气动传感器的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及传感器技术领域，具体涉及一种气动传感器。
【背景技术】
[0002]随着科技及人们生活需求的不断发展，气动传感器在生活中的多个方面都得到了应用。但是现有的气动传感器存在制作成本高、制作工艺复杂、输出信号偏小、对外接信号处理电路要求也较高的问题，而且还很容易受到外界振动的干扰。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的发明目的是针对现有技术的缺陷，提供了一种气动传感器，用于解决现有技术中的气动传感器的输出信号小、对外接信号处理电路要求高、易受外界振动干扰的问题。
[0004]本实用新型提供一种气动传感器，包括:屏蔽壳、在屏蔽壳的部分或全部内侧表面设置的绝缘层、及至少一个传感单元；屏蔽壳上开设有至少两个通气口，气流在通气口之间通过；传感单元包括:至少一层固定层和一层自由层；至少一层固定层固设在屏蔽壳上；自由层具有固定部和摩擦部；自由层的固定部与至少一层固定层或屏蔽壳固定连接；自由层通过摩擦部与至少一层固定层和/或屏蔽壳摩擦；其中，至少一层固定层和/或屏蔽壳为气动传感器的信号输出端。
[0005]进一步，气流的进气方向平行于至少一层固定层所在平面或者气流的进气方向垂直于至少一层固定层所在平面。
[0006]进一步，传感单元包括:一层固定层和一层自由层；固定层包含电极，绝缘层设置在电极与屏蔽壳内侧表面之间；自由层通过摩擦部与固定层和/或屏蔽壳摩擦，电极和屏蔽壳为气动传感器的信号输出端。
[0007]进一步，固定层为电极，或者，固定层为一侧表面镀有电极的高分子聚合物绝缘层O
[0008]进一步，至少一层固定层为两层，分别为第一固定层和第二固定层；第一固定层和第二固定层分离固设在屏蔽壳上，自由层位于第一固定层和第二固定层之间；第一固定层包含第一电极，绝缘层设置在第一电极与屏蔽壳内侧表面之间；自由层的固定部与第一固定层或第二固定层固定连接，自由层通过摩擦部与第一固定层和/或第二固定层摩擦。
[0009]进一步，第一固定层为第一电极，或者，第一固定层为一侧表面镀有第一电极的第一高分子聚合物绝缘层。
[0010]进一步，第二固定层为第二高分子聚合物绝缘层，第一电极和屏蔽壳为气动传感器的信号输出端。
[0011]进一步，第二固定层包含第二电极，第二电极与屏蔽壳内侧表面接触，第一电极和屏蔽壳为气动传感器的信号输出端。
[0012]进一步，第二固定层包含第二电极，绝缘层还设置在第二电极与屏蔽壳内侧表面之间；第一电极和第二电极为气动传感器的信号输出端。
[0013]进一步，第二固定层为第二高分子聚合物绝缘层，第一电极由两个叉指电极组成，两个叉指电极为气动传感器的信号输出端。
[0014]进一步，第二固定层包含第二电极，绝缘层还设置在第二电极与屏蔽壳内侧表面之间；第一电极由两个叉指电极组成，第二电极由两个叉指电极组成，四个叉指电极为气动传感器的信号输出端。
[0015]进一步，第二固定层中间开设有与通气口相对的集风口，第一固定层与屏蔽壳之间形成两个与通气口相对的出风口，自由层由对称的两个部分组成，自由层的固定部与所述屏蔽壳固定连接。
[0016]进一步，第二固定层为第二电极，或者，第二固定层为一侧表面镀有第二电极的第二高分子聚合物绝缘层。
[0017]进一步，传感单元为多个，屏蔽壳内还设置有至少一个隔板，多个传感单元通过隔板隔开，多个传感单元并联连接。
[0018]进一步，传感单元为多个，多个传感单元通过绝缘层隔开，多个传感单元并联连接。
[0019]进一步，自由层的固定部通过两个垫片与至少一层固定层的一边或对角固定连接，或者自由层的固定部通过四个垫片与至少一层固定层的四个角固定连接。
[0020]进一步，屏蔽壳的材料为金属材料，屏蔽壳接地。
[0021]进一步，隔板与屏蔽壳的材料相同。
[0022]进一步，在屏蔽壳的通气口设置透气屏蔽层，透气屏蔽层为网状金属层或带孔洞的金属层。
[0023]进一步，自由层经过预热压和预固化处理，使得自由层在迎风处具有弯曲结构或弯折结构。
