一种基于光谱色散全场的超横向分辨率表面三维在线干涉测量系统的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及光学测量领域，尤其是涉及一种基于光谱色散全场的超横向分辨率表 面三维在线干涉测量系统。
【背景技术】
[0002] 现有的与此技术相接近的文献有以下两个：
[0003] [1]D. P. Hand, T. A. Carolan, J. S. Barton, and J. D. C. Jones. ^Profile measurement of optically rough surfaces by fiber-optic interferometry'，，Opt. Lett.，Vol. 18, No. 16, 1993, P. 1361-1363. (Optics Letters(光学快报），第18卷，第16 期，Ρ· 1361-1363)
[0004] 文献[1]的技术原理如图1所示。
[0005] 半导体激光器发出的光经过法拉第隔离器和光纤3dB耦合器后，到达测量头，测 量头是一个菲索干涉仪，一部分光被光纤端面反射作为参考光，另一部分光经过自聚焦透 镜聚焦后，投射到被测表面上，由被测表面反射重新回到系统中并与参考光发生干涉，干涉 信号由探测器探测，干涉信号的相位决定于被测表面被测点的纵向高度；改变该激光器的 驱动电流以改变激光器的发光频率，用四种不同频率的光对同一点进行测量，得到四个干 涉信号，由于入射光波频率不同，四个干涉信号的位相就不同，调节驱动电流，使相邻两个 干涉信号的相位差η/2,通过以下式子，即可解调出该点的光程差D，即完成单点的测量：
[0006]
[0007] Ιη(η = 1，2, 3, 4)是第η次干涉信号的强度，c是光速，v是入射光频率。
[0008] 步进电机再带动测量头横向扫描被测表面，即完成对被测表面的测量。
[0009] [2]De jiao Lin, Xiangqian Jiang, Fang Xie, Wei Zhang, Lin Zhang and Ian Bennion. "High stability multiplexed fibre interferometer and its application on absolute displacement measurement and on-line surface metrology'，，Optics Express，Vol.l2，Issue 23,2004，P. 5729-5734. (Optics Express(光学特快），2004年，第 12卷，第23期，Ρ· 5729-5734)
[0010] 文献[2]的技术原理图如图2所示。
[0011] 此系统包含两个光路几乎重合的迈克尔逊干涉仪。一个迈克尔逊干涉仪是利用测 量臂上的光纤光栅和参考镜作为反射镜构成，用于完成稳定工作；另一个迈克尔逊干涉仪 是利用测量镜和参考镜作为反射镜构成，用于完成测量工作。因为两个干涉仪的参考臂共 用一个反射镜，两个干涉仪的参考臂光路完全重合，又由于两个干涉仪的测量臂几乎重合， 所以，一个干涉仪稳定了，另一个干涉仪也就稳定了。
[0012] 由半导体激光器发出波长为λ。的光经过两个3dB耦合器后被分为两路，一路被 光纤光栅反射，另一路被参考反射镜反射。两路反射光经过3dB耦合器后再次相遇并且发 生干涉，干涉信号经过环行器后，被另一个光纤光栅反射，再次经过环行器，然后被探测器 探测，此探测器探测到的信号经过伺服电路处理后驱动压电陶瓷管调节光纤干涉仪的参考 臂的长度，使稳定干涉仪的两个干涉臂始终处于正交状态（相位差为η/2)，从而实现稳定 该干涉仪的目的。
[0013] 可调谐激光器发出的波长λ"可变的光经过两个光纤3dB耦合器后被分为两路， 一路经过光纤自准直透镜后再由测量镜反射再次回到干涉仪中，另一路经过光纤自准直透 镜后再由参考镜反射再次回到干涉仪中，两路光经过3dB耦合器后相遇，形成干涉信号，此 干涉信号经过环行器及光纤光栅后，被探测器探测，再经过相位分析即测量出测量镜的位 移。
