一种太阳能电池铝背场材料掺杂浓度的测试装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种测试装置，尤其涉及一种采用ECV法测试晶体硅太阳能电池铝背场材料掺杂浓度的测试装置。
【背景技术】
[0002]对于晶体硅太阳能电池的设计和制造而言，电池中载流子浓度、掺杂厚度以及杂质分布都是必须严格控制的参数，且各种载流子浓度的误差必须控制在20%以内，这就要求对载流子的浓度及分布有更精确可靠的测量。
[0003]电化学C-V是当前测量半导体载流子浓度分布的非常重要的方法。在硅半导体中ECV的应用也越来越广泛，逐渐成为光伏行业电池技术研宄和发展的必要工具之一。ECV测量是利用合适的电解液既可以作为肖特基接触的电极测量C-V特性，又可以进行电化学腐蚀，因此可以层层剥离测量电激活杂质的浓度分布，剖面深度不受反向击穿的限制，并可以测量pn结。针对于此，已有采用不同电阻率硅片进行实验，得到了扩散后不同扩散方阻的硅片，并对扩散硅片的表面浓度和结深进行了研宄。但是，上述ECV测试方法的测试装置一般都是采用玻璃装置作为反应罐，反应罐中的酸性腐蚀液会对测试装置产生破坏，因此，本项目中的测试装置可以有效的解决问题。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的在于克服现有技术的缺陷，提供一种适用于ECV法测试的太阳能电池铝背场材料掺杂浓度的测试装置，其采用聚四氟乙烯作为测试反应罐可以有效防止酸溶液对反应罐的腐蚀。
[0005]为实现上述目的，本实用新型提出如下技术方案:一种太阳能电池铝背场材料掺杂浓度的测试装置，包括测试反应罐，固定机构及测试机构，其中所述测试反应罐表层并行设有加样孔及反应孔，所述反应孔内安装有盐桥，所述盐桥上端圆孔内塞有带孔橡皮塞，所述带孔橡皮塞内插有钼丝电极；
[0006]所述固定机构包括安装在所述测试反应罐两侧以夹持测试反应罐的左夹板及右夹板，穿插在所述左夹板和右夹板四个角上的连接固定杆及安装在所述连接固定杆两侧用于紧固的紧固螺栓及六角螺母，且所述右夹板中心具有穿透的测试孔。
[0007]所述测试机构包括安装在左夹板内侧的铂网电极，设于所述左夹板上端面的参比电极，安装在右夹板外侧的U型固定架，压片及调节螺杆，其中所述铂网电极与所述参比电极之间通过内置在左夹板内的铂丝连接，所述U型固定架横向面内侧具有紧固环，所述压片安装在调节螺杆的端部正对所述测试孔，另一端具有旋转把手，通过旋转把手调节所述调节螺杆使得压片向测试孔压紧，并通过紧固环进行紧固。
[0008]所述测试反应罐为中空圆柱形结构。
[0009]所述左夹板和右夹板相对面的侧面中间设有测试槽，所述测试孔位于所述右夹板的测试槽中心，所述铂网电极安装在所述左夹板的测试槽内。
[0010]所述左夹板和右夹板相对面上设有环形固定槽，便于测试反应罐插入固定，且所述环形固定槽位于测试槽外部。
[0011]所述压片与测试孔之间还包括O型密封圈。
[0012]所述铂网电极，盐桥末端及测试孔位于同一直线上。
[0013]所述测试反应罐，压片，盐桥均采用聚四氟乙烯材料制成。
[0014]所述左夹板内壁还装有液位传感器，所述左夹板外壁装有报警灯，所述液位传感器通过连接线连接报警灯。
[0015]所述液位传感器位于测试槽上方及环形固定槽下方。
[0016]与现有技术相比，本实用新型所揭示的一种太阳能电池铝背场材料掺杂浓度的测试装置，测试掺杂浓度的数据更精准、质量更牢固、操作方便，且带有液面自动感知装置，可实现加入液体量的精确把握，减少了人力、物力。
【附图说明】
[0017]图1是本实用新型所揭示的测试装置的结构示意图；
[0018]图2是本实用新型所揭示的测试装置的侧面剖视图；
[0019]图3是本实用新型所揭示的测试反应罐的结构示意图。
【具体实施方式】
[0020]下面将结合本实用新型的附图，对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整的描述。
[0021]如图1~3所示，本实用新型所揭示的一种太阳能电池铝背场材料掺杂浓度的测试装置，具体包括测试反应罐1，固定机构及测试机构。
[0022]具体说来，所述测试反应罐I为中空圆柱形结构，其表层设有加样孔9及反应孔10，所述反应孔10内安装有盐桥11，所述盐桥11上端圆孔内塞有带孔橡皮塞12，所述带孔橡皮塞12内插有铂丝电极13。
[0023]所述固定机构包括左夹板2，右夹板3，连接固定杆4及紧固螺栓5，所述左夹板2和右夹板3相对面的侧面设有内凹的环形固定槽6及测试槽7，且所述测试槽7位于环形固定槽6中间，所述右夹板3的测试槽7中心还设有穿透的测试孔8，所述左夹板2和右夹板3安装在所述测试反应罐I的两端，且使得所述测试反应罐I插在所述环形固定槽6内固定，并通过四根连接固定杆4分别穿过所述右夹板3及左夹板2的四个角进行夹紧，所述连接固定杆4两端均设有螺纹，一端通过紧固螺栓5进行左夹板2侧紧固，另一端通过六角螺母进行右夹板3侧紧固。
