惯性传感器的制造方法以及惯性传感器的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种惯性传感器的制造方法以及惯性传感器。
【背景技术】
[0002]近年来，开发了一种使用娃MEMS(Micro Electro Mechanical System:微机电系统)技术而对物理量进行检测的惯性传感器。尤其是对加速度进行检测的加速度传感器或对角速度进行检测的陀螺仪传感器的例如数码照相机(DSC)的手抖补正功能、车辆的导航系统、游戏机的运动传感检测功能等的用途正在急速扩张。
[0003]例如，在专利文献1、2中记载有如下内容，S卩，在由基体与盖体形成的空腔内配置有可动体，在基体上形成有与可动体电连接的配线的配线槽，在盖体上形成有与空腔连通的贯穿孔，配线槽以及贯穿孔通过密封材料而被密封。
[0004]但是，在专利文献1、2所记载的技术中，在盖体上形成贯穿孔之后使基体与盖体接合，并在此后通过密封材料而对配线槽进行密封。因此，会有用于对配线槽进行密封的密封材料从被形成于盖体上的贯穿孔侵入空腔，并附着在可动体上的情况。其结果为，附着在可动体上的密封材料会对惯性传感器的特性产生不良影响(可动体的粘连或静电电容的增大等)。
[0005]专利文献1:日本特开2013-164285号公报
[0006]专利文献2:日本特开2013-164301号公报
【发明内容】
[0007]本发明的若干方式所涉及的目的之一在于，提供一种能够抑制密封材料附着在可动体上的情况的惯性传感器的制造方法。此外，本发明的若干方式所涉及的目的之一在于，提供一种能够抑制密封材料附着在可动体上的情况的惯性传感器。
[0008]本发明为用于解决前述问题中的至少一部分而完成的发明，并能够作为以下的方式或应用例而实现。
[0009]应用例I
[0010]在本应用例所涉及的惯性传感器的制造方法中，所述惯性传感器包括被配置在由基体与盖体形成的空腔内的可动体，在所述基体上形成有配线的配线槽，该配线槽与所述空腔连通，该配线与所述可动体电连接，所述惯性传感器的制造方法包括:通过湿蚀刻而在所述盖体上形成未贯穿的第一开口部的工序；对所述基体与所述盖体进行接合，从而将所述可动体收纳在所述空腔中的工序；在对所述可动体进行收纳的工序之后，形成对所述配线槽进行密封的第一密封材料的工序；在形成所述第一密封材料的工序之后，通过干蚀刻而使所述第一开口部贯穿，从而形成与所述空腔连通的贯穿孔的工序；形成对所述贯穿孔进行密封的第二密封材料的工序。
[0011]在这种惯性传感器的制造方法中，在形成第一密封材料的工序中，由于第一开口部为未贯穿，因此能够抑制第一密封材料侵入空腔并附着在可动体上的情况。
[0012]另外，在本发明所涉及的记载中，将“电连接”这一用语用于，例如与“特定的部件”(以下称为“A部件”)“电连接”的其他的特定部件(以下称为“B部件”)等。在本发明所涉及的记载中，在该示例的情况下，将“电连接”这一用语用作如下含义，即，包括A部件与B部件以直接连接的方式被电连接的情况，和A部件与B部件经由其他的部件而被电连接的情况。
[0013]应用例2
[0014]在本应用例所涉及的惯性传感器的制造方法中，可以采用如下方式，S卩，形成所述第一密封材料的工序以通过气相生长法而形成薄膜的方式被实施。
[0015]在这种惯性传感器的制造方法中，能够通过薄膜而对配线槽进行密封。
[0016]应用例3
[0017]在本应用例所涉及的惯性传感器的制造方法中，可以采用如下方式，S卩，形成所述第二密封材料的工序以对焊锡球进行加热熔融的方式而被实施。
[0018]在这种惯性传感器的制造方法中，能够通过焊锡而对贯穿孔进行密封。
[0019]应用例4
[0020]在本应用例所涉及的惯性传感器的制造方法中，可以采用如下方式，S卩，包括在所述盖体上形成与所述空腔连通的未贯穿的第二开口部的工序，所述第二开口部的开口面积与所述第一开口部的最小开口面积相比较小，在形成所述贯穿孔的工序中，使所述第一开口部与所述第二开口部连通从而形成所述贯穿孔。
[0021]在这种惯性传感器的制造方法中，能够抑制在对焊锡球进行加热熔融时，焊锡球的一部分侵入空腔并附着在可动体上的情况。
[0022]应用例5
[0023]本应用例所涉及的惯性传感器包括:基体；盖体；可动体，其被配置在由所述基体与所述盖体形成的空腔内；第一密封材料，其对被设置在所述基体上并与所述空腔连通的配线槽进行密封；配线，其被设置在所述配线槽内，并与所述可动体电连接；第二密封材料，其对被设置在所述盖体上并与所述空腔连通的贯穿孔进行密封，所述贯穿孔具有:第一部分，其开口面积从所述空腔侧趋向于所述空腔的相反侧而渐增；第二部分，其位于与所述第一部分相比靠所述空腔的相反侧的位置处，并与所述第一部分连通，且具有与所述第一部分的最大开口面积相比较大的面积，在所述第一部分与所述第二部分的边界处，于所述贯穿孔的内表面上设置有高低差。
