一种具有温度监控功能的光刻胶桶的制作方法

文档序号:9595733阅读:660来源:国知局
一种具有温度监控功能的光刻胶桶的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种光刻胶桶,具体地说涉及一种具有温度监控功能的光刻胶桶。
【背景技术】
[0002]在半导体行业光刻胶是一种频繁使用的原材料,由于其成分特殊,工厂内均将其保存在5摄氏度左右的冰箱里,储存在冰箱内的光刻胶需要提前解冻至室温23摄氏度才能使用。目前对于光刻胶是否充分解冻都是依据经验时间来判定(室温放置24小时以上),或者通过大量的实验数据后通过测量光刻胶桶外壁的温度进行推算。这种判段方法不够精确,尤其是对于新研发的光刻胶材料,需要通过大量的实验后才得到相对准确的解冻时间,在实验阶段会造成大量的浪费。

【发明内容】

[0003]针对上述技术的不足,本发明提供了一种具有温度监控功能的光刻胶桶,实时显示其内部的温度,精确的判断光刻胶是否解冻充分。
[0004]为实现上述目的,本发明解决问题的技术方案如下:
一种实现温度监控的光刻胶桶,包括桶盖、桶口、桶壁、桶底、以及设置在桶口处的引流管,所述桶盖的外侧设置有LED显示屏和蜂鸣器,桶盖的内侧设置有第一连接器,所述LED显示屏和蜂鸣器均通过线路与第一连接器连接,所述引流管的顶部设置有与第一连接器匹配连接的第二连接器,引流管的外壁还设置有温度传感器,所述温度传感器通过线路与第二连接器相连。所述LED显示屏和蜂鸣器均设置有相应的开关,以便于根据实际情况启用其相应的功能。
[0005]进一步地,所述第二连接器环绕设置在引流管顶部的外侧,所述引流管的顶部高于桶口表面,第二连接器在桶口上部。
[0006]再进一步地,所述桶盖为插拔式结构,当桶盖插紧后,第一连接器与第二连接器接通,此时温度传感器探测的温度即可显示在LED显示屏上,当温度达到设定的使用温度时,蜂鸣器发出警报,提醒工作人员,该桶光刻胶已经充分解冻。
[0007]为了能够监控到内部光刻胶的温度,所述温度传感器安装在引流管外壁1/3~2/3处,一般设置在整个引流管的中间部位。
[0008]与现有技术相比,本发明具有以下有益效果:
(1)本发明在光刻胶桶内设置温度传感器,能够实时监控解冻过程中光刻胶内的温度,便于生产人员精确判断地光刻胶解冻是否充分。
[0009](2)本发明设置有蜂鸣器,解冻过程中当温度达到设定温度时通过警报第一时间通知工作人员。
[0010](3)本发明插拔式结构的桶盖设计能够达到更好的密封效果。
[0011](4)本发明的温度传感器设置在引流管外壁中部,能够更精准的监控光刻胶内部温度。
【附图说明】
[0012]图1为本发明的光刻胶桶的整体示意图。
[0013]图2为本发明的光刻胶桶盖的示意图。
[0014]其中,附图中的零部件名称为:
1-桶盖,2-桶口,3-桶壁,4-桶底,5-引流管,6-LED显示屏,7-蜂鸣器,8-第一连接器,
9-第二连接器,10-温度传感器,11-开关,12-调节按钮。
【具体实施方式】
[0015]如图1所示,本实施例的一种具有监控功能的光刻胶桶包括,包括桶盖1、桶口 2、桶壁3、桶底4、引流管5 ;桶盖1的外侧设置有LED显示屏6和蜂鸣器7,桶盖的内侧设置有第一连接器8,LED显示屏6和蜂鸣器7通过隐藏在桶盖内的线路与第一连接器8连接,引流管5的顶部套有第二连接器9 ;如图2所示,本实施例的第一连接器为探针式插拔件,第二连接器为与第一连接器的探针匹配的插孔槽,并且第二连接器在桶口的外部;引流管5的中部设置有温度传感器10,温度传感器10通过排布在引流管5外壁的线路与第二连接器9连接;所述桶盖1上还设置有控制LED显示屏6和蜂鸣器7的开关11和调节按钮12。桶盖1为插拔式结构,当桶盖1在桶口 2上,并向下压紧后,第一连接器与第二连接器接通。当光刻胶从冰箱里拿出来后,启动桶盖1上的LED显示屏6和蜂鸣器7的开关,如此就启动了光刻胶解冻时的温度监控功能。工作人员可以通过LED显示屏上显示的数字掌控光刻胶桶内的温度。光刻胶一般在23摄氏度能够投入使用,如果对蜂鸣器的报警温度设置在23摄氏度,当温度传感器检测到的温度到达23摄氏度时,蜂鸣器就发出警报,工作人员无需时刻关注也能及时知道光刻胶已经解冻充分可以投入使用。
【主权项】
1.种具有温度监控功能的光刻胶桶,包括桶盖、桶□、桶壁、桶底、以及设置在桶口处的引流管,其特征是,所述桶盖的外侧设置有LED显示屏和蜂鸣器,桶盖的内侧设置有第一连接器,所述LED显示屏和蜂鸣器均通过线路与第一连接器连接,所述引流管的顶部设置有与第一连接器匹配连接的第二连接器,引流管的外壁还设置有温度传感器,所述温度传感器通过线路与第二连接器相连。2.根据权利要求1所述的一种具有温度监控功能的光刻胶桶,其特征是,所述第二连接器环绕设置在引流管顶部的外侧。3.根据权利要求2所述的一种具有温度监控功能的光刻胶桶,其特征是,所述桶盖为插拔式结构。4.根据权利要求3所述的一种具有温度监控功能的光刻胶桶,其特征是,所述温度传感器安装在引流管外壁1/3~2/3处。
【专利摘要】本发明提供了一种具有温度监控功能的光刻胶桶,包括桶盖、桶口、桶壁、桶底、以及设置在桶口处的引流管,其特征是,所述桶盖的外侧设置有LED显示屏和蜂鸣器,桶盖的内侧设置有第一连接器,所述LED显示屏和蜂鸣器均通过线路与第一连接器连接,所述引流管的顶部设置有与第一连接器匹配连接的第二连接器,引流管的外壁还设置有温度传感器,所述温度传感器通过线路与第二连接器相连。本发明通过对个、桶内光刻胶温度的实时监控,可精确判断解冻的光刻胶能否用于生产。
【IPC分类】G01K13/00
【公开号】CN105352629
【申请号】CN201510734690
【发明人】刘幸
【申请人】刘幸
【公开日】2016年2月24日
【申请日】2015年11月3日
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