一种晶片测试防护装置的制造方法

文档序号:10015572阅读:152来源:国知局
一种晶片测试防护装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及晶片测试,特别是一种晶片测试防护装置。
【背景技术】
[0002]随着电子设备的发展,电子设备基本上都是通过晶片来进行导通或传送信号,而且为了市场的需求,晶片基本上都是小型板状,因此晶片上的触电小,在测试时,需要保证与探针的接触精度,而在现有的晶片测试中,晶片通常都是裸露在空气中进行测试,因此晶片在测试时,空气中的粉尘很容易吸附在晶片的测试面上,因有些粉尘具有导电作用,因此很容易影响晶片的测试效果,而且粉尘吸附在探针的表面,也很容易造成探针使用寿命缩短,从而提高测试成本。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的在于克服现有技术的缺点,提供一种能持续提供洁净环境、测试精度高和使用寿命长的晶片测试防护装置。
[0004]本实用新型的目的通过以下技术方案来实现:一种晶片测试防护装置,它包括导电基座、罩体和升降台,所述导电基座上设置有探针卡,所述的罩体设在所述导电基座外围,在罩体上开设有一电缆引出口,电缆引出口内设置有使测试设备与探针卡连接的电缆,其特征在于:所述的电缆引出口设置有一用以密封电缆的弹性密封圈,所述的罩体内部安装有一粉尘检测器,粉尘检测器与测试设备电连接,在罩体上开设有一吸口,吸口通过管道连接有一抽真空装置,所述的升降台包括升降气缸和晶片放置平台,晶片放置平台上设置有多个用以吸住晶片的吸盘。
[0005]所述的导电基座为导电橡胶底座。
[0006]所述的罩体的侧面位置设置有观测门和旋转把手。
[0007]所述的罩体的顶部内设置有电缆固定支架,电缆固定支架上开设有多个电缆导向孔。
[0008]所述的罩体的内表面设置有电缆导向支架,电缆导向支架上开设有导向过孔,电缆穿过导向过孔。
[0009]本实用新型具有以下优点:本实用新型的晶片测试防护罩,设置有粉尘检测仪和抽真空装置,能够随时对罩体内的粉尘度进行检测,并且对罩体内的粉尘进行清理,从而为晶片的测试提供了一持续洁净的安全环境,从而避免了粉尘对晶片测试效果的影响,提高了晶片参数的测试精度,减少了晶片的报废;同时也避免了粉尘吸附在探测针上,从而保证了探测针的使用寿命。
【附图说明】
[0010]图1为本实用新型的结构示意图
[0011]图2为升降台的俯视不意图
[0012]图中,1-导电基座,2-罩体,3-升降台,4-探针卡,5-电缆引出口,6_测试设备,7-电缆,8-弹性密封圈,9-粉尘检测器,10-吸口,11-抽真空装置,12-升降气缸,13-晶片放置平台,14-吸盘,15-电缆固定支架,16-电缆导向支架。
【具体实施方式】
[0013]下面结合附图对本实用新型做进一步的描述,本实用新型的保护范围不局限于以下所述:
[0014]如图1所示,一种晶片测试防护装置,它包括导电基座1、罩体2和升降台3,所述导电基座I上设置有探针卡4,所述的罩体2设在所述导电基座I外围,在本实施例中,所述的导电基座I为导电橡胶底座,在罩体2上开设有一电缆引出口 5,电缆引出口 5内设置有使测试设备6与探针卡4连接的电缆7,所述的电缆引出口 5设置有一用以密封电缆7的弹性密封圈8,弹性密封圈8将电缆与电缆引出口 5之间的间隙密封,保证了屏蔽效果,同时避免光和粉尘从电缆引出口 5进入到罩体内,所述的罩体2内部安装有一粉尘检测器9,粉尘检测器9与测试设备6电连接,在罩体2上开设有一吸口 10,吸口 10通过管道连接有一抽真空装置11,粉尘检测器9可在线检测罩体2内的粉尘度,当检测到粉尘超标后,测试设备停止测试,并且将其信号传送给抽真空装置,抽真空装置启动,将罩体2内的粉尘吸走,从而保证晶片在测试时,罩体2内的粉尘度处于达标状态,从而避免了粉尘影响晶片的测试效果,当所述的升降台3包括升降气缸12和晶片放置平台13,晶片放置平台13上设置有多个用以吸住晶片的吸盘14。
