粒子检测装置的制造方法

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粒子检测装置的制造方法
【专利摘要】本发明提供一种可抑制杂散光的影响的粒子检测装置。该粒子检测装置包括:检查光源(30),其发出检查光;透明的流通池(4),其供包含粒子的流体流动,设置有剖面形状为圆的贯通孔(14),并且以垂直于贯通孔(14)的延伸方向的方式被照射检查光;以及光检测器(60),其对在流通池(4)内被照射到检查光的粒子所产生的反应光进行检测,并且是对相对于扇形面(200)成角度θ地出射自流通池(4)的反应光进行检测,所述扇形面(200)以检查光与流通池(4)的贯通孔(14)的交点为顶点,平行于检查光的光路,且垂直于流通池(4)的贯通孔(14)的延伸方向。
【专利说明】
粒子检测装置
技术领域
[0001]本发明涉及一种检测技术,并且涉及一种粒子检测装置。
【背景技术】
[0002]在包括流式细胞仪及微生物检测装置等在内的粒子检测装置中,用于流动作为样品的流体的流通池被使用。流通池是透明的,当对在流通池内部流动的流体照射光时,流体中所含的粒子会发出荧光,或者产生散射光。荧光或散射光被配置在流通池旁边的透镜会聚而加以检测(例如,参考专利文献I至6)。根据荧光或散射光的检测次数、检测强度及检测波长等,可确定流体中所含的粒子的数量或种类。例如,可判别粒子是否为生物粒子、粒子是否为树脂、或者粒子是否为气泡等。另外,也存在不使用流通池而对气流照射光来检测气流中所含的粒子的情况(例如,参考专利文献7)。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献I日本专利第4540509号公报
[0006]专利文献2美国专利申请公开第2012/0140221号说明书
[0007]专利文献3美国专利第7355706号说明书
[0008]专利文献4国际公开第2010/080642号
[0009]专利文献5美国专利第8189187号说明书
[0010]专利文献6日本特开2013-122397号公报
[0011]专利文献7美国专利申请公开第2013/0077087号说明书

【发明内容】

[0012]发明要解决的问题
[0013]当对流通池照射光时,存在光被流通池反射及折射而产生杂散光的情况。杂散光有时会妨碍粒子所产生的荧光或散射光的检测。因此,本发明的目的之一在于,提供一种可抑制杂散光的影响的粒子检测装置。
[0014]用于解决问题的手段
[0015]本发明的形态为一种粒子检测装置,其包括:(a)检查光源,其发出检查光;(b)透明的流通池,其供包含粒子的流体流动,设置有剖面形状为圆的贯通孔,并且以垂直于贯通孔的延伸方向的方式被照射检查光;以及(C)光检测器,其对在流通池内被照射到检查光的粒子所产生的反应光进行检测,并且是对相对于扇形面成角度的地出射自流通池的反应光进行检测,所述扇形面以检查光与流通池的贯通孔的交点为顶点,平行于检查光的光路,且垂直于流通池的贯通孔的延伸方向。
[0016]在上述粒子检测装置中,光检测器可以以相对于扇形面设置一角度的方式配置,所述扇形面以检查光与流通池的贯通孔的交点为顶点,平行于检查光的光路,且垂直于流通池的贯通孔的延伸方向。上述粒子检测装置可还包括聚光光学系统,所述聚光光学系统会聚相对于扇形面成角度地出射自流通池的反应光,所述扇形面以检查光与流通池的贯通孔的交点为顶点,平行于检查光的光路,且垂直于流通池的贯通孔的延伸方向。聚光光学系统可包括透镜,所述透镜以相对于扇形面设置一角度的方式配置,所述扇形面以检查光与流通池的贯通孔的交点为顶点,平行于检查光的光路,且垂直于流通池的贯通孔的延伸方向。
[0017]在上述粒子检测装置中,流通池可包括由反应光透过的半球面透镜部。流通池可包括半球面反射膜,所述半球面反射膜对被照射到检查光的粒子所产生的反应光进行反射。在半球面反射膜的与扇形面交叉的部分上可设置有缺口,所述扇形面以检查光与流通池的贯通孔的交点为顶点,平行于检查光的光路,且垂直于流通池的贯通孔的延伸方向。或者,半球面反射膜也可与扇形面不交叉,所述扇形面以检查光与流通池的贯通孔的交点为顶点,平行于检查光的光路,且垂直于流通池的贯通孔的延伸方向。
[0018]在上述粒子检测装置中,流通池可包括透明的板状构件,所述透明的板状构件垂直于该流通池的贯通孔,以包括包含检查光的光路的平面的一部分的方式配置,且设置有贯通孔。流通池的板状构件可具有第I主面以及与第I主面相对的第2主面,贯通孔从第I主面贯通至第2主面,流通池可还包括:透明的第I半球构件,其设置有贯通孔,并且以板状构件的贯通孔与该第I半球构件的贯通孔连通的方式配置在板状构件的第I主面上;以及透明的第2半球构件,其设置有贯通孔,并且以板状构件的贯通孔与该第2半球构件的贯通孔连通的方式配置在板状构件的第2主面上。板状构件的第I及第2主面的宽度可宽于第I及第2半球构件的底面的宽度。流通池可还包括半球面反射膜,所述半球面反射膜覆盖第I半球构件。
[0019]上述粒子检测装置可害包括椭圆镜,所述椭圆镜对出射自流通池的反应光进行反射。在椭圆镜的与扇形面交叉的部分上可设置有缺口,所述扇形面以检查光与流通池的贯通孔的交点为顶点,平行于检查光的光路,且垂直于流通池的贯通孔的延伸方向。或者,椭圆镜也可与扇形面不交叉,所述扇形面以检查光与流通池的贯通孔的交点为顶点,平行于检查光的光路,且垂直于流通池的贯通孔的延伸方向。
[0020]此外,本发明的形态为一种粒子检测装置,其包括:(a)检查光源,其发出检查光;(b)透明的流通池,其供包含粒子的流体流动,设置有剖面形状为圆的贯通孔,并且以垂直于贯通孔的延伸方向的方式被照射检查光,且设置有包含检查光的光路的突出部;以及(C)光检测器,其对在流通池内被照射到检查光的粒子所产生的反应光进行检测。
[0021]在上述粒子检测装置中,光检测器可以以相对于流通池的突出部设置一角度的方式配置。上述粒子检测装置可还包括聚光光学系统,所述聚光光学系统会聚相对于流通池的突出部成角度地出射自流通池的反应光。聚光光学系统可包括透镜,所述透镜以相对于流通池的突出部设置一角度的方式配置。
