精密测量干涉仪的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种用于测量运动物体对光速的影响的干涉仪，尤其涉及一种精密测量干涉仪，属于光学干涉设备领域。
【背景技术】
[0002]干涉现象是光的波动性的最严格、最有效的证明，这个现象是由于两束或多束光的重叠，使能量体密度在空间上规则分布的结果。光干涉测量方法作为检测高精密光学元件和系统的最传统、有效手段之一，已大量的应用于科学研究与工业生产之中。在实际使用过程中，现阶段干涉仪大多采用激光器作为照明光源，而激光器具有极强的时间和空间相干性，因此，在干涉检测过程中，并不需要考虑干涉腔长的限制，就可以使干涉条纹具有良好的对比度，并且随着电子与计算机技术的发展，产生的位相干涉检测技术，使测量极限由传统的λ/10提高了一个数量级以上，且具有很高的重复性。然而，正是由于激光具有的高度相干性，它虽然降低了干涉仪的使用难度，但由于光学干涉的极端灵敏性，在光学元件加工过程中产生的微观坑点等缺陷与元件表面污染所产生的散射光会发生相干叠加，在干涉图中会出现许多牛眼环或靶心等相干噪声，它们在一定程度上改变了干涉图的空间结构，从而引起了被测面面型或波前形状的测量误差。
【实用新型内容】
[0003]为了克服现有技术的不足，解决好现有技术的问题，弥补现有目前市场上现有产品的不足。
[0004]本实用新型提供了一种精密测量干涉仪，主要包括分光镜、补偿镜、第一反射镜、第二反射镜和透镜，所述分光镜、补偿镜和第二反射镜并排设置，所述第一反射镜与第二反射镜垂直设置，第一反射镜与分光镜对应，第一反射镜和透镜分别设置在分光镜的两侧。
[0005]优选的，光源发出的光线经过所述分光镜后分解为两光束有相等振幅或光强度的光。
[0006]优选的，经上述分光镜分解后的两束光是相干光。
[0007]优选的，上述分光镜和补偿镜与光源发出的光线形成一定的角度。
[0008]优选的，上述分光镜上贴设有半反膜。
[0009]优选的，上述第一反射镜和透镜与光源的光线方向平行，第二反射镜与光源的光线方向垂直。
[0010]本实用新型提供的精密测量干涉仪对光源的要求低，可以使用相干性较差的光源设置白光作为光源，并且该结构简单、调节和使用非常方便。
【附图说明】
[0011]图1为本实用新型结构示意图。
[0012]附图标记:1-光源；2_分光镜；3_补偿镜；4_第一反射镜；5_第二反射镜；6_透镜'7-干涉平面'A-反射光束；B-透射光束。
【具体实施方式】
[0013]为了便于本领域普通技术人员理解和实施本实用新型，下面结合附图及【具体实施方式】对本实用新型作进一步的详细描述。
[0014]如图1所示，本实用新型提供的精密测量干涉仪，主要包括分光镜2、补偿镜3、第一反射镜4、第二反射镜5和透镜6，分光镜2、补偿镜3和第二反射镜5并排设置，第一反射镜4与第二反射镜5垂直设置，第一反射镜4与分光镜2对应，第一反射镜4和透镜6分别设置在分光镜2的两侧。
[0015]光源I发出的光线经过分光镜2后分解为两光束有相等振幅或光强度的光。经分光镜2分解后的两束光是相干光。分光镜2和补偿镜3与光源I发出的光线形成一定的角度。分光镜2上贴设有半反膜。第一反射镜4和透镜6与光源I的光线方向平行，第二反射镜5与光源I的光线方向垂直。
[0016]本实用新型提供的精密测量干涉仪的工作原理是，光源I发出的光线，经分光镜2分解为反射光束A和透射光束B，使两光束有相等的振幅或光强度。反射光束A射向第一平面反射镜4后，在第一平面反射镜4反射后折回再透过分光镜2到人眼或照相物镜；光束A通过补偿镜3后入射到第二平面反射镜3上，然后自第二平面镜5反射折回通过第二平面反射镜3到分光镜2，分光镜2上的半反膜将光部分地反射到人眼或照相物镜；光束A和光束B是相干光，在干涉平面7处发生干涉形成干涉图样。由于有补偿镜3，可调节补偿镜的角度达到光束A和光束B的光程差为零。因此，本实用新型提供的干涉仪可使用相干性较差的光源，甚至用白光作为光源；反过来说，能产生白光干涉条纹的干涉仪必须处于较严格的零光程状态工作。
[0017]以上所述之【具体实施方式】为本实用新型的较佳实施方式，并非以此限定本实用新型的具体实施范围，本实用新型的范围包括并不限于本【具体实施方式】，凡依照本实用新型之形状、结构所作的等效变化均在本实用新型的保护范围内。
【主权项】
1.一种精密测量干涉仪，其特征在于:所述干涉仪主要包括分光镜(2)、补偿镜(3)、第一反射镜(4)、第二反射镜(5)和透镜(6)，所述分光镜(2)、补偿镜(3)和第二反射镜(5)并排设置，所述第一反射镜(4)与第二反射镜(5)垂直设置，第一反射镜(4)与分光镜(2)对应，第一反射镜(4)和透镜(6)分别设置在分光镜(2)的两侧。2.根据权利要求1所述的精密测量干涉仪，其特征在于:光源(I)发出的光线经过所述分光镜(2)后分解为两光束有相等振幅或光强度的光。3.根据权利要求2所述的精密测量干涉仪，其特征在于:经所述分光镜(2)分解后的两束光是相干光。4.根据权利要求2所述的精密测量干涉仪，其特征在于:所述分光镜(2)和补偿镜(3)与光源(I)发出的光线形成一定的角度。5.根据权利要求1或2所述的精密测量干涉仪，其特征在于:所述分光镜(2)上贴设有半反膜。6.根据权利要求2所述的精密测量干涉仪，其特征在于:所述第一反射镜(4)和透镜(6)与光源(I)的光线方向平行，第二反射镜(5)与光源(I)的光线方向垂直。
【专利摘要】本实用新型涉及一种精密测量干涉仪，主要包括分光镜(2)、补偿镜(3)、第一反射镜(4)、第二反射镜(5)和透镜(6)，所述分光镜(2)、补偿镜(3)和第二反射镜(5)并排设置，所述第一反射镜(4)与第二反射镜(5)垂直设置，第一反射镜(4)与分光镜(2)对应，第一反射镜(4)和透镜(6)分别设置在分光镜(2)的两侧。本实用新型提供的精密测量干涉仪对光源的要求低，可以使用相干性较差的光源设置白光作为光源，并且该结构简单、调节和使用非常方便。
【IPC分类】G01B9/02
【公开号】CN204881511
【申请号】CN201520278051
【发明人】林燕彬
【申请人】林燕彬
【公开日】2015年12月16日
【申请日】2015年4月28日