置中所述至少一个反射体元件18构造在空穴14的 远离膜片12定向的背侧14b上。为此，膜片承载装置10的衬底借助于键合连接或粘接连接30 如此固定在如下承载板32上，在所述承载板上布置有所述至少一个反射体元件18,使得所 述至少一个反射体元件18位于空穴的背侧14b上。
[0047]此外，图2的微加热板装置在膜片12的远离空穴14定向的外侧12b上也具有至少一 个前反射体元件34。所述至少一个前反射体元件34示例性地构造在封装36的内侧上，其中， 封装36固定在承载板32上。承载板32和封装36可以附加地还用作微加热板装置的壳体。壳 体可以可选择地流体密封地、空气密封地或者具有至少一个壳体开口 38地构造。微加热板 装置的具有反射体元件18和34的配备因此同时连同膜片12在壳体中的包装是可能的。通过 这种方式可以减小用于制造图2的微加热板装置要执行的方法步骤的数目。
[0048] 通过微加热板装置的具有多个反射体元件18和34的配备可以将所发射的热辐射 中的相对多的热辐射又反射回到膜片12上。通过所述至少一个反射体元件18的和/或所述 至少一个前反射体元件34的弯曲的构造可以将热辐射从一个较大的空间角收集和反射。
[0049] 优选地，所述至少一个反射体元件18和/或所述至少一个前反射体元件34具有椭 圆形或抛物面形状地构造。相应椭圆的或抛物面的焦点尤其可以与膜片12的平面重合。如 根据图2中的箭头40所示，可以通过这种方式使所反射回的热辐射有针对性地朝向膜片12 确定的区域。这是特别有利的，只要仅仅在膜片12的确定的区域上期望相对高的温度。
[0050] 图3示出微加热板装置的第三实施方式的示意图。
[0051] 在图3中示意性示出的微加热板装置具有前述实施方式的所有部件。然而代替反 射体元件18的和前反射体元件34的单面构造，图3的微加热板装置对于元件18和34分别具 有多个平面的反射面18a和34a，它们组合式地模仿对于元件18和34中的每个的椭圆或抛物 面形状。因此在没有执行耗费的制造方法的情况下也能够实现元件18和34的优选构造。
[0052] 所有以上实现的微加热板装置可以用作用于传感器的传感器构件。为此可以在膜 片12上和/或中沉积至少一种灵敏材料，所述至少一种灵敏材料具有至少一个物理参量，所 述至少一个物理参量取决于至少一种物质的物质浓度。如此构造的传感器构件可以例如用 于气体传感器、颗粒传感器和/或流体传感器。传感器构件的分析处理例如可以通过要归因 于至少一种物质的物质浓度的、物理参量的变化实现，所述物理参量如例如导电能力（阻 性）、电容(容性)和/或逸出功(基于场效应）。
[0053]适合的感性材料例如是Sn02和/或W03。然而，用作传感器构件的微加热板装置也可 以具有其他灵敏材料。
[0054]为了改善灵敏性和/或再生性，微加热板装置可以借助于至少一个加热管路16加 热到期望的温度上，例如在150°C与700°C之间的温度范围中。例如可以给所述至少一个加 热管路16脉冲式通电。在微加热板装置的这样的脉冲式运行中可以可靠地从以下出发，即 所述至少一个加热管路16的和/或所述膜片12的温度高于所述至少一个反射体元件18的温 度。
【主权项】
1. 一种微加热板装置，其具有： 膜片承载装置(10); 膜片（12)，所述膜片至少部分地跨越至少一个构造在所述膜片承载装置（10)中的空穴 (14);以及 至少一个布置在所述膜片（12)上和/或中的加热管路(16); 其特征在于至少一个反射体元件（18)，所述至少一个反射体元件如此布置在所述膜片 (12)的朝向所述空穴（14)定向的内侧（12a)上，使得由所述至少一个加热管路（16)和/或所 述膜片（12)发射的热辐射能够借助于所述至少一个反射体元件（18)至少部分地反射回到 所述膜片（12)上和/或中。2. 根据权利要求1所述的微加热板装置，其中，所述至少一个反射体元件（18)悬挂在所 述膜片（12)的内侧（12a)上。3. 根据权利要求1或2所述的微加热板装置，其中，所述至少一个反射体元件（18)与所 述至少一个加热管路（16)或者与所述膜片（12)的远离所述空穴（14)定向的外侧（12b)之间 的光学间距(a)等于波长的四分之一，在所述波长下由所述至一个加热管路（16)和/或所述 膜片（12)发射的热辐射具有能量流最大值。4. 根据以上权利要求中任一项所述的微加热板装置，其中，所述至少一个反射体元件 (18)或至少一个另外的反射体元件构造在所述空穴（14)的远离所述膜片（12)定向的背侧 (14a)上。5. 根据权利要求4所述的微加热板装置，其中，所述膜片承载装置（10)包括衬底，通过 所述衬底结构化所述空穴（14)，其中，所述衬底借助于键合连接或粘接连接(30)如此固定 在如下承载板(32)上，在所述承载板上布置有所述至少一个反射体元件（18)或者所述至少 一个另外的反射体元件，使得所述至少一个反射体元件（18)或者所述至少一个另外的反射 体元件位于所述空穴（14)的背侧（14b)上。6. 根据以上权利要求中任一项所述的微加热板装置，其中，在所述膜片（12)的外侧 (12b)上布置有至少一个前反射体元件(34)。7. 根据以上权利要求中任一项所述的微加热板装置，其中，所述至少一个反射体元件 (18)、所述至少一个另外的反射体元件和/或所述至少一个前反射体元件(34)具有椭圆或 抛物面形状。8. 根据以上权利要求中任一项所述的微加热板装置，其中，所述膜片（12)具有等离激 元结构(24a、24b)的模式。9. 根据以上权利要求中任一项所述的微加热板装置，其中，所述至少一个反射体元件 (18)具有至少一个等离激元结构的模式。10. 根据以上权利要求中任一项所述的微加热板装置，其中，所述微加热板装置构造为 用于传感器的传感器构件，并且在所述膜片（12)上和/或中包括至少一种灵敏材料，所述至 少一种灵敏材料具有至少一个物理参量，所述至少一个物理参量取决于至少一种物质的物 质浓度。11. 一种传感器，其具有根据以上权利要求中任一项所述的微加热板装置。
【专利摘要】一种微加热板装置，其具有：膜片承载装置(10)；膜片(12)，所述膜片至少部分地跨越至少一个构造在所述膜片承载装置(10)中的空穴(14)；以及至少一个布置在所述膜片(12)上和/或中的加热管路(16)；其中，所述微加热板装置附加地包括至少一个反射体元件(18)，所述至少一个反射体元件如此布置在所述膜片(12)的朝向所述空穴(14)定向的内侧(12a)上，使得由所述至少一个加热管路(16)和/或所述膜片(12)发射的热辐射能够借助于所述至少一个反射体元件(18)至少部分地反射回到所述膜片(12)上和/或中。此外，公开了一种具有微加热板装置的传感器。
【IPC分类】G01N27/12
【公开号】CN105556296
【申请号】CN201480051704
【发明人】R·菲克斯, C·舍林
【申请人】罗伯特·博世有限公司
【公开日】2016年5月4日
【申请日】2014年7月21日
【公告号】DE102013218840A1, EP3047262A1, WO2015039786A1