[0022]在上述粒子检测装置中,流通池可包括透明的板状构件,所述透明的板状构件垂直于该流通池的贯通孔,以包括包含检查光的光路的平面的一部分的方式配置,且设置有贯通孔。流通池的板状构件可具有第I主面以及与第I主面相对的第2主面,贯通孔从第I主面贯通至第2主面,流通池可还包括:透明的第I半球构件,其设置有贯通孔,并且以板状构件的贯通孔与该第I半球构件的贯通孔连通的方式配置在板状构件的第I主面上;以及透明的第2半球构件,其设置有贯通孔,并且以板状构件的贯通孔与该第2半球构件的贯通孔连通的方式配置在板状构件的第2主面上。板状构件的第I及第2主面的宽度可宽于第I及第2半球构件的底面的宽度,板状构件的宽度宽于第I及第2半球构件的部分构成流通池的突出部。流通池可还包括半球面反射膜,所述半球面反射膜覆盖第I半球构件。
[0023]上述粒子检测装置可还包括椭圆镜,所述椭圆镜对出射自流通池的反应光进行反射。椭圆镜也可与流通池的突出部不交叉。
[0024]进而,本发明的形态为一种粒子检测装置,其包括:(a)检查光源,其发出检查光;(b)透明的流通池,其供包含粒子的流体流动,设置有剖面形状为圆的贯通孔,并且以垂直于贯通孔的延伸方向的方式被照射检查光;(C)杂散光衰减构件,其以包含扇形面的方式配置,所述扇形面以检查光与流通池的贯通孔的交点为顶点,平行于检查光的光路,且垂直于流通池的贯通孔的延伸方向;以及(d)光检测器,其相对于流通池而配置在杂散光衰减构件的后方,对在流通池内被照射到检查光的粒子所产生的反应光进行检测。
[0025]在上述粒子检测装置中,在与流通池的贯通孔的延伸方向平行的方向上,杂散光衰减构件的宽度可小于光检测器的受光面的宽度。
[0026]发明的效果
[0027]根据本发明,可提供一种能抑制杂散光的影响的粒子检测装置。
【附图说明】
[0028]图1为本发明的第I实施方式的粒子检测装置的示意图。
[0029]图2为本发明的第I实施方式的粒子检测装置的示意图。
[0030]图3为本发明的第I实施方式的粒子检测装置的示意图。
[0031 ]图4为本发明的第2实施方式的粒子检测装置的示意图。
[0032]图5为本发明的第3实施方式的粒子检测装置的示意图。
[0033]图6为本发明的第3实施方式的粒子检测装置的示意图。
[0034]图7为本发明的第3实施方式的粒子检测装置的示意图。
[0035]图8为本发明的第4实施方式的粒子检测装置的示意图。
[0036]图9为本发明的第4实施方式的流通池的示意性侧视图。
[0037]图10为本发明的第4实施方式的流通池的示意性剖视图。
[0038]图11为本发明的第5实施方式的粒子检测装置的示意图。
[0039]图12为本发明的第5实施方式的流通池的示意性侧视图。
[0040]图13为本发明的第5实施方式的流通池的示意性剖视图。
[0041]图14为本发明的第6实施方式的粒子检测装置的示意图。
[0042]图15为构成本发明的第6实施方式的流通池的板状构件以及第I及第2半球构件的示意性侧视图。
[0043]图16为本发明的第6实施方式的流通池的示意性侧视图。
[0044]图17为本发明的第6实施方式的流通池的示意性剖视图。
[0045]图18为本发明的第7实施方式的粒子检测装置的示意图。
[0046]图19为构成本发明的第7实施方式的流通池的板状构件以及第I及第2半球构件的示意性侧视图。
[0047]图20为本发明的第7实施方式的流通池的示意性侧视图。
[0048]图21为本发明的第7实施方式的流通池的示意性剖视图。
[0049]图22为本发明的第7实施方式的流通池的示意性立体图。
[0050]图23为本发明的第7实施方式的流通池的分解图。
[0051]图24为从图22中的XXV1-XXVI方向观察到的本发明的第7实施方式的流通池的示意性剖视图。
[0052]图25为用于说明本发明的第7实施方式的流通池的制造方法的工序图。
[0053]图26为用于说明本发明的第7实施方式的流通池的制造方法的工序图。
[0054]图27为用于说明本发明的第7实施方式的流通池的制造方法的工序图。
[0055]图28为用于说明本发明的第7实施方式的流通池的制造方法的工序图。
[0056]图29为用于说明本发明的第7实施方式的流通池的制造方法的工序图。
[0057]图30为用于说明本发明的第7实施方式的流通池的制造方法的工序图。
[0058]图31为用于说明本发明的第7实施方式的流通池的制造方法的工序图。
[0059]图32为用于说明本发明的第7实施方式的流通池的制造方法的工序图。
[0060]图33为本发明的第8实施方式的粒子检测装置的示意图。
[0061]图34为本发明的第8实施方式的流通池的示意性俯视图。
[0062]图35为本发明的第9实施方式的粒子检测装置的示意图。
【具体实施方式】
[0063]下面,对本发明的实施方式进行说明。在以下的附图的记载中,以同一或类似符号表示同一或类似部分。但附图为示意性的图。因而,具体的尺寸等应对照以下的说明来判断。此外,当然也包含在附图之间相互的尺寸关系或比率不同的部分。
[0064](第丨实施方式)
[0065]如图1所示,本发明的第I实施方式的粒子检测装置包括:检查光源30,其发出检查光;透明的流通池4,包含粒子的流体在该流通池4中流动,该流通池4上设置有剖面形状为圆的贯通孔14,该流通池4以垂直于贯通孔14的延伸方向的方式被照射检查光;以及光检测器60,其对在流通池4内被照射到检查光的粒子所产生的反应光进行检测,并且对以与扇形面200成角度Θ的方式出射自流通池4的反应光进行检测,所述扇形面200以检查光与流通池4的贯通孔14的交点为顶点,平行于检查光的光路,且垂直于流通池4的贯通孔14的延伸方向。
[0066]流通池4例如为长方体。贯通孔14垂直地贯通于流通池4的相对的面之间。流通池4的表面以及贯通孔14的内壁例如经过研磨。贯通孔14例如穿过流通池4的中心。若将贯通孔14的剖面形状设为圆而使得内壁没有角,则可抑制气泡滞留或者污物附着在贯通孔14的内部。贯通孔14的延伸方向垂直于检查光的行进方向。贯通孔14的直径例如不足1mm,但并不限定于此。流通池4例如由石英玻璃构成。
