六氟化硫气体纯度检测装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种在高压电气设备情况下使用的气体检测装置。更具体地说，本发明涉及一种用在高压电气设备情况下使用的六氟化硫气体纯度检测装置。
【背景技术】
[0002]六氟化硫气体由于具有良好的绝缘特性和灭弧特性，已在高压电气设备中的到广泛应用。
[0003]纯净的六氟化硫气体无色无味、不燃，在常温下化学性能非常稳定，但是，在断路器、开关等分断操作过程中，在电弧、电晕、电火花以及高温等因素下，六氟化硫气体会分解成其他气体从而使的六氟化硫的气体纯度发生变化；另外由于六氟化硫气体在制造环节、电气设备制造和安装过程、设备泄露、吸附剂等因素，导致水分掺入到六氟化硫气体中，从而使绝缘物内表面发生闪络故障几率增加;断路器由于受潮或产生凝露，使其绝缘性能下降，六氟化硫的气体纯度发生变化将严重影响高压电气设备的运行，导致设备运行效率降低甚至损坏昂贵的电气设备，因此，六氟化硫气体的纯度检测在高压电气设备中尤为重要。
【发明内容】
[0004]本发明的一个目的是解决至少上述问题和/或缺陷，并提供至少后面将说明的优点。
[0005]本发明还有一个目的是提供一种用在高压电气设备情况下使用的六氟化硫气体纯度检测装置，其能够准确全面排除干扰气体，检测精度高以及可实现在线监测的有益效果O
[0006]本发明还有一个目的是提供一种检测六氟化硫气体裂解形成二氧化硫的气敏传感器，提高了六氟化硫气体纯度的检测精度和检测速率，以便获得准确的气体纯度结果。
[0007]为了实现根据本发明的这些目的和其它优点，提供了一种六氟化硫气体纯度检测装置，包括:
[0008]第一气体检测装置，其沿气体流通方向设置有第一吸附柱，所述第一气体检测装置的进气口设置有第一气体流量计以检测进气总流量，所述进气口与所述第一吸附柱的进气的一端连接；
[0009]第二气体检测装置，其与所述第一气体检测装置连接，所述第二气体检测装置沿气体流通方向设置有第二吸附柱，所述第二吸附柱的进气的一端与所述第一吸附柱的出气的一端连接，所述第二吸附柱的出气的一端设置有第二气体流量计以检测经过所述第一吸附柱与第二吸附柱吸附后的气体流量；
[0010]高温裂解炉，其与所述第二气体检测装置连接，所述高温裂解炉沿气体进入方向设置有温度控制区与裂解发生区，其中，所述温度控制区控制进入所述高温裂解炉的气体逐渐升温以达到气体裂解温度后进入所述裂解发生区，达到裂解温度的气体在所述裂解发生区发生裂解反应；以及[0011 ]第三气体检测装置，其与所述高温裂解炉的出气口连接，所述第三气体检测装置包括依次连接的气敏传感器、电性质检测设备和数据处理设备，所述气敏传感器具有气敏层和非金属保护层，所述气敏层通过在基材上镀有T12-WO3复合氧化物薄膜形成，所述非金属材质保护层位于所述气敏层的上方，所述非金属保护层的面板上设置有阵列排列的多个气体通入孔，通过所述气体通入孔使得被检测气体进入所述气敏层；
[0012]其中，所述高温裂解炉裂解的六氟化硫气体产物二氧化硫通过所述第三气体检测装置的气敏传感器中的气敏层发生作用引起其电性质发生变化，所述电性质检测设备检测气敏传感器的电性质变化并将数据传输至所述数据处理设备，所述数据处理设备分析处理输出被检测气体二氧化硫的含量数据，通过所述第三气体检测装置检测计算出六氟化硫气体的含量，将六氟化硫的含量与所述第一气体流量计检测的进气总流量对应的总气体含量进行对比得出总气体中六氟化硫气体的纯度。
[0013]优选的是，其中，所述第一吸附柱为填充有碳酸钙颗粒吸附材料的吸附柱。
[0014]优选的是，其中，所述第二吸附柱为填充有氢氧化钠颗粒吸附材料的吸附柱。
[0015]优选的是，其中，所述高温裂解炉的出气口与所述第三气体检测装置之间设置有气体抽吸栗，所述气体抽吸栗的出口与多个气体通入孔对应设置，所述气体抽吸栗与微控制器连接以实现被检测气体的自控抽吸。
[0016]优选的是，其中，所述气敏层与所述非金属保护层为活动连接，以便于所述气敏层的更换。
[0017]优选的是，其中，所述电性质检测设备检测的所述气敏传感器的电性质变化为电阻变化。
[0018]优选的是，其中，所述气敏传感器中设置有用于固定所述气敏层的固定座，所述固定座与所述气敏层卡扣活动连接。
