气体泄漏检测装置的制造方法
【技术领域】
[0001 ]本发明涉及气体泄漏检测装置，更具体地，涉及一种在设置于半导体设备中的气箱的阀门处设置捕集部，分别检测从阀门泄漏的气体，从而找出破损的阀门的气体泄漏检测装置。
【背景技术】
[0002]—般，半导体制造设备在各种环境和工序下对晶片进行处理和加工，这些设备对晶片反复进行光刻、扩散、蚀刻、化学气相沉积、金属沉积等各种工序，从而制造成半导体芯片，而各个工序在各种有毒气体以及溶液下进行。
[0003]因此，制造半导体的各个设备暴露在各种恶劣的环境下，各种有毒气体引起设备腐蚀或者变形，从而缩短设备的寿命。由此缩短设备的替换周期，使得维护管理费用增加，而且还导致设备的工序中断因而拖延产品生产。
[0004]其中，阀门使用气压阀，气压阀有栗(Diaphragm VaI ve:隔膜阀)或者气动阀(Pneumatic Valve)等。
[0005]关于栗或者气动阀，气体流入管和气体排出管分别连接于两侧，其利用从空气供给部供给的高压空气的气压来控制从气体流入管流向气体排出管的气体的流动。
[0006]栗或者气动阀的结构为，随着向位于从气体流入管流入的气体的流入部的隔膜(diaphragm)施加气压或者基于气压的压力，由隔膜开闭流入部。
[0007]并且，注入到栗或者气动阀的高压空气被排出到外部。
[0008]此时，如果持续的阀门动作使隔膜因疲劳现象而破裂，则从气体流入管流入的有毒气体会通过破裂的隔膜从形成在阀门的阀帽螺母处的排出孔排出，从而泄漏到外部。
[0009]为了解决这种以往的缺点，通过气箱来对半导体制造设备内设置供给有毒气体的多个阀门的部分进行隔离，同时设置用于排出有可能从阀门泄漏的有毒气体的排气口。并且，在排气口处设置用于检测有毒气体的有毒气体检测器。
[0010]然而，因排气口的负压而使大量的外部空气流入气箱的内部，因此当有毒气体从阀门泄漏时会与流入气箱内部的外部空气混合，从而降低所泄漏的有毒气体的浓度，导致有毒气体检测器不工作。即，即便在排气口处设置有毒气体检测器，也因随着流入外部空气而降低了有毒气体浓度，从而不容易检测出有毒气体的泄漏，因此难以在早期发现有毒气体的泄漏，对半导体工序造成异常。
[0011]此外，即便有毒气体检测器检测到有毒气体而通知使用者有毒气体泄漏，也需要对一个半导体设备上的多个阀门一一进行分解，以确认阀门的隔膜有无受损。因此，找出受损阀门的耗时长，而且还中断操作因而减少产量。
[0012]与此同时，现有的气箱内除了有毒气体之外还设置有控制氧气、氮气、氩气等的流动的多个阀门，而设置于气箱排气口处的有毒气体检测器只能检测特定的有毒气体，因此难以同时检测诸如氧气、氮气、氩气等气体的泄漏和有毒气体的泄漏，未检测到的有毒气体或者其它气体会对半导体工序造成异常。
[0013]此外，在半导体生产线上，栗或者气动阀虽然也会隔着规定间隔设置，然而在特定区域紧密地排列。
[0014]此时，对于紧密排列的气动阀来说，当持续的阀门动作使隔膜因疲劳现象而破裂时，如果用于向外部泄漏气体的排出孔面向相邻的气动阀，则难以设置用于捕集气体的结构。因此，需要开发这种气动阀以及排出孔的位置不一定的气动阀上都能够适用的气体捕集结构。
[0015]在先技术文献
[0016](专利文献I)日本公开专利公报特开2011-107034号
[0017](专利文献2)韩国实用新型公开公报第2008-0004184号
[0018](专利文献3)韩国授权专利公报第1326766号
[0019](专利文献4)韩国授权专利公报第0857235号
【发明内容】
[0020]所要解决的技术问题
[0021]为了解决如上所述的问题，本发明的目的在于提供一种气体泄漏检测装置，通过在排气管路连接捕集部和能够检测气体的检测部，所述捕集部中收容有控制气体流动的各个气压阀并捕集从气压阀泄漏的气体，由此防止从各个气压阀泄漏的气体与从其它气压阀泄漏的气体混合，从而能够提高稳定性并且预防设备的损伤，同时通过检测部实时检测气体泄漏，因此能够实现实时监测。
[0022]此外，本发明的目的在于提供一种气体泄漏检测装置，在设置于半导体生产线上的气压阀上设置捕集部时，利用翼形部嵌合于气压阀的上侧乃至侧面并将捕集部的捕集口和气压阀的排出孔相互对齐，或者将与吐出口连通并向另一侧延伸的延伸部的末端插入结合于因气压阀破损而泄漏气体的排出孔中，从而无需停止半导体生产线，不影响半导体生产线的工作，而且能够避免停止半导体生产线引起的产量减少以及由此造成的费用损失等。