[0067]在流通池4中流动的流体中所含的粒子包括如下物质:包括微生物等在内的生物体物质、细胞、化学物质、垃圾、尘土、以及尘埃等灰尘等。作为微生物的例子,包括细菌及真菌。作为细菌的例子,可列举革兰氏阴性菌及革兰氏阳性菌。作为革兰氏阴性菌的例子,可列举大肠杆菌。作为革兰氏阳性菌的例子,可列举表皮葡萄球菌、枯草杆菌、微球菌及棒状杆菌。作为真菌的例子,可列举黑霉菌等曲霉。但微生物并不限定于此。
[0068]若流体中含有微生物等荧光性粒子,则粒子被照射激发光时会发出荧光。例如,微生物中所含的核黄素(riboflavin)、黄素单核苷酸(FMN)、黄素腺嘌呤二核苷酸(FAD)、烟酰胺腺嘌呤二核苷酸磷酸(嫩0(?)!1)、卩比卩多胺(。71^(1(?3111;[116)、磷酸卩比卩多醛(。71^(1(?31-5’-phosphate)、卩比卩多醇(pyridoxine)、色氨酸(tryptophan)、酪氨酸(tyrosine)及苯基丙胺酸(phenylalanine)等会发出焚光。
[0069]作为用于检测在流通池4内部流动的荧光性粒子的检查光的激发光例如以聚焦于流通池4的中心的方式照射自检查光源30。检查光可为平行光。作为检查光源30,可使用发光二极管(LED)及激光。检查光的波长例如为250至550nm。检查光可为可见光,也可为紫外光。在检查光为可见光的情况下,检查光的波长例如在400至550nm的范围内,例如为405nm。在检查光为紫外光的情况下,检查光的波长例如在300至380nm的范围内,例如为340nm。但检查光的波长并不限定于此。
[0070]在作为检测区域的贯通孔14内部被照射到检查光的荧光性粒子发出荧光。此外,在被照射到检查光的荧光性粒子及非荧光性粒子中,例如产生因米氏散射所引起的散射光。作为被照射到光的粒子中所产生的反应光的荧光及散射光从粒子全方位地发出。
[0071]光检测器60接收并检测流通池4中所产生的反应光。光检测器60例如以相对于扇形面200设置角度Θ的方式配置,所述扇形面200以检查光与流通池4的贯通孔14的交点为顶点,平行于检查光的光路,且垂直于流通池4的贯通孔14的延伸方向。作为光检测器60,例如可使用光电二极管及光电倍增管等,当接收到光时,将光能转换为电能。
[0072]在流通池4被检查光照射时,存在检查光在剖面形状为圆的贯通孔14的内壁与贯通孔14内的流体的曲面界面发生反射及折射而变为杂散光的情况。杂散光存在如下倾向:在垂直于流通池4的贯通孔14的延伸方向的平面内,以检查光与流通池4的贯通孔14的交点为顶点而呈扇形扩散,所述扇形的顶角约为30度至60度。杂散光扩散的角度存在如下倾向:贯通孔14的直径越小,杂散光扩散的角度就越大,此外,检查光的宽度越大,杂散光扩散的角度就越大。
[0073]不同于在流通池4的贯通孔14内部流动的粒子所产生的米氏散射,杂散光是粒子的检测不需要的。因此,若杂散光到达至光检测器60,则可能引起噪声。相对于此,在第I实施方式的粒子检测装置中,光检测器60以对相对于扇形面200成角度Θ地出射自流通池4的反应光进行检测的方式配置,所述扇形面200以检查光与流通池4的贯通孔14的交点为顶点,平行于检查光的光路,且垂直于流通池4的贯通孔14的延伸方向。因此,杂散光不会到达至光检测器60。因此,即便产生杂散光,也可抑制因杂散光而产生噪声。
[0074]另外,如图2所示,光检测器60相对于扇形面200所成的角度Θ可为直角。
[0075]此外,第I实施方式的粒子检测装置可进而包括聚光光学系统,所述聚光光学系统会聚相对于扇形面200成角度Θ地出射自流通池4的反应光,所述扇形面200以检查光与流通池4的贯通孔14的交点为顶点,平行于检查光的光路,且垂直于流通池4的贯通孔14的延伸方向。聚光光学系统可像图3所示那样包括透镜90,所述透镜90以相对于扇形面200设置角度Θ的方式配置,所述扇形面200以检查光与流通池4的贯通孔14的交点为顶点,平行于检查光的光路,且垂直于流通池4的贯通孔14的延伸方向。
[0076](第2实施方式)
[0077]如图4所示,第2实施方式的粒子检测装置包括球形的流通池41。流通池41以垂直于贯通孔44的延伸方向的方式被照射检查光。光检测器60对反应光进行检测,所述反应光是在流通池41内被照射到检查光的粒子所产生,并且与扇形面200成角度Θ地从流通池41中出射,所述扇形面200以检查光与流通池41的贯通孔44的交点为顶点,平行于检查光的光路,且垂直于流通池41的贯通孔44的延伸方向。
[0078]球形的流通池41的表面以及贯通孔44的内壁例如经过研磨。贯通孔44例如穿过流通池41的中心。贯通孔44相对于其延伸方向的剖面形状为圆。
[0079]在流通池41的贯通孔44内被照射到检查光的粒子中所产生的荧光及散射光从粒子全方位地发出。在流通池41内部行进的荧光及散射光从流通池41的表面出射。此处,流通池41为大致球形,在检查光的焦点与流通池41的中心大致一致的情况下,检查光的焦点处所产生的荧光及散射光从流通池41的表面大致垂直地出射。因此,通过将流通池41设为球形,可抑制因流通池41与外部的空气的界面上的反射及折射所导致的荧光及散射光的损失。
[0080]第2实施方式的粒子检测装置的其他构成要素与第I实施方式相同。
[0081 ](第3实施方式)
[0082]如图5所示,在第3实施方式的粒子检测装置中,以覆盖球形流通池41的一部分的方式设置有半球面反射膜42。检查光从图5中的垂直方向近前自检查光源发出,照射至流通池41。检查光例如以聚焦于球形的流通池41的大致中心的方式被照射。半球面反射膜42以不遮挡检查光的光路的方式覆盖流通池41。半球面反射膜42对被照射到检查光的流通池41内的粒子所产生的反应光进行反射。流通池41的未被半球面反射膜42覆盖的部分作为半球面透镜部而发挥功能。半球面反射膜42与半球面透镜部是相对的。
[0083]半球面反射膜42例如为蒸镀膜,由金属等构成。半球面反射膜42的凹部以与对出射自流通池41的反应光进行检测的光检测器60或者会聚出射自流通池41的反应光的聚光光学系统相对的方式设置。
[0084]行进至流通池41的半球面透镜部一方的反应光从半球面透镜部的表面出射。在检查光的焦点与流通池41的中心一致的情况下,检查光的焦点处所产生的荧光及散射光从流通池41的表面大致垂直地出射。
