超声波检查装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种使用了超声波的跟踪选通方式的超声波检查装置的技术。
【背景技术】
[0002]通过向被检测体射入超声波，利用由于被检测体中的因不同材料的界面、龟裂产生的空间等反射超声波的情况，测量其反射回波的强度、到检测出反射回波为止的时间，进行超声波检查。根据其位置来显示在被检测体上的平面的各位置重复进行超声波检查而得到的波形数据，由此得到超声波检查的影像。这样能够对被检测体内部的界面状态、龟裂的位置等进行可视化。
[0003]作为得到针对被检测体内部的界面等位于测定对象的任意深度的截面的影像的方法，普通的超声波检查装置进行选通控制。
[0004]选通控制是对每次超声波检查在从基准定时延迟了确定的选通延迟时间后的定时，设定预定的选通宽度的检测选通，根据该检测选通内的反射回波来检测目标物的有无。即，在选通控制中，超声波检查装置根据某个基准回波，在预先确定的预定时间后设定检测选通(一般称为F选通)。然后，超声波检查装置在所设定的F选通中抽出用于检查图像的数据。
[0005]在该选通控制的方法中一般有固定选通方式和跟踪选通方式。
[0006]该2个方式的不同是将基准回波设为哪个波。
[0007]固定选通方式是将选通开始的基准定时设为发送回波的基准。即，固定选通方式是将基准回波作为从探针发送的发送回波。在此，探针是指向被检测体发信发送回波、并且接收来自被检测体的反射回波。
[0008]固定选通方式如上述那样将发送回波作为用于设定F选通的基准回波。因此，无论被检测体的状态是怎样的状态，基准回波都不会变化。由此，固定选通方式在成为目标的检查截面相对于探针始终处于固定位置的情况下是有效的，但在倾斜地设置了被检测体的情况等下，成为目标的测定截面从检测选通偏离。在这样的情况下，在固定选通方式中，通过将选通宽度设定得宽，使得即使在倾斜地设置了被检测体的情况下，也能够取得目标的测定截面。但是，如果这样，则也会取得本来应该取得的部分以外的反射回波，因此难以得到清晰的影像。
[0009]另一方面，跟踪选通方式不是设置用于取得反射回波的选通，而是在属于被检测体的基准面设置选通，将在该选通内检测出的回波作为基准定时。即，跟踪选通方式是从因被检测体产生的反射回波中设定基准回波的方式。在跟踪选通方式中，一般大多将来自被检测体表面的反射回波作为基准回波。这是因为在发送回波之后，最初的反射回波是由被检测体表面产生的回波，因此容易确定为基准回波。
[0010]另外，在跟踪选通中，超声波检查装置在根据基准面确定的位置设置确定的选通宽度的检测选通，在该检测选通内，进行目标物的有无检测。即，在将基准回波设为由被检测体表面产生的回波的情况下，超声波检查装置根据基准回波在预先确定的预定时间后设定F选通(检测选通)。然后，超声波检查装置在所设定的F选通内进行目标物有无的检测。
[0011]在跟踪选通中，如上述那样将由被检测体产生的回波作为用于设定F选通的基准回波。因此，基准回波也根据被检测体的状态而发生变化。
[0012]例如在将基准回波设为由被检测体表面产生的回波的情况下，如果倾斜地设置被检测体，则也与被检测体的倾斜对应地得到基准回波。由此，根据跟踪选通方式，能够与被检测体的设置状态无关地取得相对于被检测体表面而位于一定深度的地方的测定截面。这样，跟踪选通方式基于属于被检测体的基准面而设定检测选通，因此即使在倾斜地设置了被检测体的情况下，也能够不改变检测选通宽度地取得与成为目标的检查截面有关的信息。
[0013]跟踪选通方式在只希望对层叠构造物的某个截面进行影像化的情况等下有效。
[0014]另外，在跟踪选通方式中，为了检测基准回波，设定用于检测基准回波的选通(一般称为S选通)。根据被检测体的设置状态来设定S选通。例如，在将基准回波设为由被检测体表面产生的回波的情况下，基于从探针到被检测体表面的距离来设定S选通。在此，考虑到倾斜地设置了被检测体的情况等，而将S选通设定为具有预定的时间宽度的选通。
[0015]这时，在超声波检查装置中，设定作为固定阈值的触发电平(一般称为S触发电平)。如果在S选通内回波超过S触发电平，则超声波检查装置判定为检测出基准回波。将回波超过了 S触发电平的时刻称为S触发点。另外，超声波检查装置根据S触发点在预先设定的预定时间后设定F选通。F选通具有与希望检查的范围对应的宽度。
[0016]作为使用了这样的跟踪选通方式的技术，有专利文献1和专利文献2记载的技术。
[0017]专利文献1记载的技术在对焦操作时使用表面波同步选通模式。另外，专利文献1记载的技术在测定被检测体的时间点，作为主同步模式，测量出的时间值与根据焦点位置而设定的表面波同步选通模式下的预定延迟时间值之间的和作为主同步选通模式的预定时间延迟。
[0018]另外，专利文献2记载的技术在超声波反射面的测定中，将上一个射束路程的测定值等作为下一个测定位置的射束路程的推定值，与该推定值一致地变更选通延迟时间。
[0019]现有技术文献
[0020]专利文献
[0021 ] 专利文献1:日本特开平5-26858号公报
[0022]专利文献2:日本特开平7-113790号公报
