编码器对准装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种编码器对准装置，并且更具体地涉及一种用于容易地且适当地使编码器与线性标度(linear scale)对准的编码器对准装置。
【背景技术】
[0002]在自动化系统、半导体制造装置、显示装置制造等的工作台(stage)中提供编码器，从而用于测量沿着工作台的底座移动的传输单元的移动位置或距离。
[0003]编码器被连接到传输单元从而与传输单元一起移动。编码器在不接触具有与之附着的线性标度的底座的情况下移动以电磁地读取线性标度。因此，编码器测量传输单元的移动位置或距离。
[0004]同时，如果编码器适当地与线性标度对准，则所测量的移动位置或距离的编码器进行的测量并非是错误的，因为编码器可以适当地读取线性标度。
[0005]然而，如果编码器并未适当地与线性标度对准，则所测量的移动位置或距离的编码器进行的测量是错误的，因为编码器不能适当地读取线性标度。
[0006]按照惯例，尚未存在用于适当地使编码器与线性标度对准的结构。因此，难以适当地使编码器与线性标度对准，并且即使在操作期间实现编码器与线性标度的不对准，也难以对其进行修正。
[0007]因此，用采用诸如自动化系统、半导体制造装置或显示器制造装置之类的编码器的设备工作已降低了生产力。
[0008]发明的内容发明的目的
本发明意图解决如上所述的常规问题中的至少一个。
[0009]本发明的目的是适当地使编码器与线性标度对准。
[0010]本发明的另一目的是改善采用编码器的设备的制造生产力和工作效率。
【发明内容】
[0011 ] 根据本发明的实施例的编码器对准装置包括以下特征以用于实现目的中的至少一个。
[0012]根据本发明的实施例的编码器对准装置包括:
第一支撑构件，连接到沿着底座移动的可移动单元；
第二支撑构件，通过弹性构件连接到第一支撑构件，第二支撑构件提供有面对被附着于所述底座的线性标度的编码器；以及
调整构件，穿透第一支撑构件而接触第二支撑构件以用于调整第一支撑构件和第二支撑构件之间的距离和角度，从而适当地使编码器与线性标度对准。
[0013]在这种情况下，可以使得调整构件和弹性构件为复数的。
[0014]另外，可以使得调整构件为至少三个。
[0015]并且，弹性构件可以位于所述调整构件中的相邻的一些之间。
[0016]另外，可以将调整构件中的至少某些布置成从而相互形成直角。
[0017]并且，可以使得接触调整构件的第二支撑构件的点中的至少两个具有接触凹槽。
[0018]另外，可以将接触凹槽中的一个成形为类似于倒置圆锥，并且另一个成形为类似于倒置四角锥。
[0019]发明的效果
如上所述，本发明的实施例包括连接到可移动单元的第一支撑构件、提供有编码器且连接到第一支撑构件的第二支撑构件、以及穿透第一支撑构件以接触第二支撑构件以用于调整第一支撑构件与第二支撑构件之间的距离和角度从而适当地使编码器与线性标度对准的调整构件。
[0020]另外，本发明的实施例改善了采用编码器的设备的制造生产力和工作效率。
【附图说明】
[0021]图1是根据本发明的实施例的编码器对准装置的透视图；
图2是根据本发明的实施例的编码器对准装置的分解图；
图3是沿着图1的线A— A’截取的截面图；
图4是沿着图1的线B— B’截取的截面图；以及图5至7是用于图示出根据本发明的实施例的编码器对准装置的操作的透视图。
【具体实施方式】
[0022]在下文中，从根据本发明的实施例的编码器对准装置的更详细描述将更清楚地理解本发明的特征。
[0023]在下文中，将参考最适合于理解本发明的实施例来描述本发明的技术特征，并且所述实施例不限制本发明的技术特征，但是仅举例说明本发明。因此，将注意的是可以通过在本发明的技术范围内的实施例来不同地修改本发明。另外，将帮助理解实施例的附图具有用来表示在实施例中的每个中提供相同功能的部分的相同参考数字。
[0024]图1是根据本发明的实施例的编码器对准装置的透视图，并且图2是根据本发明的实施例的编码器对准装置的分解图。图3是沿着图1的线A— A’截取的截面图，并且图4是沿着图1的线B—B’截取的截面图。并且图5至7是用于图示出根据本发明的实施例的编码器对准装置的操作的透视图。
[0025]如图1和2中所示，根据本发明的实施例的编码器对准装置100包括第一支撑构件200、第二支撑构件300以及调整构件400、400’、400’ ’。
[0026]第一支撑构件200连接到沿着底座(未示出)移动的可移动单元(未示出)。因此，第一支撑构件200连同可移动单元一起移动。
[0027]为此，如图1和2中所示，第一支撑构件200具有类似于倒置L来成形的截面。第一支撑构件200的垂直部分借助于弹性构件500连接到第二支撑构件300，如下所述。并且，第一支撑构件200的水平部分连接到可移动单元。
[0028]然而，第一支撑构件200的形状并不受到特别限定，但是可具有任何形状，条件是其一部分可以连接到第二支撑构件300，并且其另一部分连接到可移动单元。