[0085]行进至流通池41的半球面反射膜42—方的反应光被半球面反射膜42反射而从半球面透镜部出射。在检查光的焦点与球形流通池41的中心一致的情况下,检查光的焦点处所产生的反应光相对于半球面反射膜42大致垂直地入射。因此,反应光被半球面反射膜42大致垂直地反射而经过球形流通池41的大致中心并从半球面透镜部的表面大致垂直地出射。
[0086]第3实施方式的粒子检测装置的其他构成要素与第2实施方式相同。另外,在第3实施方式中,光检测器60与扇形面200所成的角度Θ也可像图6所示那样为直角,所述扇形面200以检查光与流通池41的贯通孔44的交点为顶点,平行于检查光的光路,且垂直于流通池41的贯通孔44的延伸方向。
[0087]若半球面反射膜42像图6所示那样以与扇形面200不交叉的方式设置在流通池41上,则杂散光不会被半球面反射膜42反射,所述扇形面200以检查光与流通池41的贯通孔44的交点为顶点,平行于检查光的光路,且垂直于流通池41的贯通孔44的延伸方向。
[0088]或者,若像图7所示那样在半球面反射膜42的与扇形面200交叉的部分上设置缺口44,则杂散光不会被半球面反射膜42反射,所述扇形面200以检查光与流通池41的贯通孔44的交点为顶点,平行于检查光的光路,且垂直于流通池41的贯通孔44的延伸方向。
[0089](第4实施方式)
[0090]如图8所示,本发明的第4实施方式的粒子检测装置包括:检查光源30,其发出检查光;流通池41,其被照射检查光,供包含粒子的流体流动,并且设置有对被照射到检查光的粒子所产生的反应光进行反射的半球面反射膜42;椭圆镜50,其以流通池41的位置为第I焦点,对透过了流通池41的半球面透镜部的反应光进行反射;以及光检测器60A、60B、60C,它们配置在椭圆镜50的第2焦点,对经椭圆镜50反射的反应光进行检测。
[0091]流通池41的贯通孔44的延伸方向垂直于检查光的行进方向,且垂直于椭圆镜50的长轴方向。如图9及图10所示,半球面反射膜42覆盖流通池41的一部分,例如以贯通孔44为界覆盖流通池41的约一半。流通池41的未被半球面反射膜42覆盖的部分作为半球面透镜部而发挥功能。
[0092]如图8所示,流通池41以半球面透镜部的凸部以及半球面反射膜42的凹部与椭圆镜50相对的方式配置。此外,流通池41以贯通孔44所穿过的流通池41的中心与椭圆镜50的第I焦点一致的方式配置。
[0093]行进至图10所示的流通池41的半球面透镜部一方的荧光及散射光从半球面透镜部的表面出射,到达至图8所示的椭圆镜50。在检查光的焦点与球形流通池41的中心一致的情况下,检查光的焦点处所产生的荧光及散射光从流通池41的半球面透镜部的表面大致垂直地出射。
[0094]行进至图10所示的流通池41的半球面反射膜42—方的荧光及散射光被半球面反射膜42反射而从半球面透镜部的表面出射,到达至图8所示的椭圆镜50。在检查光的焦点与流通池41的中心一致的情况下,检查光的焦点处所产生的荧光及散射光大致垂直地入射至图10所示的半球面反射膜42。因此,荧光及散射光被半球面反射膜42大致垂直地反射而经过流通池41的大致中心并从半球面透镜部的表面大致垂直地出射。
[0095 ]图8所示的椭圆镜50的凹面与半球面反射膜42的凹面以及流通池41的半球面透镜部的凸面相对。出射自流通池41的荧光及散射光被椭圆镜50反射而会聚于流通池41的后方的椭圆镜50的第2焦点。例如,通过使椭圆镜50充分大于流通池41的半球面反射膜42,来提高椭圆镜50对荧光及散射光的聚光效率。
[0096]在椭圆镜50的与扇形面200交叉的部分上设置有缺口 51,所述扇形面200以检查光与流通池41的贯通孔44的交点为顶点,平行于检查光的光路,且垂直于流通池41的贯通孔44的延伸方向。由此,可防止杂散光被椭圆镜50反射而到达至光检测器60A、60B、60C。此外,可在杂散光的行进方向上配置使杂散光衰减的杂散光衰减构件80。杂散光衰减构件80吸收杂散光。另外,在本揭示中,所谓衰减,也意指100%衰减,换句话说也意指遮断。
[0097]由于在椭圆镜50上设置有缺口51,因此椭圆镜50不会反射扇形面200内所含的杂散光及反应光,所述扇形面200以检查光与流通池41的贯通孔44的交点为顶点,平行于检查光的光路,且垂直于流通池41的贯通孔44的延伸方向。椭圆镜50对与扇形面200成角度地、换句话说不包含于扇形面200地出射自流通池41的反应光进行反射。
[0098]在椭圆镜50的几何学上的第I焦点及第2焦点之间配置有波长选择性反射镜70A、70B。
[0099]波长选择性反射镜70A例如波长选择性地反射散射光。经波长选择性反射镜70A反射的散射光的焦点在光学上等同于椭圆镜50的几何学上的第2焦点。在经波长选择性反射镜70A反射的散射光的焦点上配置有用于检测散射光的光检测器60A。
[0100]波长选择性反射镜70B例如波长选择性地反射第I波段的荧光并使第2波段的荧光透过。经波长选择性反射镜70B反射的荧光的焦点在光学上等同于椭圆镜50的几何学上的第2焦点。在经波长选择性反射镜70B反射的第I波段的荧光的焦点上配置有用于检测第I波段的荧光的光检测器60B。在透过波长选择性反射镜70B的第2波段的荧光的焦点上配置有用于检测第2波段的荧光的光检测器60C。
[0101]作为波长选择性反射镜70A、70B,可使用分色镜、干涉膜滤光片及光学滤光片等。另外,在波长选择性反射镜70A、70B各自的设计入射角度为45度的情况下,若以散射光或荧光相对于波长选择性反射镜70A、70B的入射角为35度以上55度以下的方式设定椭圆镜50的第I及第2焦点的间隔,则存在干涉膜滤光片的分光效率提高的倾向,但并不限定于此。
[0102]根据以上所说明的第4实施方式的粒子检测装置,可利用半球面反射膜42将最初在与椭圆镜50相反的方向上行进的荧光及散射光反射至椭圆镜50的方向而会聚于光检测器60A、60B、60C的位置。因此,能以与透镜聚光系统同等以上的效率会聚、检测在流通池41内最初从粒子全方位地发出的荧光及散射光。
[0103]此外,在第4实施方式的粒子检测装置中,通过在流通池41上设置半球面反射膜42,可减小半球面反射膜42。因此,可减小半球面反射膜42的投影的面积,荧光及散射光的聚光效率提高,使得即便不使用包含昂贵的高数值孔径透镜的复杂的光学系统也可高效地检测微弱的荧光或散射光。