[0024]所述左夹板2内侧还安装有液位传感器23，且所述液位传感器23位于测试槽7上方及环形固定槽6下方，用于探测测试反应罐I内电解液的液位，所述左夹板2外侧安装有报警灯24，所述报警灯24连接液位传感器23，一旦液位达液位传感器的位置，报警灯24亮起，以告知使用者已经达到预定液位。
[0025]所述测试机构包括铂网电极14，参比电极15，U型固定架16，压片17，调节螺杆18，其中所述铂网电极14安装在左夹板2的测试槽7内，所述参比电极15安装在所述左夹板2的上端面，所述铂网电极14和参比电极15之间通过内置在左夹板2内的铂丝19连接，所述U型固定架16安装在右夹板3外侧，其横向面内侧具有紧固环20，所述紧固环20内壁具有螺纹，所述压片17正对所述测试孔8，其安装在调节螺杆18的端部，且所述调节螺杆18表面具有螺纹，且另一端具有旋转把手21，通过旋转把手21调节所述调节螺杆18使得压片17向测试孔8压紧，并通过紧固环20进行紧固，所述压片17与测试孔8之间加入O型密封圈22，所述铂网电极14，盐桥11末端及测试孔8位于同一直线上。
[0026]所述测试反应罐1，压片17，盐桥11均采用聚四氟乙烯材料制成。
[0027]本实用新型所揭示的一种太阳能电池铝背场材料掺杂浓度的测试装置，其工作原理为:在测试装置中加入电解液，用电解液来形成势皇并同时去除已电解的材料，通过测试装置重复腐蚀-测量循环就能得到测量曲线，然后运用莫特-肖特基方程方程，对腐蚀电流进行积分就可以连续得到腐蚀深度。
[0028]本实用新型的技术内容及技术特征已揭示如上，然而熟悉本领域的技术人员仍可能基于本实用新型的教示及揭示而作种种不背离本实用新型精神的替换及修饰，因此，本实用新型保护范围应不限于实施例所揭示的内容，而应包括各种不背离本实用新型的替换及修饰，并为本专利申请权利要求所涵盖。
【主权项】
1.一种太阳能电池铝背场材料掺杂浓度的测试装置，其特征在于:包括测试反应罐，固定机构及测试机构，其中所述测试反应罐表层并行设有加样孔及反应孔，所述反应孔内安装有盐桥，所述盐桥上端圆孔内塞有带孔橡皮塞，所述带孔橡皮塞内插有铂丝电极； 所述固定机构包括安装在所述测试反应罐两侧以夹持测试反应罐的左夹板及右夹板，穿插在所述左夹板和右夹板四个角上的连接固定杆及安装在所述连接固定杆两侧用于紧固的紧固螺栓及六角螺母，且所述右夹板中心具有穿透的测试孔； 所述测试机构包括安装在左夹板内侧的铂网电极，设于所述左夹板上端面的参比电极，安装在右夹板外侧的U型固定架，压片及调节螺杆，其中所述铂网电极与所述参比电极之间通过内置在左夹板内的铂丝连接，所述U型固定架横向面内侧具有紧固环，所述压片安装在调节螺杆的端部正对所述测试孔，另一端具有旋转把手，通过旋转把手调节所述调节螺杆使得压片向测试孔压紧，并通过紧固环进行紧固。
2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池铝背场材料掺杂浓度的测试装置，其特征在于:所述测试反应罐为中空圆柱形结构。
3.根据权利要求1所述的一种太阳能电池铝背场材料掺杂浓度的测试装置，其特征在于:所述左夹板和右夹板相对面的侧面中间设有测试槽，所述测试孔位于所述右夹板的测试槽中心，所述铂网电极安装在所述左夹板的测试槽内。
4.根据权利要求3所述的一种太阳能电池铝背场材料掺杂浓度的测试装置，其特征在于:所述左夹板和右夹板相对面上设有环形固定槽，便于测试反应罐插入固定，且所述环形固定槽位于测试槽外部。
5.根据权利要求1所述的一种太阳能电池铝背场材料掺杂浓度的测试装置，其特征在于:所述压片与测试孔之间还包括O型密封圈。
6.根据权利要求1所述的一种太阳能电池铝背场材料掺杂浓度的测试装置，其特征在于:所述铂网电极，盐桥末端及测试孔位于同一直线上。
7.根据权利要求1所述的一种太阳能电池铝背场材料掺杂浓度的测试装置，其特征在于:所述测试反应罐，压片，盐桥均采用聚四氟乙烯材料制成。
8.根据权利要求4所述的一种太阳能电池铝背场材料掺杂浓度的测试装置，其特征在于:所述左夹板内壁还装有液位传感器，所述左夹板外壁装有报警灯，所述液位传感器通过连接线连接报警灯。
9.根据权利要求8所述的一种太阳能电池铝背场材料掺杂浓度的测试装置，其特征在于:所述液位传感器位于测试槽上方及环形固定槽下方。
【专利摘要】本实用新型公开了一种太阳能电池铝背场材料掺杂浓度的测试装置，包括测试反应罐，固定机构及测试机构，其中所述测试反应罐表层并行设有加样孔及反应孔，所述反应孔内安装有盐桥，所述盐桥上端圆孔内塞有带孔橡皮塞，所述带孔橡皮塞内插有铂丝电极。本实用新型所揭示的一种太阳能电池铝背场材料掺杂浓度的测试装置，测试掺杂浓度的数据更精准、质量更牢固、操作方便，且带有液面自动感知装置，可实现加入液体量的精确把握，减少了人力、物力。
【IPC分类】G01N27-26
【公开号】CN204422471
【申请号】CN201520078855
【发明人】朱鹏
【申请人】南通天盛新能源科技有限公司
【公开日】2015年6月24日
【申请日】2015年2月4日