[0024]在这种惯性传感器中，能够抑制密封材料附着在可动体上的情况。
[0025]应用例6
[0026]在本应用例所涉及的惯性传感器中，可以采用如下方式，S卩，所述贯穿孔具有第三部分，所述第三部分位于与所述第一部分相比靠所述空腔侧的位置处，并与所述第一部分以及所述空腔连通，且具有与所述第一部分的最小开口面积相比较小的面积，在所述第一部分与所述第三部分的边界处，于所述贯穿孔的内表面上设置有高低差。
[0027]在这种惯性传感器中，能够抑制焊锡球的一部分侵入空腔并附着在可动体上的情况。
【附图说明】
[0028]图1为示意性地表示第一实施方式所涉及的惯性传感器的剖视图。
[0029]图2为示意性地表示第一实施方式所涉及的惯性传感器的俯视图。
[0030]图3为示意性地表示第一实施方式所涉及的惯性传感器的剖视图。
[0031]图4为示意性地表示第一实施方式所涉及的惯性传感器的俯视图。
[0032]图5为用于对第一实施方式所涉及的惯性传感器的制造方法进行说明的流程图。
[0033]图6为示意性地表示第一本实施方式所涉及的惯性传感器的制造工序的剖视图。
[0034]图7为示意性地表示第一本实施方式所涉及的惯性传感器的制造工序的剖视图。
[0035]图8为示意性地表示第一本实施方式所涉及的惯性传感器的制造工序的剖视图。
[0036]图9为示意性地表示第一本实施方式所涉及的惯性传感器的制造工序的剖视图。
[0037]图10为示意性地表示第一本实施方式所涉及的惯性传感器的制造工序的剖视图。
[0038]图11为示意性地表示第一本实施方式所涉及的惯性传感器的制造工序的剖视图。
[0039]图12为示意性地表示第一本实施方式所涉及的惯性传感器的制造工序的剖视图。
[0040]图13为示意性地表示第一本实施方式所涉及的惯性传感器的制造工序的剖视图。
[0041]图14为示意性地表示第一本实施方式所涉及的惯性传感器的制造工序的剖视图。
[0042]图15为示意性地表示第一实施方式的第一改变例所涉及的惯性传感器的剖视图。
[0043]图16为示意性地表示第一实施方式的第一改变例所涉及的惯性传感器的俯视图。
[0044]图17为用于对第一实施方式的第一改变例所涉及的惯性传感器的制造方法进行说明的流程图。
[0045]图18为示意性地表示第一本实施方式的第一改变例所涉及的惯性传感器的制造工序的剖视图。
[0046]图19为示意性地表示第一实施方式的第二改变例所涉及的惯性传感器的剖视图。
[0047]图20为示意性地表示第一实施方式的第二改变例所涉及的惯性传感器的制造工序的剖视图。
[0048]图21为示意性地表示第二实施方式所涉及的惯性传感器的俯视图。
【具体实施方式】
[0049]以下，使用附图对本发明的优选的实施方式进行详细说明。另外，以下说明的实施方式并非对权利要求书所记载的本发明的内容进行不当限定的方式。此外，在下文中所说明的全部结构并非均为本发明的必要结构要件。
[0050]1.第一实施方式
[0051]1.1.惯性传感器
[0052]首先，参照附图，对第一实施方式所涉及的惯性传感器进行说明。图1为示意性地表示第一实施方式所涉及的惯性传感器100的剖视图。图2为示意性地表示第一实施方式所涉及的惯性传感器100的俯视图。图3为示意性地表示第一实施方式所涉及的惯性传感器100的剖视图，且为贯穿孔22附近的放大图。图4为示意性地表示第一实施方式所涉及的惯性传感器100的俯视图，且为贯穿孔22附近的放大图。另外，图1为图2的I1-1I线剖视图。此外，图1至图4中，作为相互正交的三个轴而图示了 X轴、Y轴以及Z轴。
[0053]惯性传感器100例如为加速度传感器或陀螺仪传感器。在下文中，对惯性传感器100为对检测X轴方向上的加速度进行检测的加速度传感器的情况进行说明。
[0054]如图1至图4所示，惯性传感器100包括:基体10 ;盖体20 ;第一密封材料30 ;第二密封材料32 ;配线40、42、44 ;衬垫50、52、54 ;功能元件102。另外，为了便于说明，在图2中，以省略盖体20以及密封材料30、32的方式而进行图示。此外，在图4中，以省略第二密封材料32的方式而进行图示。
[0055]基体10的材质例如为玻璃。具体而言，基体10的材质为向硅砂中加入了碳酸钠等的钠玻璃或向硅砂中加入了硼砂、氧化铝等的耐热玻璃。或者水晶、石英玻璃等，只要为透过激光的材料，则可以