准单色扩展光源相干调节式干涉系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种了利用液晶空间光调制器(空间光调制器)和旋转毛玻璃构成扩展光源的干涉仪，属于干涉仪领域。
【背景技术】
[0002]干涉现象是光的波动性的最严格、最有效的证明，这个现象是由于两束或多束光的重叠，使能量体密度在空间上规则分布的结果。光干涉测量方法作为检测高精密光学元件和系统的最传统、有效手段之一，已大量的应用于科学研究与工业生产之中。在实际使用过程中，现阶段干涉仪大多采用激光器作为照明光源，而激光器具有极强的时间和空间相干性，因此，在干涉检测过程中，并不需要考虑干涉腔长的限制，就可以使干涉条纹具有良好的对比度，并且随着电子与计算机技术的发展，产生的位相干涉检测技术，使测量极限由传统的λ/10提高了一个数量级以上，且具有很高的重复性。然而，正是由于激光具有的高度相干性，它虽然降低了干涉仪的使用难度，但由于光学干涉的极端灵敏性，在光学元件加工过程中产生的微观坑点等缺陷与元件表面污染所产生的散射光会发生相干叠加，在干涉图中会出现许多牛眼环或靶心等相干噪声，它们在一定程度上改变了干涉图的空间结构，从而引起了被测面面型或波前形状的测量误差。
【实用新型内容】
[0003]为了克服现有技术的不足，解决好现有技术的问题，弥补现有目前市场上现有产品的不足。
[0004]本实用新型提供了一种准单色扩展光源相干调节式干涉系统，主要包括激光器、扩束镜、空间光调制器、偏振片、第一透镜、第二透镜、毛玻璃、第三透镜、分光镜、平面反射镜和准直镜构成，所述偏振片设置在空间光调制器的后侧，所述扩束镜设置在激光器和空间光调制器之间。
[0005]优选的，上述第一透镜和第二透镜之间设置由小孔光阑。
[0006]优选的，按照激光光线的方向依次设置激光器、扩束镜、空间光调制器、第一透镜、第二透镜、毛玻璃、第三透镜和分光镜，待测镜设置在分光镜的后侧。
[0007]优选的，上述毛玻璃为旋转毛玻璃，配设连接有一马达。
[0008]优选的，上述干涉系统还包括(XD，所述(XD设置在准直镜后侧。
[0009]本实用新型提供的准单色扩展光源相干调节式干涉系统实现了准单色扩展光源的空间相干长度调节，从而可以获得对比度最佳的被测面干涉条纹。
【附图说明】
[0010]图1为本实用新型结构示意图。
[0011]附图标记:1_激光器；2_扩束镜；3_空间光调制器；4_偏振片；5-第一透镜；6-小孔光阑；7_第二透镜；8_毛玻璃；9_第三透镜；10_分光镜；11_待测镜；12_平面反射镜； 13-准直镜；14-CCD ; 15-马达。
【具体实施方式】
[0012]为了便于本领域普通技术人员理解和实施本实用新型，下面结合附图及【具体实施方式】对本实用新型作进一步的详细描述。
[0013]如图1所示，本实用新型提供的准单色扩展光源相干调节式干涉系统，主要包括激光器1、扩束镜2、空间光调制器3、偏振片4、第一透镜5、第二透镜7、毛玻璃8、第三透镜9、分光镜10、平面反射镜12和准直镜13构成，偏振片4设置在空间光调制器3的后侧，扩束镜2设置在激光器1和空间光调制器3之间。其中，平面反射镜12和准直镜13的法线方向与激光器1的出射激光方向互相垂直，分别设置在分光镜10的两侧。
[0014]第一透镜5和第二透镜7之间设置由小孔光阑6。按照激光光线的方向依次设置激光器1、扩束镜2、空间光调制器3、第一透镜5、第二透镜7、毛玻璃8、第三透镜9和分光镜10，待测镜11设置在分光镜10的后侧。毛玻璃8为旋转毛玻璃，配设连接有一马达15。
[0015]此外干涉系统还包括(XD14，(XD14设置在准直镜13后侧。
[0016]本实用新型利用液晶空间光调制器3和旋转毛玻璃8构成扩展光源的干涉系统，系统构成如图1所示。激光器1出射线偏振光，经扩束镜2后照射于空间光调制器3上。加载着菲涅尔波带板图样的空间光调制器3和其后的偏振片4将激光光束进行调制，经透镜组(第一透镜5和第二透镜7)成像在旋转毛玻璃8上，被照明的毛玻璃8即成为了可调扩展光源激光器。
[0017]改变空间调制器3上的波带板半径会使干涉仪的空间相干性发生变化，当波带板半径为1_时，出现第一个相干度极大值。
[0018]本实用新型提供的准单色扩展光源相干调节式干涉系统实现了准单色扩展光源的空间相干长度调节，从而可以获得对比度最佳的被测面干涉条纹。
[0019]以上所述之【具体实施方式】为本实用新型的较佳实施方式，并非以此限定本实用新型的具体实施范围，本实用新型的范围包括并不限于本【具体实施方式】，凡依照本实用新型之形状、结构所作的等效变化均在本实用新型的保护范围内。
【主权项】
1.一种准单色扩展光源相干调节式干涉系统，其特征在于:所述干涉系统主要包括激光器(1)、扩束镜(2)、空间光调制器(3)、偏振片(4)、第一透镜(5)、第二透镜(7)、毛玻璃(8)、第三透镜(9)、分光镜(10)、平面反射镜(12)和准直镜(13)构成，所述偏振片(4)设置在空间光调制器⑶的后侧，所述扩束镜⑵设置在激光器⑴和空间光调制器⑶之间，按照激光光线的方向依次设置激光器(1)、扩束镜(2)、空间光调制器(3)、第一透镜(5)、第二透镜(7)、毛玻璃(8)、第三透镜(9)和分光镜(10)，待测镜(11)设置在分光镜(10)的后侧，平面反射镜(12)和准直镜(13)的法线方向与激光器(1)的出射激光方向互相垂直，分别设置在分光镜(10)的两侧。2.根据权利要求1所述的准单色扩展光源相干调节式干涉系统，其特征在于:所述第一透镜(5)和第二透镜(7)之间设置由小孔光阑(6)。3.根据权利要求2所述的准单色扩展光源相干调节式干涉系统，其特征在于:所述毛玻璃(8)为旋转毛玻璃，配设连接有一马达(15)。4.根据权利要求1-3之一所述的准单色扩展光源相干调节式干涉系统，其特征在于:所述干涉系统还包括CCD(14)，所述CCD(14)设置在准直镜(13)后侧。
【专利摘要】本实用新型涉及一种准单色扩展光源相干调节式干涉系统，主要包括激光器(1)、扩束镜(2)、空间光调制器(3)、偏振片(4)、第一透镜(5)、第二透镜(7)、毛玻璃(8)、第三透镜(9)、分光镜(10)、平面反射镜(12)和准直镜(13)构成，所述偏振片(4)设置在空间光调制器(3)的后侧，所述扩束镜(2)设置在激光器(1)和空间光调制器(3)之间。本实用新型提供的准单色扩展光源相干调节式干涉系统实现了准单色扩展光源的空间相干长度调节，从而可以获得对比度最佳的被测面干涉条纹。
【IPC分类】G01B9/02
【公开号】CN205066682
【申请号】CN201520276427
【发明人】林永东
【申请人】林永东
【公开日】2016年3月2日
【申请日】2015年4月28日