射频信号保护装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体测量技术领域，特别涉及一种射频信号保护装置。
【背景技术】
[0002]随着半导体行业的发展，射频测试是必要的步骤。射频测试时，子板与母板之间由射频信号线连接。为了满足高频测试需求，对测试座及硬件的质量、射频信号要求越来越高。射频信号线的探针上容易粘染东西，以及射频信号线的晃动都会对射频信号产生影响。
[0003]在机器长时间运作后，良率会出现偏大或偏小的现象，对最终测试数据造成影响，导致测量结果不准确。在测量结果不准确的情况下，需要在机械环境下进行分析，对硬件部分进行拆卸，由于射频信号线没有保护装置，所以在拆卸时射频信号线之间容易撞到，甚至是撞击到拆卸工具上，导致射频信号线损坏，降低射频信号线使用寿命。
[0004]由于频繁的拆卸、安装调试射频信号线，会导致测量结果不一样，给分析、调试稳定性带来更大困难，如此循环下去导致无法做到尽快的调准测量信号、开始测试，调试效率低；进一步地，开始测试后，由于机台抖动造成射频信号线晃动，影响测试信号。
[0005]为了解决上述问题，半导体测量技术领域急需一种射频信号保护装置，能够在分析及更换产品时保护射频信号线，降低信号线的晃动率，提高射频信号线稳定性，使测量数据更加稳定，提高调试效率和测量速率，提高射频信号线使用寿命，降低成本、增强经济效益。
【发明内容】
[0006]本实用新型提供了射频信号保护装置，技术方案如下:
[0007]射频信号保护装置，包括:安装板和保护板；
[0008]安装板，上面具有多个定位孔和第一射频通孔，定位孔用于定位、快速安装子板和对接板，第一射频通孔用于贯穿射频信号线，第一射频通孔的孔径略大于射频信号线的外径；
[0009]保护板，上面具有多个第二射频通孔，第二射频通孔数量、孔径都与第一射频通孔的数量、孔径相等，保护板与安装板之间通过依次贯穿于第一射频通孔、第二射频通孔的射频信号线相连接。
[0010]优选的，在上述射频信号保护装置中，还包括:子板和母板，子板上面具有与定位孔相配合使用的小孔，子板固定连接于安装板顶部，射频信号线穿过安装板的第一射频通孔，通过射频信号线顶端的探针安装到子板上；母板固定安装于保护板底部，射频信号线穿过安装板的第二射频通孔，通过射频信号线另一端的探针安装到母板上。
[0011]优选的，在上述射频信号保护装置中，安装板为中间具有凹槽的平板，凹槽用于固定安装子板，用于定位子板的定位孔位于凹槽内，用于定位对接板的定位孔位于凹槽外。
[0012]优选的，在上述射频信号保护装置中，用于定位子板的定位孔数量为4个，分别位于凹槽的四角处，用于定位对接板的定位孔数量为4个，成中心轴对称的形式分布于安装板上。
[0013]优选的，在上述射频信号保护装置中，子板与安装板之间通过螺钉固定连接，保护板与母板之间通过螺钉固定连接。
[0014]优选的，在上述射频信号保护装置中，安装板为长方体，长度为100~140mm，宽度为70—1 1mm,高度为 31.6—71.6mm。
[0015]优选的，在上述射频信号保护装置中，安装板的长度为120臟，宽度为90臟，高度为 51.6mm。
[0016]优选的，在上述射频信号保护装置中，保护板为长方体，长度为160~200mm，宽度为95~135_，高度为 5~30_。
[0017]优选的，在上述射频信号保护装置中，保护板的长度为180臟，宽度为115臟，高度为 10mnin
[0018]优选的，在上述射频信号保护装置中，安装板和保护板的形状为正方型或椭圆型。
[0019]优选的，在上述射频信号保护装置中，安装板和保护板为PVC或PE塑料板。
[0020]本实用新型的有益效果是:
[0021]1、本实用新型在拆卸、安装时，由于每根射频信号线都被射频通孔分开，彼此不会相撞，也不会再插拔时与工具相撞，提高使用寿命，降低成本。
[0022]2、本实用新型在将射频信号线拆卸完成后，需要将射频信号线放到固定位置，由于安装板和保护板都具有一定的厚度和边缘，使探针不会直接接触地面等物质，减少沾染杂物的概率，提高测试准确度。
[0023]3、本实用新型将安装板设置成中间具有凹槽的平板，将子板安装于凹槽内，增强子板与安装板连接的稳固性，不会出现脱落、连接不良、射频信号不稳定的问题，提高测试效率，更加美观、占用空间小。
[0024]4、本实用新型在安装板上设置有多个定位孔，既能保证子板快速、准确的安装到安装板上，也有利于多种对接板快速、稳定的安装到安装板上，适用于多种设备，适用性更强。
[0025]5、本实用新型将安装板设置成长度120mm、宽度90mm、高度51.6mm的长方板，以及保护板设置成长度180_、宽度115_、高度1mm的长方体板，是从稳定性、经济型的综合考虑，经过大量实验得出的一种最优值，既降低了测试座测试时，对安装板、保护板造成的晃动，进而降低射频信号线的晃动，提高测试数据的稳定性，提高测试效率和调试效率。
[0026]6、本实用新型通过在安装板和保护板上开设略大于射频信号线外径的射频通孔，用于固定射频信号线，两端稳定连接，能够有效的降低射频信号线的晃动，进一步的提高测试数据的稳定性，提高测试效率和调试效率。
[0027]7、本实用新型在安装板的凹槽的四角处分别设置有I个定位孔3，是利用工程学院里，四角对齐，子板与凹槽及对齐，对齐更加快速，无需额外的定位孔，更加规整、科学，节约成本。
【附图说明】
[0028]下面结合附图和【具体实施方式】来详细说明本实用新型:
[0029]图1是本实用新型射频信号保护装置实施例1的结构示意图。
[0030]图2是本实用新型射频信号保护装置实施例2的结构示意图。
[0031]其中，图1-2中的附图标记与部件名称之间的对应关系为:
[0032]安装板I，保护板2，定位孔3，第一射频通孔4，第二射频通孔5，子板6，母板7，小孔8，螺钉9，凹槽10。
【具体实施方式】
[0033]本实用新型的核心为提供一种射频信号保护装置，解决了射频信号线容易晃动，测试数据不稳定，测试效率低，射频信号线使用寿命短的问题。
[0034]为了使本实用新型技术实现的措施、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。
[0035]实施例1:
[0036]图1是本实用新型射频信号保护装置实施例1的结构示意图。
[0037]如图1所示，本实用新型提供了射频信号保护装置，包括:安装板I和保护板2 ;安装板1，上面具有多个定位孔3和第一射频通孔4，定位孔3用于定位、快速安装子板和对接板，第一射频通孔4用于贯穿射频信号线，第一射频通孔4的孔径略大于射频信号线的外径；保护板2，上面具有多个第二射频通孔5，第二射频通孔5数量、孔径都与第一射频通孔4的数量、孔径相等，保护板I与安装板2之间通过依次贯穿于第一射频通孔4、第二射频通孔5的射频信号线相连接。
[0038]本实施例中，安装板I为长方体，长度为100~140mm，宽度为70~110mm，高度为31.6-71.6mm ;保护板2为长方体，长度为160~200臟，宽度为95~135mm，高度为5~30mm。
[0039]实施例2:
[0040]图2是本实用新型射频信号保护装置实施例2的结构示意图。
[0041]如图2所示，在实施例1的基础上还包括:子板6和母板7，子板6上面具有与定位孔相配合使用的小孔8，子板6固定连接于安装