[0015]在本实施例中,所述的罩体2的侧面位置设置有观测门和旋转把手,图1中未画出,通过旋转把手实现打开或闭合所述观测门,在本实施例中,观测门可以是左右旋转式的,也可以是上下旋转式的。
[0016]本实施例中,所述的罩体2的顶部内设置有电缆固定支架15,电缆固定支架15上开设有多个电缆导向孔,以使所述电缆7穿过电缆固定支架15,设置的多个电缆导向孔,从而使得多根电缆7能够分别从一电缆导向孔中穿出,避免电缆打结,也可便于电缆理顺,从而为线路的检修提供便利。
[0017]在本实施例中,为了将电缆7有序的从罩体2中引出到外部测试设备的接口,所述的罩体2的内表面设置有电缆导向支架16,电缆导向支架16上开设有导向过孔,电缆7穿过导向过孔,从而使得电缆7处于捆扎状态,避免了电缆散乱排列。
[0018]本实用新型的工作过程如下:将晶片放置在晶片放置平台13上,吸盘14吸住晶片,然后升降气缸12工作,使得晶片位于导电基座I下方并使晶片上的待测点与探针卡4接触,从而使得晶片与测试设,6电连接,测试设备6开始测试,测试完毕后,升降气缸12下行,吸盘14释放晶片,可通过人工或者机械手将晶片取出,在测试前,粉尘检测器9要对罩体2内的粉尘度进出检测,当检测到粉尘超标后,测试设备停止测试,并且将其信号传送给抽真空装置,抽真空装置启动,将罩体2内的粉尘吸走,罩体2内的粉尘度处于达标状态,从而避免了粉尘影响晶片的测试效果,保证了晶片的测试精准度。
【主权项】
1.一种晶片测试防护装置,它包括导电基座(1)、罩体(2)和升降台(3),所述导电基座(I)上设置有探针卡(4 ),所述的罩体(2 )设在所述导电基座(I)外围,在罩体(2 )上开设有一电缆引出口(5),电缆引出口(5)内设置有使测试设备(6 )与探针卡(4 )连接的电缆(7 ),其特征在于:所述的电缆引出口(5)设置有一用以密封电缆(7)的弹性密封圈(8),所述的罩体(2)内部安装有一粉尘检测器(9),粉尘检测器(9)与测试设备(6)电连接,在罩体(2)上开设有一吸口(10),吸口(10)通过管道连接有一抽真空装置(11),所述的升降台(3)包括升降气缸(12)和晶片放置平台(13),晶片放置平台(13)上设置有多个用以吸住晶片的吸盘(14)。2.根据权利要求1所述的一种晶片测试防护装置,其特征在于:所述的导电基座(I)为导电橡胶底座。3.根据权利要求1所述的一种晶片测试防护装置,其特征在于:所述的罩体(2)的侧面位置设置有观测门和旋转把手。4.根据权利要求1所述的一种晶片测试防护装置,其特征在于:所述的罩体(2)的顶部内设置有电缆固定支架(15),电缆固定支架(15)上开设有多个电缆导向孔。5.根据权利要求1所述的一种晶片测试防护装置,其特征在于:所述的罩体(2)的内表面设置有电缆导向支架(16),电缆导向支架(16)上开设有导向过孔,电缆(7)穿过导向过孔。
【专利摘要】本实用新型公开了一种晶片测试防护装置,它包括导电基座(1)、罩体(2)和升降台(3),导电基座上(1)设置有探针卡(4),罩体(2)设在导电基座(1)外围,在罩体(2)上开设有一电缆引出口(5),电缆引出口(5)内设置有电缆(7),电缆引出口(5)设置有弹性密封圈(8),罩体(2)内部安装有一粉尘检测器(9),在罩体(2)上开设有一吸口(10),吸口(10)通过管道连接有一抽真空装置(11),升降台(3)包括升降气缸(12)和晶片放置平台(13),晶片放置平台(13)上设置有吸盘(14)。本实用新型的有益效果是:它具有能持续提供洁净环境、测试精度高和使用寿命长的优点。
【IPC分类】G01R1/04, G01R31/00
【公开号】CN204925175
【申请号】CN201520645596
【发明人】吴峰
【申请人】四川芯联发电子股份有限公司
【公开日】2015年12月30日
【申请日】2015年8月25日
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