【发明内容】
[0023]发明要解决的问题
[0024]但是，在跟踪选通方式中，有时由于被检测体表面的粗糙度等原因无法稳定地得到基准回波。即，有时因被检测体表面的粗糙度等原因，无法得到充分大小的回波，S选通内的回波有时会达不到S触发电平。在这样的情况下，无法得到基准回波，因此存在基于基准回波而设定的F选通(检测选通)不稳定的问题。
[0025]在专利文献1和专利文献2记载的技术中，也没有考虑到这样的问题。
[0026]鉴于这样的背景而提出了本发明，本发明的课题在于:在跟踪选通方式中，稳定地得到F选通。
[0027]解决问题的方案
[0028]为了解决上述问题，本发明的特征在于:在无法检测出触发点的情况下，以其他波形数据为基础，设定成为处理对象的波形数据的触发点。
[0029]发明效果
[0030]根据本发明，在跟踪选通方式中，能够稳定地得到F选通。
【附图说明】
[0031]图1是表示本实施方式的超声波检查系统的结构例子的图。
[0032]图2是表示本实施方式的检查装置的结构例子的图。
[0033]图3是表示被检测体的例子的图。
[0034]图4是表示比较例子的超声波检查方法的处理概要的图。
[0035]图5是表示比较例子的检查装置的检查图像的例子的图。
[0036]图6是表示第一实施方式的超声波检查方法的处理概要的图。
[0037]图7是表示使用了第一实施方式的超声波检查方法的结果而得到的检查图像的例子的图。
[0038]图8是表示第一实施方式的超声波检查方法的详细处理步骤的流程图。
[0039]图9是表示第二实施方式的超声波检查方法的处理概要的图。
[0040]图10是表示使用了第二实施方式的超声波检查方法的结果而得到的检查图像的例子的图。
[0041]图11是表示第二实施方式的超声波检查方法的详细处理步骤的流程图。
[0042]图12是表示第三、第四实施方式的被检测体的例子的图。
[0043]图13是表示第三实施方式的超声波检查方法的概要的图。
[0044]图14是表示使用了第三实施方式的超声波检查方法的结果而得到的检查图像的例子的图。
[0045]图15是表示第三实施方式的超声波检查方法的详细处理步骤的流程图。
[0046]图16是表示第四实施方式的超声波检查方法的概要的图。
[0047]图17是表示使用了第四实施方式的超声波检查方法的结果而得到的检查图像的例子的图。
[0048]图18是表示第四实施方式的超声波检查方法的详细处理步骤的流程图(之一)。
[0049]图19是表示第四实施方式的超声波检查方法的详细处理步骤的流程图(之二)。
【具体实施方式】
[0050]接着，适当地参照附图详细说明用于实施本发明的形式(称为“实施方式”)。此外，在以后的说明中，假设“触发点”是上述的“S触发点”。
[0051 ]〈系统结构〉
[0052]图1是表示本实施方式的超声波检查系统的结构例子的图。
[0053]超声波检查系统20具备向设置在水中的被检测体2射入超声波信号的探针1。另外，探针1连接有前置放大器3，前置放大器3连接有脉冲产生器4、接收器5。另外，接收器5连接有A/D (模拟/数字)转换器6，A/D转换器6连接有控制装置7。
[0054]另外，控制装置7连接有具备显示器(显示部)9的数据处理装置8。进而，控制装置7连接有3轴扫描仪10，控制探针1的动作。
[0055]脉冲产生器4向探针1重复施加脉冲电压。另外，在探针1中将脉冲电压转换为超声波信号。
[0056]接着，转换后的超声波信号通过探针1前端的音响透镜而收敛，向设置在水中的被检测体2射入。
[0057]再次通过探针1接收在被检测体2的表面、内部的缺陷、由界面反射的超声波信号。然后，探针1将接收到的超声波信号转换为电信号而向前置放大器3输出。经由前置放大器3和接收器5进行转换后的电信号被放大，向A/D转换器6输出。A/D转换器6将放大后的模拟的电信号转换为数字信号。
[0058]对于转换后的电信号，通过A/D转换器6、设置在控制装置7内的检查装置100(图2)，处理来自被检测体2内部的构造、缺陷等检查目标的反射回波。然后，将来自检查目标的反射回波的峰值输出到数据处理装置8。另外，也可以将数字化后的波形信号自身输入到数据处理装置8。
[0059]此外，以预先指定的测定间距执行峰值的检测。数据处理装置8将影像构成为被检测体2内部的缺陷的探伤影像，显示在显示器9上。
[0060]另一方面，如上述那样，将探针1安装在3轴扫描仪10上，能够通过控制装置7进行方形扫描。
[0061 ]〈检查装置结构〉
[0062]图2是表示本实施方式的检查装置的结构例子的图。
[0063]检查装置(超声波检查装置)100具备存储器110、运算装置120、存储装置130。此夕卜，理想的是检查装置100安装在图1的A/D转换器6或控制装置7中。具体地说，理想的是通过后述的同时处理方式将检查装置100安装在A/D转换器6中，通过统一处理方式将检查装置100安装在控制装置7中。
[0064]在将检查装置100安装在控制装置7中的情况下，将存储在存储装置130中的程序装载到存储器110，通过运算装置120执行所装载的程序。由此，在存储器1