一种传感器响应测量装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种质量流量控制器，尤其涉及一种传感器响应测量装置。
【背景技术】
[0002]质量流量控制器(Mass Flow Controller,以下全部简称MFC)应用于精密的测量和控制气体的质量流量。在一定范围内的气压和温度的变化情况下，它的测量和控制精度不受影响。
[0003]如图1所示，MFC由分流器、传感器、电路板和调节阀四个部分组成，分流器、传感器及电路板的测量部分组成了 MFC的流量测量单元。调节阀与电路板的控制部分组成了MFC的控制系统。
[0004]当气体进入MFC时，气流首先由传感器和分流器一分为二:气体的一部分流入传感器，其质量流量的大小由传感器测量；气体的其它部分流过分流器，其大小由分流器决定。分流器的规格与量程范围的大小成比例。流经传感器的气体会使传感器电桥产生一个微小的电压差，该电压差通过电路板上的流量放大电路，最后显示出气体的真实流量。将真实的流量与设定(期望流量)进行比较并调节阀的大小即达到了控制功能。
[0005]影响质量流量控制器性能主要有三个要素:传感器的温漂、质量流量控制器的PID调节和电磁阀性能。质量流量控制器改进系统主要针对这三个要素，强化MFC的工作性能，增强可靠性。
[0006]现有技术中对传感器响应时间测试的装置和方法复杂且不够精确。
【发明内容】
[0007]本实用新型的目的是提供一种可以快速、精确的测量质量流量控制器中传感器的响应时间的传感器响应测量装置。
[0008]本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的:
[0009]本实用新型的传感器响应测量装置，包括气路反应时间测定管路和传感器响应时间测定管路；
[0010]所述气路反应时间测定管路包括:在气源后依次连接减压器、被测样机，所述被测样机的出口与截止阀和压力传感器分别连接；
[0011]所述传感器响应时间测定管路包括:在气源后依次连接减压器、流量控制器，所述流量控制器的出口与所述截止阀和所述被测样机分别连接，所述被测样机的出口与所述压力传感器连接。
[0012]由上述本实用新型提供的技术方案可以看出，本实用新型实施例提供的传感器响应测量装置，由于包括气路反应时间测定管路和传感器响应时间测定管路，通过管路切换可以快速、精确的测量质量流量控制器中传感器的响应时间。
【附图说明】
[0013]图1为质量流量控制器的结构示意图；
[0014]图2为本实用新型实施例中气路反应时间测定管路的结构示意图；
[0015]图3为本实用新型实施例中传感器响应时间测定管路的结构示意图。
[0016]图中:
[0017]1、气源，2、减压器，3、被测样机，4、截止阀，5、压力传感器，6、流量控制器。
【具体实施方式】
[0018]下面将对本实用新型实施例作进一步地详细描述。
[0019]本实用新型的传感器响应测量装置，其较佳的【具体实施方式】是:
[0020]包括气路反应时间测定管路和传感器响应时间测定管路；
[0021]所述气路反应时间测定管路包括:在气源后依次连接减压器、被测样机，所述被测样机的出口与截止阀和压力传感器分别连接；
[0022]所述传感器响应时间测定管路包括:在气源后依次连接减压器、流量控制器，所述流量控制器的出口与所述截止阀和所述被测样机分别连接，所述被测样机的出口与所述压力传感器连接。
[0023]所述被测样机、截止阀和压力传感器与电源和示波器连接。
[0024]传感器作为整个系统的核心部件更是重中之重，所以对传感器的测试就变得很重要。本实用新型的传感器响应测试装置，可以快速测量质量流量控制器中传感器的响应时间。
[0025]具体实施例:
[0026]如图2所示，在气源后接上减压器，然后将被测样机接入气路中。接下来用三通将截止阀阀和压力传感器分别接在被测样机后。这里要求气路足够短。
[0027]这里将被测样机通电，并将流量检测信号接在示波器上。同理将截止阀通电，并将截止阀供电电源接在示波器上，将压力传感器通电并将检测信号接在示波器上。
[0028]测试时，将被测样机设定到指定流量并通气，这时截止阀不通，气体从压力传感器流过。
[0029]当将截止阀打开的瞬间，气体大多数从截止阀流出，压力传感器信号骤变，即可从示波器中压力传感器信号响应读取气路反应时间A。
[0030]接下来将气路改变:
[0031]如图3所示，将原被测样机位置换为流量控制器来控制流量。将被测样机放在压力传感器前面。将被测样机阀置全开。
[0032]测试时，设定流量控制器为指定流量并通气，这时截止阀不通，气体从压力传感器流过。当将截止阀打开的瞬间，气体大多数从截止阀流出，被测样机的流量检测信号和压力传感器信号骤变，即可从示波器中被测样机的流量检测信号中读取响应时间B。
[0033]时间B减时间A即为被测样机的传感器响应时间。
[0034]以上所述，仅为本实用新型较佳的【具体实施方式】，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型披露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。
【主权项】
1.一种传感器响应测量装置，其特征在于，包括气路反应时间测定管路和传感器响应时间测定管路； 所述气路反应时间测定管路包括:在气源后依次连接减压器、被测样机，所述被测样机的出口与截止阀和压力传感器分别连接； 所述传感器响应时间测定管路包括:在气源后依次连接减压器、流量控制器，所述流量控制器的出口与所述截止阀和所述被测样机分别连接，所述被测样机的出口与所述压力传感器连接。
2.根据权利要求1所述的传感器响应测量装置，其特征在于，所述被测样机、截止阀和压力传感器与电源和示波器连接。
【专利摘要】本实用新型公开了一种传感器响应测量装置，包括气路反应时间测定管路和传感器响应时间测定管路；气路反应时间测定管路包括：在气源后依次连接减压器、被测样机，被测样机的出口与截止阀和压力传感器分别连接；传感器响应时间测定管路包括：在气源后依次连接减压器、流量控制器，流量控制器的出口与截止阀和被测样机分别连接，被测样机的出口与压力传感器连接。可以快速测量质量流量控制器中传感器的响应时间。
【IPC分类】G01F25-00
【公开号】CN204269202
【申请号】CN201420738482
【发明人】吴薇, 蒋兴东, 李甲
【申请人】北京七星弗洛尔电子设备制造有限公司
【公开日】2015年4月15日
【申请日】2014年11月28日