具有平板式偏振分光器的检测透镜面形偏差用检测装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种具有平板式偏振分光器的检测透镜面形偏差用检测装置。
【背景技术】
[0002]目前，检验抛光后的光学零件面形偏差通常采用光学样板或干涉仪检测，检验方法都是根据光的干涉原理，在光学车间检验光学零件的面形偏差，常用的方法有干涉图样法和阴影法。干涉图样法可分为接触法(即样板法)和非接触法(即干涉仪法)。
[0003]在光学车间光学镜片面形偏差检测通常采用光学样板法，而镜片下盘后出厂前的终检采用干涉仪检测法。二者都是根据光的干涉原理，通过观察到的干涉条纹的数目、形状、变化状态和颜色来确定镜片的面形偏差。样板法检测需要将待测镜片和光学样板直接接触，加压观察，这种检测方法不仅对镜片的表面光洁度造成一定程度的破坏，多次测量还会使光学样板磨损，给测量结果带来误差，造成反复返工甚至报废、大大降低了生产效率、增加了生产成本。干涉仪(以美国zego为例)属于非接触无损检测，测量精度高，但价格昂贵，而且测量范围受到标准镜头相关孔径的限制，需要多种规格的标准镜头，并且需要一定长度的导轨来实现基准面的球心从待测透镜的球面顶点移动到与被测面的球心重合，通过测量移动的距离获得待测透镜的曲率半径。干涉图不能反映曲率半径相对名义值的偏差，不适用于车间的在线检测。
[0004]专利CN201010550796 “透镜面形偏差检测装置及其方法”公开了一种小型球面干涉仪，该干涉仪使用两个完全相同的等边直角棱镜胶合而成的分光棱镜(其中一个棱镜的斜面上镀有偏振分光介质膜)，将检测光束分成透射和反射两束光，分别照射在待测镜片和光学样板上反射在接收屏上形成干涉条纹，它用于无损检验球面镜片偏差。但这种方法无法消除光源的亮斑和杂散光，采集到的干涉条纹对比度较差；且用平行光作为检测光，要求检测装置各光学元件口径较大，且光能利用率较低，产生的背景噪声较大，严重影响图像质量，使后期图像处理的误差变大。
[0005]专利200310122011.9“改进型迈克尔逊干涉仪”公开了一种分光器，该分光器是由两片完全相同的等边直角棱镜胶合而成的分光棱镜，且在胶合面上镀有一层半透半反膜，它可以实现光束的透镜和反射。它用于波长的测定，未应用到透镜的面形偏差检测。
【实用新型内容】
[0006]本实用新型所要解决的技术问题是提供一种结构设计合理、使用高效便捷的具有平板式偏振分光器的检测透镜面形偏差用检测装置。
[0007]为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是:一种具有平板式偏振分光器的检测透镜面形偏差用检测装置，包括倾斜设置的分光器，所述分光器由两块完全相同的呈平板状的玻璃胶合而成，且其中一块玻璃的胶合面镀有偏振分光介质膜，所述分光器周侧设置有激光光源以及接收屏，所述分光器与激光光源之间设置有起偏器以及激光扩束镜，所述接收屏的内侧或者外侧设置有检偏器，光学样板、待测镜片放置在所述分光器的周侦牝其中所述激光光源的出射光束与接收屏的轴线相互垂直且交点与所述分光器的中心点重合，所述待测镜片的光轴与光学样板的光轴相互垂直且交点偏离所述分光器的中心点，所述光学样板的光轴、待测镜片的光轴、激光光源的出射光束以及接收屏的轴线分别与所述分光器的镜面所夹锐角均为45度，所述分光器与待测镜片之间以及所述分光器与光学样板之间均设置有1/4波片。
[0008]进一步的，所述起偏器设置在所述分光器与激光扩束镜之间，或所述起偏器设置在所述激光扩束镜与激光光源之间。
[0009]进一步的，所述分光器的倾斜角度为45度。
[0010]进一步的，所述激光扩束镜、起偏器以及激光光源的轴线位于同一直线上。
[0011]进一步的，所述检偏器与接收屏的轴线位于同一直线上。
[0012]进一步的，所述分光器与待测镜片之间设置的1/4波片与所述待测镜片的轴线位于同一直线上，所述分光器与光学样板之间设置的1/4波片与所述光学样板的轴线位于同一直线上。
[0013]进一步的，所述光学样板上设置有压电陶瓷移相器。
[0014]与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果:(1)本实用新型采用偏振干涉的方法，使两相干光束有近似相等的光强，条纹亮度可以调节，能够抑制杂散光等光学噪声的影响，得到对比度高的干涉条纹，减少后期图像处理的误差，提高镜片检测的精度；(2)本实用新型所采用的分光器相比于立方分光器，生产工艺简单，成本低，特别适用于大口径检测系统；(3)本实用新型有效减轻装置的整体重量，使仪器更容易装配。
[0015]下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型做进一步详细的说明。
【附图说明】
[0016]图1为本实用新型实施例的构造示意图。
[0017]图2为本实用新型实施例的光路原理图。
[0018]图中:1-分光器，Ia-玻璃，Ib-胶合面，2-激光光源，3-接收屏，4-起偏器，5-激光扩束镜，6-检偏器，7-光学样板，71-光学样板基准面，8-待测镜片，81-待测镜片基准面，9-1/4波片。
【具体实施方式】
[0019]如图1~2所示，一种具有平板式偏振分光器I的检测透镜面形偏差用检测装置，包括倾斜设置的分光器1，所述分光器I由两块完全相同的呈平板状的玻璃Ia胶合而成，且其中一块玻璃Ia的胶合面Ib镀有偏振分光介质膜，所述分光器I周侧设置有激光光源2以及接收屏3，所述分光器I与激光光源2之间设置有起偏器4以及激光扩束镜5，所述接收屏3的内侧或者外侧设置有检偏器6，光学样板7、待测镜片8放置在所述分光器I的周侧，其