智能控制式扩展光源干涉仪系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种改进型的扩展光源的干涉系统，属于干涉仪领域。
【背景技术】
[0002]干涉现象是光的波动性的最严格、最有效的证明，这个现象是由于两束或多束光的重叠，使能量体密度在空间上规则分布的结果。光干涉测量方法作为检测高精密光学元件和系统的最传统、有效手段之一，已大量的应用于科学研究与工业生产之中。在实际使用过程中，现阶段干涉仪大多采用激光器作为照明光源，而激光器具有极强的时间和空间相干性，因此，在干涉检测过程中，并不需要考虑干涉腔长的限制，就可以使干涉条纹具有良好的对比度，并且随着电子与计算机技术的发展，产生的位相干涉检测技术，使测量极限由传统的λ/10提高了一个数量级以上，且具有很高的重复性。然而，正是由于激光具有的高度相干性，它虽然降低了干涉仪的使用难度，但由于光学干涉的极端灵敏性，在光学元件加工过程中产生的微观坑点等缺陷与元件表面污染所产生的散射光会发生相干叠加，在干涉图中会出现许多牛眼环或靶心等相干噪声，它们在一定程度上改变了干涉图的空间结构，从而引起了被测面面型或波前形状的测量误差。
[0003]自从Fizeau在1862年提出并应用Fizean干涉仪以来，它就在光学测量领域占据了重要的地位，尤其在70年代后，激光被广泛用做为干涉测试的光源，从此以后，Fizean型干涉仪更有了长足的迅猛发展，而且因为它具有参考光与测试光共光路的光路结构，使其对环境的干扰不敏感，因此，它在光学干涉检测中的应用长盛不衰。然而Fizean干涉仪在控制空间相干长度和抑制相干噪声方面还存在很多可以改进的地方。
【实用新型内容】
[0004]为了克服现有技术的不足，解决好现有技术的问题，弥补现有目前市场上现有产品的不足。
[0005]本实用新型提供了一种智能控制式扩展光源干涉仪系统，干涉系统主要包括激光光源、小孔光阑、扩束镜、聚焦系统、偏振片、毛玻璃、分束器、准直透镜以及成像透镜，按照激光光源的激光方向依次设置激光光源、小孔光阑、扩束镜、聚焦系统、偏振片、毛玻璃、分束器和准直透镜。
[0006]优选的，上述成像透镜对应于分束器设置，准直透镜后侧依次摆设参考镜和待测
Ho
[0007]优选的，上述成像透镜还连接有一 CXD。
[0008]优选的，上述毛玻璃为旋转毛玻璃，连接有一电机。
[0009]优选的，上述激光光源设置在一位移台上。
[0010]优选的，上述干涉仪系统还包括计算机，所述计算机分别与激光光源、偏振片、CCD和位移台连接。
[0011]本实用新型提供的智能控制式扩展光源干涉仪系统对传统的扩展光源干涉仪进行了改进，设置了可移动的位移台和计算机，实现了光源可调节以及计算机控制，大大提高了测试的精度，做到电脑的精确控制。
【附图说明】
[0012]图1为本实用新型结构示意图。
[0013]附图标记:1_激光光源；2_小孔光阑；3_扩束镜；4_聚焦透镜；5_偏振片；6_毛玻璃-J-分束器；8_准直透镜；9_参考镜；10_待测镜；11_成像透镜；12-CCD ;13_计算机；14-位移台。
【具体实施方式】
[0014]为了便于本领域普通技术人员理解和实施本实用新型，下面结合附图及【具体实施方式】对本实用新型作进一步的详细描述。