[0104](第4实施方式的变形例)
[0105]在图8中,示出了在椭圆镜50的与扇形面200交叉的部分上设置有缺口51的例子,所述扇形面200以检查光与流通池41的贯通孔44的交点为顶点,平行于检查光的光路,且垂直于流通池41的贯通孔44的延伸方向。相对于此,也可在椭圆镜50的与扇形面200交叉的部分上配置带状的杂散光衰减构件。由此,也可防止杂散光被椭圆镜50反射而到达至光检测器60A、60B、60Co
[0106](第5实施方式)
[0107]在第4实施方式中,展示了像图8所示那样的流通池41的贯通孔44的延伸方向垂直于检查光的行进方向且垂直于椭圆镜50的长轴方向的例子。相对于此,也可像图11所示那样,流通池41的贯通孔44的延伸方向垂直于检查光的行进方向且与椭圆镜50的长轴方向平行。
[0108]在第5实施方式中,如图12及图13所示,流通池41的贯通孔44的一侧的开口设置在被半球面反射膜42覆盖的部分的中心,贯通孔44的另一侧的开口设置在作为半球面透镜部而发挥功能的、流通池41的未被半球面反射膜42覆盖的部分的中心。
[0109]第5实施方式的粒子检测装置的其他构成要素与第4实施方式相同。在第5实施方式的粒子检测装置中,杂散光在垂直于图11所示的流通池41的贯通孔44以及椭圆镜50的长轴的平面内产生。因此,可抑制杂散光进入至椭圆镜50的与长轴交叉的顶点侧。此外,可减小设置在椭圆镜50上的缺口 51。此外,在扇形面200与椭圆镜50不交叉的情况下,可不设置缺口51,所述扇形面200以检查光与流通池41的贯通孔44的交点为顶点,平行于检查光的光路,且垂直于流通池41的贯通孔44的延伸方向。进而,由于流通池41的贯通孔44与椭圆镜50的长轴一致,因此可抑制与贯通孔44连接的流路等遮挡荧光及散射光的影响。
[0110](第6实施方式)
[0111]在图14所示的第6实施方式的粒子检测装置中,流通池140像图15所示那样具有:透明的板状构件145,其具有第I主面211、与第I主面211相对的第2主面212、以及垂直于第I及第2主面211、212的侧面213、214,且在该板状构件145上设置有从侧面213贯通至侧面214的贯通孔144;透明的第I半球构件146,其配置在板状构件145的第I主面211上;以及透明的第2半球构件147,其配置在板状构件145的第2主面212上。
[0112]如图15至图17所示,在流通池140中,半球面反射膜142覆盖透明的第I半球构件146,第2半球构件147作为半球面透镜部143而发挥功能。半球面反射膜142与半球面透镜部143是相对的。
[0113]板状构件145的第I主面211及第2主面212例如分别为矩形。第I主面211及第2主面212的形状也可符合流通池140的支架的形状。贯通孔144以垂直于板状构件145的侧面213、214的方式设置。贯通孔144例如穿过作为流通池140的中心的板状构件145的中心。贯通孔144相对于其延伸方向的剖面形状为圆。图14所示的贯通孔144的延伸方向垂直于检查光的行进方向,且垂直于椭圆镜50的长轴方向。
[0114]作为用于检测在流通池140内部流动的粒子的检查光的激发光例如从垂直于板状构件145的侧面213、214的侧面朝贯通孔144入射。被照射激发光的板状构件145的侧面优选为经过研磨而平滑度较高。
[0115]图15所示的第I及第2半球构件146、147分别具有底面及球面。第I及第2半球构件146可分别为将完整的球一分为二而得。或者,第I及第2半球构件146也可分别是选定了曲率和厚度以使检查光与贯通孔144的交点处所产生的反应光垂直地入射至第I及第2半球构件146的表面的凸透镜构件。第I及第2半球构件146、147的底面的外径例如与板状构件145的第I主面211及第2主面212的宽度相同。
[0116]如图17所示,在贯通孔144内部被照射到激发光的荧光粒子中所产生的荧光及散射光从荧光粒子全方位地发出。此处,行进至流通池140的半球面透镜部143—方的荧光及散射光从半球面透镜部143的表面出射,到达至图14所示的椭圆镜50。在图17所示的流通池140中,在板状构件145的厚度薄于半球面透镜部143的厚度的情况下,流通池140的形状近似于球形。因此,在检查光的焦点与流通池140的中心一致的情况下,检查光的焦点处所产生的荧光及散射光大致垂直地入射至半球面透镜部143的表面。因此,荧光及散射光在半球面透镜部143的表面几乎不折射地从半球面透镜部143的表面出射。
[0117]行进至流通池140的半球面反射膜142—方的荧光及散射光被半球面反射膜142反射而从半球面透镜部143的表面出射,到达至图14所示的椭圆镜50。流通池140的形状可近似于球形,在检查光的焦点与流通池140的中心一致的情况下,检查光的焦点处所产生的荧光及散射光大致垂直地入射至图17所示的半球面反射膜142。因此,荧光及散射光被半球面反射膜142大致垂直地反射而经过流通池140的大致中心附近并在半球面透镜部143的表面几乎不折射地从半球面透镜部143的表面出射。
[0118]在第6实施方式中,由于在图14所示的椭圆镜50上设置有缺口51,因此椭圆镜50也不会反射扇形面200内所含的杂散光及反应光,所述扇形面200以检查光与流通池140的贯通孔144的交点为顶点,平行于检查光的光路,且垂直于流通池140的贯通孔144的延伸方向。椭圆镜50对与扇形面200成角度地、换句话说不包含于扇形面200地出射自流通池140的反应光进行反射。
[0119]透过板状构件145的检查光的光强度强于贯通孔144内的粒子所产生的荧光及散射光的光强度。由于具有较强的光强度的激发光有可能引起杂散光,因此被入射检查光的板状构件145的材料优选为合成石英等透明度较高的材料。相对于此,荧光及散射光的光强度较弱,不容易引起杂散光。因此,第I及第2半球构件146、147的材料的透明度可与板状构件145的材料的透明度相同,但第I及第2半球构件146、147也可在荧光及散射光透过的范围内使用透明度低于板状构件145的材料的廉价材料。
[0120]具体而言,第I及第2半球构件146、147的材料可使用石英玻璃,或者也可使用不同于石英玻璃的光学玻璃或者聚甲基丙烯酸甲酯树脂(PMMA)等透明树脂。
