚106处于同一水平线上；第一排针102的第二针脚105与与第二排针103的第二针脚10