[0024]进一步，气动传感器的摩擦界面的两层相对的面中至少一面设有微纳结构。
[0025]本实用新型提供另一种气动传感器，包括:屏蔽壳、在屏蔽壳的部分或全部内侧表面设置的绝缘层、及至少一个传感单元；屏蔽壳上开设有至少两个通气口，气流在通气口之间通过；传感单元包括:自由层，自由层的一侧表面镀有电极；自由层具有固定部和摩擦部；自由层的固定部与屏蔽壳固定连接；自由层没镀电极的表面通过摩擦部与屏蔽壳摩擦；绝缘层设置在能够与自由层镀有电极的表面接触的屏蔽壳的部分内侧表面；其中，自由层的电极和/或屏蔽壳为气动传感器的信号输出端。
[0026]本实用新型提供另一种气动传感器，包括:屏蔽壳、在屏蔽壳的部分或全部内侧表面设置的绝缘层、及至少一个传感单元；屏蔽壳上开设有至少两个通气口，气流在通气口之间通过；传感单元包括:至少一层固定层和自由层，自由层的一侧表面镀有电极，自由层具有固定部和摩擦部；至少一层固定层固设在屏蔽壳上；自由层的固定部与屏蔽壳或至少一层固定层固定连接，自由层没镀电极的表面通过摩擦部与固定层摩擦；绝缘层设置在能够与自由层镀有电极的表面接触的屏蔽壳的部分内侧表面；其中，自由层的电极和/或屏蔽壳为气动传感器的信号输出端。
[0027]本实用新型提供的气动传感器的制作成本低、输出信号大，对外接信号处理电路要求低，可以轻易地通过气动传感器的电路设计来区分气流和外界振动干扰产生的电信号，同时设置了屏蔽壳，从而进一步减少了外界振动对气动传感器的干扰，提高了气动传感器工作的准确性。
【附图说明】
[0028]图1a为本实用新型提供的气动传感器实施例一的截面结构示意图；
[0029]图1b为本实用新型提供的气动传感器实施例一中屏蔽壳的正视图一；
[0030]图1c为本实用新型提供的气动传感器实施例一中屏蔽壳的正视图二 ；
[0031]图1d为本实用新型提供的气动传感器实施例一中屏蔽壳的正视图三；
[0032]图2为本实用新型提供的自由层通过垫片与固定层固定连接方法一的示意图；
[0033]图3为本实用新型提供的自由层通过垫片与固定层固定连接方法二的示意图；
[0034]图4为本实用新型提供的自由层通过垫片与固定层固定连接方法三的示意图；
[0035]图5为本实用新型提供的自由层通过垫片与固定层固定连接方法四的示意图；
[0036]图6为本实用新型提供的自由层通过垫片与固定层固定连接方法五的示意图；
[0037]图7为本实用新型提供的气动传感器实施例二的截面结构示意图；
[0038]图8a为本实用新型提供的气动传感器实施例三的截面结构示意图；
[0039]图Sb为本实用新型提供的气动传感器实施例三中屏蔽壳的正视图一；
[0040]图Sc为本实用新型提供的气动传感器实施例三中屏蔽壳的正视图二 ；
[0041]图9为本实用新型提供的气动传感器的实施例四的截面结构示意图；
[0042]图10为本实用新型提供的气动传感器的实施例五的截面结构示意图；
[0043]图11为本实用新型提供的气动传感器的实施例六的截面结构示意图；
[0044]图12a为本实用新型提供的气动传感器的实施例七的截面结构示意图；
[0045]图12b为叉指电极的设置图；
[0046]图13为本实用新型提供的气动传感器的实施例八的截面结构示意图；
[0047]图14为本实用新型提供的气动传感器的实施例九的截面结构示意图；
[0048]图15为实施例九的第二固定层的纵截面示意图；
[0049]图16为实施例九的第一固定层的纵截面示意图；
[0050]图17为实施例九的自由层结构一纵截面示意图；
[0051]图18为实施例九的自由层结构二纵截面示意图；
[0052]图19为本实用新型提供的气动传感器的实施例十的截面结构示意图；
[0053]图20为本实用新型提供的气动传感器的实施例十一的截面结构示意图；
[0054]图21为本实用新型提供的气动传感器的实施例十二的截面结构示意图；
[0055]图22为本实用新型提供的气动传感器的实施例十三的截面结构示意图；
[0056]图23a为自由层结构一的示意图；
[0057]图23b为自由层结构二的示意图。