[0121]第6实施方式的粒子检测装置的其他构成要素与第4实施方式相同。根据第6实施方式的粒子检测装置,也可高效地会聚、检测流通池140中所产生的散射光及荧光等反应光。
[0122](第7实施方式)
[0123]在图18所示的第7实施方式的粒子检测装置中,流通池240像图19所示那样具有:透明的板状构件245,其具有第I主面311以及与第I主面311相对的第2主面312,且在该板状构件245上设置有从第I主面311贯通至第2主面312的贯通孔275;透明的第I半球构件246,其设置有贯通孔276,并且以板状构件245的贯通孔275与该第I半球构件246的贯通孔276连通的方式配置在板状构件245的第I主面311上;以及透明的第2半球构件247,其设置有贯通孔277,并且以板状构件245的贯通孔275与该第2半球构件247的贯通孔277连通的方式配置在板状构件245的第2主面312上。
[0124]如图19至图24所示,在流通池240中,半球面反射膜242覆盖透明的第I半球构件246,第2半球构件247作为半球面透镜部243而发挥功能。半球面反射膜242与半球面透镜部243是相对的。
[0125]板状构件245的第I主面311及第2主面312例如分别为矩形。第I主面311及第2主面312的形状也可符合流通池240的支架的形状。贯通孔275以垂直于第I及第2主面311、312的方式设置。板状构件245例如由石英玻璃构成。被照射激发光的板状构件245的侧面优选为经过研磨而平滑度较高。
[0126]板状构件245上所设置的贯通孔275例如穿过作为流通池240的中心的板状构件245的中心。贯通孔275相对于其延伸方向的剖面形状为圆。贯通孔275的延伸方向垂直于检查光的行进方向,且与椭圆镜50的长轴方向平行。
[0127]第I及第2半球构件246、247分别具有底面及球面。第I及第2半球构件246、247可分别为将完整的球一分为二而得。或者,第I及第2半球构件246、247也可分别为选定了曲率和厚度以使检查光与贯通孔275的交点处所产生的反应光垂直地入射至第I及第2半球构件246、247的表面的凸透镜构件。第I及第2半球构件246、247的底面的外径可等于也可小于板状构件245的第I主面311及第2主面312的宽度。在第I半球构件246中,贯通孔276从第I半球构件246的顶点朝底面垂直地设置。贯通孔276相对于其延伸方向的剖面形状为圆。此外,在第2半球构件247中,贯通孔277从第2半球构件247的顶点朝底面垂直地设置。贯通孔277相对于其延伸方向的剖面形状为圆。第I及第2半球构件246、247例如由石英玻璃构成。或者,第I及第2半球构件246、247例如也可由不同于石英玻璃的光学玻璃或者聚甲基丙烯酸甲酯树脂(PMMA)等透明树脂构成。
[0128]在流通池240中,流体在第I半球构件246的贯通孔276、板状构件245的贯通孔275、以及第2半球构件247的贯通孔277中流动。流体可从第I半球构件246侧流至第2半球构件247侧,也可从第2半球构件247侧流至第I半球构件246侧。
[0129]作为用于检测在流通池240内部流动的粒子的检查光的激发光例如从垂直于板状构件245的第I及第2主面311、312的侧面朝贯通孔275入射。在贯通孔275内部被照射到激发光的荧光粒子中所产生的荧光及散射光从荧光粒子全方位地发出。
[0130]行进至图21所示的流通池240的半球面透镜部243—方的荧光及散射光从半球面透镜部243的表面出射,到达至图18所示的椭圆镜50。在流通池240中,在图21所示的板状构件245的厚度薄于半球面透镜部243的厚度的情况下,流通池240的形状近似于球形。因此,在检查光的焦点与流通池240的中心一致的情况下,检查光的焦点处所产生的荧光及散射光大致垂直地入射至半球面透镜部243的表面。因此,荧光及散射光在半球面透镜部243的表面几乎不折射地从半球面透镜部243的表面出射。
[0131]行进至流通池240的半球面反射膜242—方的荧光及散射光被半球面反射膜242反射而从半球面透镜部243的表面出射,到达至图18所示的椭圆镜50。流通池240的形状可近似于球形,在检查光的焦点与流通池240的中心一致的情况下,检查光的焦点处所产生的荧光及散射光大致垂直地入射至图21所示的半球面反射膜242。因此,荧光及散射光被半球面反射膜242大致垂直地反射而经过流通池240的中心附近并在半球面透镜部243的表面几乎不折射地从半球面透镜部243的表面出射。
[0132]第7实施方式的粒子检测装置的其他构成要素与第5实施方式相同。在第7实施方式的粒子检测装置中,杂散光也是在垂直于图18所示的流通池240的贯通孔以及椭圆镜50的长轴的平面内产生。因此,可抑制杂散光进入至与椭圆镜50的长轴交叉的顶点侧。此外,可减小设置在椭圆镜50上的缺口 51。
[0133]另外,不对第I及第2半球构件246、247的贯通孔276、277照射激发光。因而,第I及第2半球构件246、247的贯通孔276、277的内壁的平滑度可与板状构件245的贯通孔275的内壁的平滑度相同,但也可低于板状构件245的贯通孔275的内壁的平滑度。
[0134]此外,板状构件245的贯通孔275的直径越小,相对于检查光的焦点而言,检测对象物质流动的范围就越窄,且多个检测对象物质同时通过检查光的焦点的可能性就越低。因此,贯通孔275直径越小,荧光及散射光的检测分辨率就越有提高的倾向。相对于此,不被照射激发光的第I及第2半球构件246、247的贯通孔276、277的直径对荧光及散射光的检测分辨率的影响较小。因而,第I及第2半球构件246、247的贯通孔276、277的直径可与板状构件245的贯通孔275的直径相同,但也可大于板状构件245的贯通孔275的直径。
[0135]进而,透过板状构件245的检查光的光强度强于贯通孔275内的粒子所产生的荧光及散射光的光强度。由于具有较强的光强度的激发光有可能引起杂散光,因此被入射检查光的板状构件245的材料优选为合成石英等透明度较高的材料。相对于此,荧光及散射光的光强度较弱,不容易引起杂散光。因此,第I及第2半球构件246、247的材料的透明度可与板状构件245的材料的透明度相同,但第I及第2半球构件246、247也可在荧光及散射光透过的范围内,使用透明度低于板状构件245的材料的廉价材料。