[0023]此外，本发明的目的在于提供一种气体泄漏检测装置，当气压阀紧密排列时，与气压阀上泄漏空气或气体的排出孔的位置无关，能够容易地将形成在捕集部和翼形部上的捕集口的位置移动到排出孔处，或者将软质的捕集部拉伸或弯曲，从而能够容易地将捕集口的位置移动到排出孔处，并且能够通过固定构件的每个线圈的撑开的缝隙容易地嵌入捕集部并将其紧密固定在气压阀的外周面。
[0024]此外，本发明的目的在于提供一种气体泄漏检测装置，因翼形件具有弹性力，不需要将捕集部紧密固定于气压阀上的额外结构，仅通过单纯的结合即可相向地设置捕集部和泄漏孔，从而能够容易地捕集从气压阀泄漏的空气或者气体，同时捕集口通过弹性力紧密结合于气压阀上，只捕集从气压阀泄漏的空气或者气体，从而能够提高可靠性。
[0025]此外，本发明的目的在于提供一种气体泄漏检测装置，通过端口电磁阀控制连接于端口电磁阀的多个排气管路的排出与否，以便通过连接管路只将从连接于端口电磁阀的多个排气管路中的某一个排气管路排出的气体排出到检测部，从而防止从各个气压阀泄漏的气体与从其它气压阀泄漏的气体混合，由此提高稳定性并且预防设备的损伤，同时当检测部检测到气体时控制端口电磁阀，从而迅速地自动找出检测出气体泄漏的气压阀，因此能够进行实时的监测并且使设备迅速进行工作。
[0026]此外，本发明的目的在于提供一种气体泄漏检测装置，当检测部检测到气体时，控制器控制端口电磁阀以确定破损的气压阀，并将所确定的气压阀的固有信息显示在显示部上，从而使管理者容易地确定破损的气压阀，并且迅速地对所确定的气压阀进行管理，因此能够提高设备的工作效率。
[0027]解决技术问题的方案
[0028]为了达成如上所述的目的，本发明涉及的气体泄漏检测装置，包括:捕集部，在下端形成有开口部以便插入气压阀，在其一侧形成有插入孔以及贯通孔，所述插入孔中贯穿有与气压阀结合的供气管路，所述贯通孔用于向外部排出所述气压阀破损时泄漏的气体；盖子部，与形成在所述捕集部下端的开口部结合，用于防止从所述气压阀泄漏的气体通过开口部排出；排气管路，其一端与所述捕集部的贯通孔连接，用于将从所述气压阀泄漏的气体排出到外部；以及检测部，连接于所述排气管路的另一端，用于检测通过所述排气管路排出的排气中所包含的气体，所述盖子部包括一对盖子构件，所述一对盖子构件上形成有槽，以包围所述气压阀的外周面。
[0029]本发明的另一实施例涉及的气体泄漏检测装置，包括:捕集部，上下贯通以便插入气压阀，在上下端形成有开口部以及向外部排出所述气压阀破损时泄漏的气体的贯通孔；盖子部，与形成在所述捕集部上下端的开口部结合，以防止从所述气压阀泄漏的气体通过开口部排出；排气管路，其一端与所述捕集部的贯通孔连接，以将从所述气压阀泄漏的气体排出到外部；以及检测部，连接于所述排气管路的另一端，用于检测通过所述排气管路排出的排气中所包含的气体，所述盖子部包括一对盖子构件，所述一对盖子构件上形成有槽，以包围所述气压阀的外周面。
[0030]本发明的另一实施例涉及的气体泄漏检测装置，包括:捕集部，用于捕集因气压阀破损而泄漏的气体;排气管路，其一端与所述捕集部的吐出口结合，用于将从所述捕集部的吐出口排出的排气排出到外部;检测部，结合于所述排气管路的另一端，用于检测通过所述排气管路排出的排气中所包含的气体，所述捕集部具有捕集口，所述捕集口紧密固定于所述气压阀破损时泄漏气体的排出孔处以捕集所述气体，所述捕集部还包括翼形部，所述翼形部由分别突出于两侧并包围所述气压阀外周面的一对翼形件构成，所述一对翼形件具有相向的弹性力。
[0031]此外，其特征在于，泄漏气体的排出孔形成在所述气压阀的上下，所述捕集部朝上部延伸形成，并且在上部还形成有用于捕集所述气压阀破损时泄漏的气体的捕集口。
[0032]此外，其特征在于，所述翼形件弯曲或者折弯形成，并且通过朝向所述气压阀的弹性力来弹性支撑所述气压阀的外周面，并将所述捕集口紧密结合于所述排出孔处。
[0033]此外，其特征在于，所述捕集口沿着所述翼形件的长度方向呈长孔状。
[0034]此外，其特征在于，在所述捕集口的外周面涂布可剥离性粘接剂，从而将所述捕集部可拆装地紧密固定于所述气压阀的外周面，以防止所述气体泄漏。
[0035]本发明的另一实施例涉及的气体泄漏检测装置，其特征在于，包括:捕集部，用于捕集因气压阀破损而泄漏的气体，在所述捕集部中的形成有吐出所捕集的气体的吐出口的一侧设置有套入孔;排气管路，其一端插入结合于所述套入孔中，以便将从所述捕集部的吐出口排出的排气排