[0019]优选的是，其中，所述温度控制区控制进入所述高温裂解炉的气体逐渐升温以达到气体裂解温度的范围为3500?3600°C。
[0020]优选的是，其中，所述第一吸附柱与所述第一气体检测装置的内壁可拆卸连接，以便于所述第一吸附柱的更换。
[0021]优选的是，其中，所述第二吸附柱与所述第二气体检测装置的内壁可拆卸连接，以便于所述第一吸附柱的更换。
[0022]本发明至少包括以下有益效果:
[0023]1、由于设置有第一气体检测装置和第二气体检测装置，因此能够排除进入高温裂解炉的水蒸气以及酸性气体的干扰，全面排出杂质气体干扰，提高了检测精度；
[0024]2、通过在高温裂解炉中设置温度控制区，能够保证六氟化硫气体的加热温度的稳定性好，使六氟化硫的裂解速度较为稳定，进而使气敏传感器检测到较为稳定的信号，有助于提高整个系统的稳定性和可靠性；
[0025]3、通过高温裂解炉直接进行高温裂解，避免了采用其他方法带入其他气体杂质，影响检测精度和检测速度；
[0026]4、通过在基材上镀有T12-WO3复合氧化物薄膜形成气敏层与六氟化硫气体裂解形成的二氧化硫气体反应，通过电性质检测设备检测气敏传感器的变化，实现快速在线检测，检测灵敏度高；
[0027]5、通过在气敏层上设置非金属材质保护层对气敏层起到保护作用，避免其他气体对气敏层灵敏度的影响；
[0028]6、通过高温裂解炉的出气口与所述第三气体检测装置之间设置有气体抽吸栗，实现被检测气体的自控抽吸，提高了气体的检测速度；
[0029]7、通过气敏层和非金属保护层活动连接，以及气敏层在气敏传感器中可拆卸连接，便于气敏层更换，使用方便。
[0030]本发明的其它优点、目标和特征将部分通过下面的说明体现，部分还将通过对本发明的研究和实践而为本领域的技术人员所理解。
【附图说明】
[0031]图1为本发明的一个实施例中六氟化硫气体纯度检测装置的结构示意图；
[0032]图2为本发明中第一气体检测装置的结构示意图；
[0033]图3为本发明中第二气体检测装置的结构示意图。
【具体实施方式】
[0034]下面结合附图对本发明做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。
[0035]应当理解，本文所使用的诸如“具有”、“包含”以及“包括”术语并不配出一个或多个其它元件或其组合的存在或添加。
[0036]图1示出了根据本发明的一种实现形式，其中包括:第一气体检测装置，其沿气体流通方向设置有第一吸附柱，所述第一气体检测装置的进气口设置有第一气体流量计以检测进气总流量，所述进气口与所述第一吸附柱的进气的一端连接；
[0037]第二气体检测装置，其与所述第一气体检测装置连接，所述第二气体检测装置沿气体流通方向设置有第二吸附柱，所述第二吸附柱的进气的一端与所述第一吸附柱的出气的一端连接，所述第二吸附柱的出气的一端设置有第二气体流量计以检测经过所述第一吸附柱与第二吸附柱吸附后的气体流量；
[0038]高温裂解炉，其与所述第二气体检测装置连接，所述高温裂解炉沿气体进入方向设置有温度控制区与裂解发生区，其中，所述温度控制区控制进入所述高温裂解炉的气体逐渐升温以达到气体裂解温度后进入所述裂解发生区，达到裂解温度的气体在所述裂解发生区发生裂解反应；以及
[0039]第三气体检测装置，其与所述高温裂解炉的出气口连接，所述第三气体检测装置包括依次连接的气敏传感器、电性质检测设备和数据处理设备，所述气敏传感器具有气敏层和非金属保护层，所述气敏层通过在基材上镀有T12-WO3复合氧化物薄膜形成，所述非金属材质保护层位于所述气敏层的上方，所述非金属保护层的面板上设置有阵列排列的多个气体通入孔，通过所述气体通入孔使得被检测气体进入所述气敏层；
[0040]其中，所述高温裂解炉裂解的六氟化硫气体产物二氧化硫通过所述第三气体检测装置的气敏传感器中的气敏层发生作用引起其电性质发生变化，所述电性质检测设备检测气敏传感器的电性质变化并将数据传输至所述数据处理设备，所述数据处理设备分析处理输出被检测气体二氧化硫的含量数据，通过所述第三气体检测装置检测计算出六氟化硫气体的含量，将六氟化硫的含量与所述第一气体流量计检测的进气总流量对应的总气体含量进行对比得出总气体中六氟化硫气体的纯度。
[0041]其中，所述第一吸附柱为填充有碳酸钙颗粒吸附材料的吸附柱，通过所述第一