[0136]接着,对第7实施方式的流通池240的制造方法进行说明。如图25所示,准备板状构件245,并且像图26所示那样在板状构件245上设置贯通孔275。此外,如图27所示,准备第I半球构件246,并且像图28所示那样在第I半球构件246的半球面上形成半球面反射膜242。进而,如图29所示,在设置有半球面反射膜242的第I半球构件246上设置贯通孔276。进而,如图30所示,准备第2半球构件247,并且像图31所示那样在第2半球构件247上设置贯通孔277。
[0137]贯通孔275、276、277例如可通过蚀刻法来设置。或者,贯通孔275、276、277也可通过钻孔机来设置。进而,在形成贯通孔275、276、277后,可对贯通孔275、276、277的内壁进行研磨等而提高平滑度。另外,也可仅对贯通孔275的内壁进行研磨等而提高平滑度。
[0138]此处,相较于半球构件而言,对板状构件更容易设置内壁的平滑度较高的贯通孔。此外,如上所述,在所制造的流通池240中,对板状构件245照射激发光,但不对第I及第2半球构件246、247照射激发光。因而,可在板状构件245上设置内壁的平滑度较高的贯通孔275,在第I及第2半球构件246、247上设置内壁的平滑度低于贯通孔275的贯通孔276、277,从而降低第7实施方式的流通池240的制造成本。
[0139]进而,相较于半球构件而言,对板状构件更容易设置直径较小的贯通孔。进而,如上所述,板状构件245的贯通孔275的直径较小会使得所制造的流通池240中的荧光及散射光的检测分辨率较高,而不被照射激发光的第I及第2半球构件246、247的贯通孔276、277的直径对检测分辨率的影响较小。因而,可在板状构件245上设置直径较小的贯通孔275,在第I及第2半球构件246、247上设置直径大于贯通孔275的贯通孔276、277,从而降低第7实施方式的流通池240的制造成本。
[0140]设置有贯通孔275的板状构件245可通过延伸法进行制造。例如,准备如图32所示的设置有剖面形状为圆的贯通孔527的玻璃母材520,并在与贯通孔527的延伸方向相同的方向上对玻璃母材520进行加热延伸,由此在剖面上缩小玻璃母材,使得贯通孔527的直径变得与所制造的图26所示的板状构件245的贯通孔275相同。其后,从图32所示的延伸后的玻璃母材520的端部切出图26所示的板状构件245。所切出的板状构件245可进行研磨。
[0141]以贯通孔276、275、277连通的方式对图23所示的板状构件245和第I及第2半球构件246、247进行定位,并且,例如通过光学接触加以接合。或者,板状构件10与第I及第2半球构件246、247也可利用光学粘接剂等加以粘接。如此,获得第7实施方式的流通池240。
[0142]根据以上所说明的第7实施方式的流通池240的制造方法,通过贴合板状构件245以及第I及第2半球构件246、247,可制造包括具有难以通过一体成型制造的立体形状的透镜部分的流通池。
[0143]此外,如果要在构件上设置内壁有角的贯通孔,则存在容易在角上形成裂纹或空隙的倾向。相对于此,在第7实施方式的流通池240的制造方法中,由于形成剖面形状为圆的贯通孔275、276、277,因此可抑制在贯通孔275、276、277的内壁形成裂纹或空隙。
[0144]进而,贯通孔的直径越小,越难以在构件上设置内壁的平滑度较高的贯通孔,此夕卜,构件的厚度越大,越难以在构件上设置内壁的平滑度较高的贯通孔。因此,如下操作较为困难:在将流通池的母材一体成型后,在流通池的母材上设置直径较小的贯通孔,并通过研磨等来提高内壁的平滑度。相对于此,根据第7实施方式的流通池240的制造方法,通过贴合预先设置有贯通孔275、276、277的板状构件245以及第I及第2半球构件246、247,可减小被照射激发光的贯通孔275的直径,并提高内壁的平滑度。
[0145](第8实施方式)
[0146]在图33所示的第8实施方式的粒子检测装置的流通池240中,如图34所示,板状构件245的第I主面311及第2主面312的宽度宽于设置有半球面反射膜242的第I半球构件及第2半球构件247的底面的外径。板状构件245的宽于第I半球构件及第2半球构件247的部分构成流通池240的突出部。如图33所示,流通池240的突出部包括包含检查光的光路的平面的一部分,且垂直于图34所示的流通池240的贯通孔275的延伸方向。
[0147]如上所述,在流通池240被检查光照射时,存在检查光在剖面形状为圆的贯通孔275的内壁与贯通孔275内的流体的曲面界面发生反射及折射而变为杂散光的情况。杂散光存在如下倾向:在垂直于流通池240的贯通孔275的延伸方向的平面内,以检查光与流通池240的贯通孔275的交点为顶点而呈扇形扩散,所述扇形的顶角约为30度至60度。
[0148]但如图34所示,在流通池240的突出部中,从突出部的内部斜入射至突出部与外侧的空气的界面的杂散光被全反射,因此杂散光一边在流通池240的突出部内部反复进行全反射,一边在突出部内部行进。因此,以包含检查光的光路的方式设置的流通池240的突出部作为杂散光的波导而发挥功能。因而,通过使图33所示的椭圆镜50与流通池240的突出部不交叉而使杂散光在椭圆镜50的外部从流通池240的突出部出射,可抑制杂散光到达至光检测器 60A、60B、60C。
[0149]第8实施方式的粒子检测装置的其他构成要素与第7实施方式相同。
[0150](第9实施方式)
[0151]如图35所示,第9实施方式的粒子检测装置包括:检查光源30,其发出检查光;透明的流通池4,其供包含粒子的流体流动,设置有剖面形状为圆的贯通孔14,并且以垂直于贯通孔14的延伸方向的方式被照射检查光;杂散光衰减构件80,其以包含扇形面200的方式配置,所述扇形面200以检查光与流通池4的贯通孔14的交点为顶点,平行于检查光的光路,且垂直于流通池4的贯通孔14的延伸方向;以及光检测器60,其相对于流通池4而配置在杂散光衰减构件80的后方,对在流通池4内被照射到检查光的粒子所产生的反应光进行检测。