[0014] 上述两个现有技术存在的问题和不足是：
[0015] 1、是光点扫描被测表面进行表面三维测量，光点需要进行二维扫描才能完成表面 三维测量，扫描机构复杂，测量速度慢。
[0016] 2、测量的横向分辨率决定于光斑直径，光斑直径受衍射极限的限制，因此，横向分 辨率决定于衍射极限，难以得到高横向分辨率的测量结果。
[0017] 3、不能对有高度差大于半波长的台阶以及有大深宽比的沟槽的表面进行测量。
【发明内容】
[0018] 本发明利用衍射光栅色散宽带光谱形成的波长在横向（垂直于光波传播方向）连 续分布的光片，将此光片扩束成平行光束垂直入射到被测表面上，对被测表面进行全场测 量，一次定位完成表面三维测量，无需扫描，测量速度快；利用两种不同的波长分别对被测 表面上同一个被测点进行测量，通过调谐这两个波长的差值可得不同大小的合成波波长， 使系统能够对高度差达毫米量级的台阶以及深宽比大于50的沟槽的不连续表面进行三维 快速测量；利用可调谐Fabry-Perot滤波器实现光线长度方向超横向分辨率；利用反馈控 制系统补偿环境干扰对测量系统的影响，以提高测量系统抗干扰能力，使之适合在线测量； 衍射光栅色散宽带光谱形成波长在横向连续分布且各种波长位置固定的光片，使测量结果 能精确溯源到波长基准，光源光谱的漂移对测量结果没有影响。
[0019] 本发明是通过以下技术方案实现的。
[0020] -种基于光谱色散全场的超横向分辨率表面三维在线干涉测量系统，由宽带光源 XI，隔离器B1，光纤F，光纤连接头C，球面凸透镜1^1乂2、1^3，柱面凸透镜1^4、1^5乂6、1^7，分 光镜31、52、53、54，直角棱镜1?1、1?2、1?3;光阑01、02，挡光屏？，衍射光栅6，平面反射镜1 平移台T1、T2,光电探测器HH，面阵探测器TO2,可调谐Fabro-Perot滤波器X2,压电陶 瓷PZT，数据采集卡B2,信号处理电路B3,反馈控制电路M，计算机B5,结果输出B6,平移 台驱动B7组成。
[0021] 宽带光源XI发出的光经过隔离器B1以及光纤F后，由光纤连接头C输出，经过球 面凸透镜L1准直形成的平行光束经过球面凸透镜L2后，被聚焦在球面凸透镜L2的后焦点 处，经过位于L2后焦点的圆孔光阑D1，再经过球面凸透镜L3准直形成的平行光束入射到直 角棱镜R1上，经直角棱镜R1转向，到达分光镜S1，由分光镜S1分成透射和反射两束光，其 中透射光到达分光镜S2,再由分光镜S2分成透射和反射两束光，反射光束被反射出系统， 透射光束沿柱面凸透镜L4的主光轴入射到柱面凸透镜L4上，被聚焦在柱面凸透镜L4后 焦点处，柱面凸透镜L4的后焦点在衍射光栅G的衍射面上，所以，光束被聚焦在衍射光栅G 上，再由衍射光栅G色散，形成波长在横向（垂直于光波传播方向）连续分布的扇形光片。 此扇形光片被柱面凸透镜L5准直成波长在横向连续分布的平行光片，此平行光片经过两 个共焦柱面凸透镜L6和L7扩束为平行光束，此平行光束到达分光镜S3,被分成透射和反 射两束光，其中透射平行光入射到平面反射镜Μ上，被平面反射镜Μ反射，再次回到分光镜 S3,再由分光镜S3反射及透射成两束平行光束。
[0022] 来自柱面凸透镜L7并由分光镜S3反射的平行光束投射在被测表面上，被测表面 上不同的被测点反射回不同波长的光。反射光再次到达分光镜S3,并被分光镜S3分成透 射和反射两束平行光。其中透射平行光束与由平面反射镜Μ反射后到达分光镜S3并被分 光镜S3反射的平行光相遇并发生干涉，每个波长的光形成自己的干涉信号，此干涉平行光 束到达分光镜S4,并被分光镜S4分成透射和反射两束平行光束。透射平行光束垂直入射 到Fabry-Perot滤波器Χ2的一个平行平板上，满足Fabry-Perot滤波器Χ2相干相长条件 波长的光得以透过，相邻波长间隔为Fabry-Perot滤波器自由光谱区的梳状波长的光透过 Fabry-Perot滤波器X2,形成横截面光能量不连续的梳状平行光束，由面阵探测器PD2对应 像元探测。这一组梳状波长的干涉信号是由被测表面