[0029]可将连接到第一支撑构件200的可移动单元和可移动单元沿着其移动的底座包括在例如XY工作台(未示出)中。然而，可移动单元和底座并未被特别限定，但是任何常规的一些是可能的，条件是可移动单元可以沿着底座移动。
[0030]如图1至3中所示，第一支撑构件200提供有通孔210。如下所述，将调整构件400、400，、400，’插入在第一支撑构件200的通孔210中。
[0031]如下所述，根据本发明的实施例的编码器对准装置100包括三个调整构件400、400’、400’ ’，对应于其而在第一支撑构件200中形成三个通孔210。
[0032]然而，在第一支撑构件200中形成的通孔210的数目并不被特别限定，而是根据调整构件400、400，、400，’的数目来确定。
[0033]而且，如图1至3中所示，第一支撑构件200提供有连接孔220。连接孔220接收弹性构件500的一侧以用于将第二支撑构件300连接到第一支撑构件200。
[0034]根据本发明的实施例的编码器对准装置100包括用于将第二支撑构件300连接到第一支撑构件200的四个弹性构件500，并且因此如图3中所示，第一支撑构件200提供有四个连接孔220。
[0035]然而，在支撑构件200中形成的连接孔220的数目并不被特别限定，而是根据弹性构件500的数目来确定。
[0036]而且，弹性构件500的数目并不被特别限定，而是可以是任何的，例如四个，如上所述。
[0037]如图3中所示，可在通孔210之间形成连接孔220。这是因为在编码器对准装置(100)的本实施例中，弹性构件500位于调整构件400、400’、400’ ’之间，如下所述。
[0038]在第一支撑构件200的通孔210之间形成用于接收弹性构件500的一侧的第一支撑构件200的连接孔220以用于通过调整构件400、400’、400’ ’，从而将弹性构件500定位于相邻调整构件400,400'、400，’之间。
[0039]然而，第一支撑构件200的连接孔220的位置并不被特别限定，而是任何位置是可能的，条件是插入弹性构件500的一侧从而将第二支撑构件300连接到第一支撑构件200。
[0040]在被插入第一支撑构件200的连接孔220中的弹性构件500的一侧中插入固定构件510，如图3中所示和下面描述的。另外，固定构件510被固定地附着于第一支撑构件200。用于将固定构件510固定地附着到第一支撑构件200的结构并不被特别限定，而是可能是任何结构，诸如匸形状的构件(未示出)，条件是可以将固定构件固定地附着于支撑构件 200。
[0041]因此，防止插入第一支撑构件200的连接孔220中的弹性构件500的一侧从连接孔 220 逸出(escape)。
[0042]第二支撑构件300提供有编码器EH从而面对在底座中提供的线性标度LS。
[0043]用于在第二支撑构件300中提供编码器的结构并不被特别限定，而是可能是任何常规结构，诸如用于将编码器EH连接到第二支撑构件300的连接支架(未示出)，条件是可以在第二支撑构件300中提供编码器EH。
[0044]而且，编码器的结构并不被特别限定，而是可能是任何常规的一个，条件是可以在第二支撑构件300中提供编码器EH。另外，线性标度LS并不被特别限定，而是可能是任何常规的一个，条件是在第二支撑构件300中提供的编码器可以电磁地读取线性标度LSo
[0045]第二支撑构件300借助于弹性构件500连接到第一支撑构件200。为此，第二支撑构件300提供有连接孔330作为第一支撑构件200。
[0046]第二支撑构件300的连接孔330接收弹性构件500的另一侧，其中一侧被插入第一支撑构件200的连接孔220中。在本发明的本实施例中，编码器对准装置100包括用于将第二支撑构件300连接到第一支撑构件200的四个弹性构件500，并且因此在第二支撑构件300中形成四个连接孔330。
[0047]然而，在第二支撑构件300中形成的连接孔330的数目并不被特别限定，而是可能是任何数目，条件是该数目与弹性构件500的数目相对应。
[0048]第二支撑构件300的连接孔330被形成为从而面对第一支撑构件200的连接孔220。在本实施例的编码器对准装置100中，由于在第一支撑构件200的通孔210之间形成第一支撑构件200的连接孔220，所以第二支撑构件300的连接孔330也与第一支撑构件200的通孔210之间的位置相对应地定位。
[0049]然而，第二支撑构件300的连接孔330的位置并不被特别限定，而是可能是任何位置，条件是可以插入弹性构件500的另一侧从而将第二支撑构件300连接到第一支撑构件200。
[0050]还可以在插入第二支撑构件300的连接孔330中的弹性构件500的另一侧中插入固定构件510，如在插入第一支撑构件200的连接孔220中的弹性构件500的一侧中一样。因此，插入第二支撑构件300的连接孔330中的弹性构件500的另一侧不能从连接孔330逸出到外面。
[0051]因此，在第一支撑构件200的连接孔220中插入弹性构件500的一侧，并在第二支撑构件300的连接孔330中插入弹性构件500的另一侧，使得第二支撑构件300借