[0152]如上所述,在作为检查区域的贯通孔14内部被照射到检查光的荧光性粒子发出荧光。此外,在被照射到检查光的荧光性粒子及非荧光性粒子中,例如产生因米氏散射所引起的散射光。作为被照射到光的粒子中所产生的反应光的荧光及散射光从粒子全方位地发出。
[0153]进而,在流通池4被检查光照射时,存在检查光在剖面形状为圆的贯通孔14的内壁与贯通孔14内的流体的曲面界面发生反射及折射而变为杂散光的情况。杂散光存在如下倾向:在垂直于流通池4的贯通孔14的延伸方向的平面内,以检查光与流通池4的贯通孔14的交点为顶点而呈扇形扩散,所述扇形的顶角约为30度至60度。
[0154]反应光从粒子全方位地发出,但杂散光存在分布在垂直于流通池4的贯通孔14的延伸方向的平面内而不会在与流通池4的贯通孔14的延伸方向平行的方向上分布的倾向。因此,即便以包含扇形面的方式配置杂散光衰减构件80,全方位地发出的反应光也会到达至杂散光衰减构件80的后方,所述扇形面以检查光与流通池4的贯通孔14的交点为顶点,平行于检查光的光路,且垂直于流通池4的贯通孔14的延伸方向。因而,若在与流通池4的贯通孔14的延伸方向平行的方向上使杂散光衰减构件80的宽度小于光检测器60的受光面的宽度,则可利用光检测器60对越过杂散光衰减构件80的上下的反应光进行检测。
[0155]第9实施方式的粒子检测装置的其他构成要素与第I实施方式相同。
[0156](其他实施方式)
[0157]如上所述,通过实施方式对本发明进行了记载,但构成本揭示的一部分的记述及附图不应理解为对本发明的限定。根据本揭示,本领域技术人员理应清楚各种替代实施方式、实施例及运用技术。例如,粒子检测装置可仅以粒子所发出的荧光为检测对象,也可仅以粒子所产生的散射光为检测对象。如此,应理解,本发明包含此处未记载的各种实施方式等。
[0158]符号说明
[0159]4、41、140、240流通池
[0160]10板状构件
[0161]14、44、144、275、276、277 贯通孔
[0162]30检查光源
[0163]42、142、242半球面反射膜
[0164]50椭圆镜
[0165]60、60A、60B、60C光检测器
[0166]70A.70B波长选择性反射镜
[0167]80杂散光衰减构件
[0168]90透镜
[0169]143、243半球面透镜部
[0170]145、245板状构件
[0171]146、246第I半球构件
[0172]147、247第2半球构件
[0173]200杂散光所形成的面
[0174]211、212、311、312主面
[0175]213、214侧面
[0176]520玻璃母材
[0177]527贯通孔。
【主权项】
1.一种粒子检测装置,其特征在于,包括: 检查光源,其发出检查光; 透明的流通池,其供包含粒子的流体流动,设置有剖面形状为圆的贯通孔,并且以垂直于所述贯通孔的延伸方向的方式被照射所述检查光;以及 光检测器,其对在所述流通池内被照射到所述检查光的所述粒子所产生的反应光进行检测,并且是对相对于扇形面成角度地出射自所述流通池的反应光进行检测,所述扇形面以所述检查光与所述流通池的贯通孔的交点为顶点,平行于所述检查光的光路,且垂直于所述流通池的贯通孔的延伸方向。2.根据权利要求1所述的粒子检测装置,其特征在于, 所述光检测器以相对于扇形面设置一角度的方式配置,所述扇形面以所述检查光与所述流通池的贯通孔的交点为顶点,平行于所述检查光的光路,且垂直于所述流通池的贯通孔的延伸方向。3.根据权利要求1或2所述的粒子检测装置,其特征在于, 还包括聚光光学系统,所述聚光光学系统会聚相对于扇形面成角度地出射自所述流通池的反应光,所述扇形面以所述检查光与所述流通池的贯通孔的交点为顶点,平行于所述检查光的光路,且垂直于所述流通池的贯通孔的延伸方向。4.根据权利要求3所述的粒子检测装置,其特征在于, 所述聚光光学系统包括透镜,所述透镜以相对于扇形面设置一角度的方式配置,所述扇形面以所述检查光与所述流通池的贯通孔的交点为顶点,平行于所述检查光的光路,且垂直于所述流通池的贯通孔的延伸方向。5.根据权利要求1至4中任一项所述的粒子检测装置,其特征在于, 所述流通池包括由所述反应光透过的半球面透镜部。6.根据权利要求1至5中任一项所述的粒子检测装置,其特征在于, 所述流通池包括半球面反射膜,所述半球面反射膜对被照射到所述检查光的所述粒子所产生的反应光进行反射。7.根据权利要求6所述的粒子检测装置,其特征在于, 在所述半球面反射膜的与扇形面交叉的部分上设置有缺口,所述扇形面以所述检查光与所述流通池的贯通孔的交点为顶点,平行于所述检查光的光路,且垂直于所述流通池的贯通孔的延伸方向。8.根据权利要求6所述的粒子检测装置,其特征在于, 所述半球面反射膜与扇形面不交叉,所述扇形面以所述检查光与所述流通池的贯通孔的交点为顶点,平行于所述检查光的光路,且垂直于所述流通池的贯通孔的延伸方向。9.一种粒子检测装置,其特征在于,包括: 检查光源,其发出检查光; 透明的流通池,其供包含粒子的流体流动,设置有剖面形状为圆的贯通孔,并且以垂直于所述贯通孔的延伸方向的方式被照射所述检查光,且设置有包含所述检查光的光路的突出部;以及 光检测器,其对在所述流通池内被照射到所述检查光的所述粒子所产生的反应光进行检测。10.一种粒子检测装置,其特征在于,包括: 检查光源,其发出检查光; 透明的流通池,其供包含粒子的流体流动,设置有剖面形状为圆的贯通孔,并且以垂直于所述贯通孔的延伸方向的方式被照射所述检查光; 杂散光衰减构件,其以包含扇形面的方式配置,所述扇形面以所述检查光与所述流通池的贯通孔的交点为顶点,平行于所述检查光的光路,且垂直于所述流通池的贯通孔的延伸方向;以及 光检测器,其相对于所述流通池而配置在所述杂散光衰减构件的后方,对在所述流通池内被照射到所述检查光的所述粒子所产生的反应光进行检测。
【文档编号】G01N15/00GK105891053SQ201610092290
【公开日】2016年8月24日
【申请日】2016年2月18日
【发明人】古谷雅, 小原太辅
【申请人】阿自倍尔株式会社
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