[0015]为了验证扩展光源干涉仪在控制空间相干长度和抑制相干噪声方面的作用，并提出实现上述目的的扩展光源分别形式，本实用新型对传统干涉仪的光学系统进行设计优化，分析系统中各光学元件像差所产生的干涉条纹畸变以及它所导致的干涉仪空间相干性的变化，为扩展光源干涉仪的光学系统设计提出优化准则。如图1所示，本实用新型提供的智能控制式扩展光源干涉仪系统，主要包括激光光源1、小孔光阑2、扩束镜3、聚焦系统4、偏振片5、毛玻璃6、分束器7、准直透镜8以及成像透镜11，按照激光光源I的激光方向依次设置激光光源1、小孔光阑2、扩束镜3、聚焦系统4、偏振片5、毛玻璃6、分束器7和准直透镜8，成像透镜11对应于分束器7设置，准直透镜8后侧依次摆设参考镜9和待测镜10。成像透镜11还连接有一 (XD12。毛玻璃5为旋转毛玻璃，连接有一电机。激光光源I设置在一位移台14上。干涉仪系统还包括计算机13，计算机13分别与激光光源1、偏振片5、(XD12和位移台14连接。
[0016]在设计本实用新型时，其准直系统、成像系统的视场角较小，故只需对其中心视场的各种像差进行校正即可达到比较好的使用效果。而在本实用新型中，因为其光源具有一定的角宽度，故还需校正最大光源尺寸处视场的系统各项像差。
[0017]以上所述之【具体实施方式】为本实用新型的较佳实施方式，并非以此限定本实用新型的具体实施范围，本实用新型的范围包括并不限于本【具体实施方式】，凡依照本实用新型之形状、结构所作的等效变化均在本实用新型的保护范围内。
【主权项】
1.一种智能控制式扩展光源干涉仪系统，其特征在于:所述干涉系统主要包括激光光源(I)、小孔光阑(2)、扩束镜(3)、聚焦系统(4)、偏振片(5)、毛玻璃(6)、分束器(7)、准直透镜(8)以及成像透镜(11)，按照激光光源(I)的激光方向依次设置激光光源(1)、小孔光阑(2)、扩束镜(3)、聚焦系统(4)、偏振片(5)、毛玻璃(6)、分束器(7)和准直透镜(8)。2.根据权利要求1所述的智能控制式扩展光源干涉仪系统，其特征在于:所述成像透镜(11)对应于分束器(7)设置，准直透镜⑶后侧依次摆设参考镜(9)和待测镜(10)。3.根据权利要求1或2所述的智能控制式扩展光源干涉仪系统，其特征在于:所述成像透镜(11)还连接有一 (XD(12)。4.根据权利要求3所述的智能控制式扩展光源干涉仪系统，其特征在于:所述毛玻璃(5)为旋转毛玻璃，连接有一电机。5.根据权利要求3所述的智能控制式扩展光源干涉仪系统，其特征在于:所述激光光源(I)设置在一位移台(14)上。6.根据权利要求5所述的智能控制式扩展光源干涉仪系统，其特征在于:所述干涉仪系统还包括计算机(13)，所述计算机(13)分别与激光光源(1)、偏振片(5)、CCD(12)和位移台(14)连接。
【专利摘要】本实用新型涉及一种智能控制式扩展光源干涉仪系统，主要包括激光光源(1)、小孔光阑(2)、扩束镜(3)、聚焦系统(4)、偏振片(5)、毛玻璃(6)、分束器(7)、准直透镜(8)以及成像透镜(11)，按照激光光源(1)的激光方向依次设置激光光源(1)、小孔光阑(2)、扩束镜(3)、聚焦系统(4)、偏振片(5)、毛玻璃(6)、分束器(7)和准直透镜(8)。本实用新型提供的智能控制式扩展光源干涉仪系统对传统的扩展光源干涉仪进行了改进，设置了可移动的位移台和计算机，实现了光源可调节以及计算机控制，大大提高了测试的精度，做到电脑的精确控制。
【IPC分类】G01J9/02
【公开号】CN204831570
【申请号】CN201520276833
【发明人】林永东
【申请人】林永东
【公开日】2015年12月2日
【申请日】2015年4月28日