两镜面干涉腔干涉仪的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种由两镜面构成干涉腔的共光路干涉仪，用于光学平面检测，属于干涉仪领域。
【背景技术】
[0002]干涉现象是光的波动性的最严格、最有效的证明，这个现象是由于两束或多束光的重叠，使能量体密度在空间上规则分布的结果。光干涉测量方法作为检测高精密光学元件和系统的最传统、有效手段之一，已大量的应用于科学研究与工业生产之中。在实际使用过程中，现阶段干涉仪大多采用激光器作为照明光源，而激光器具有极强的时间和空间相干性，因此，在干涉检测过程中，并不需要考虑干涉腔长的限制，就可以使干涉条纹具有良好的对比度，并且随着电子与计算机技术的发展，产生的位相干涉检测技术，使测量极限由传统的λ/10提高了一个数量级以上，且具有很高的重复性。然而，正是由于激光具有的高度相干性，它虽然降低了干涉仪的使用难度，但由于光学干涉的极端灵敏性，在光学元件加工过程中产生的微观坑点等缺陷与元件表面污染所产生的散射光会发生相干叠加，在干涉图中会出现许多牛眼环或靶心等相干噪声，它们在一定程度上改变了干涉图的空间结构，从而引起了被测面面型或波前形状的测量误差。
[0003]不管是Michelson干涉仪还是Mach-Zehnder干涉仪，都是双光束双通路干涉仪，干涉条纹的强度呈余弦调制分布，所以干涉条纹并不锐利，这在实际应用中有时不能满足测量要求。
【实用新型内容】
[0004]为了克服现有技术的不足，解决好现有技术的问题，弥补现有目前市场上现有产品的不足。
[0005]本实用新型提供了一种两镜面干涉腔干涉仪，主要包括激光器、透镜、分束镜、准直镜、平面镜和反射镜，按照激光光路的方向依次设置激光器、透镜、分束镜、准直镜、平面镜和反射镜，所述待测元件设置在平面镜和反射镜之间。
[0006]优选的，上述激光器为栗浦激光器。
[0007]优选的，上述干涉仪还包括接收屏幕，所述接收屏幕与分束镜对应设置，接收来自分束镜折射和反射的光线。
[0008]优选的，上述平面镜镀有膜，镀膜层的反射率为30%。
[0009]优选的，上述反射镜为全反镜。
[0010]本实用新型提供的两镜面干涉腔干涉仪通过两镜面构成的干涉腔共光路设计方式，可以用于光学元件尤其是用于光学平面检测，检测精度高，并且可以根据待测元件进行调整，具有很强的适应性。
【附图说明】
[0011]图1为本实用新型结构示意图。
[0012]附图标记:1_激光器；2-透镜；3_分束镜；4_准直镜；5_平面镜；6_反射镜；7-接收屏幕；8-待测元件。
【具体实施方式】
[0013]为了便于本领域普通技术人员理解和实施本实用新型，下面结合附图及【具体实施方式】对本实用新型作进一步的详细描述。
[0014]如图1所示，本实用新型提供的两镜面干涉腔干涉仪，主要包括激光器1、透镜2、分束镜3、准直镜4、平面镜5和反射镜6，按照激光光路的方向依次设置激光器1、透镜2、分束镜3、准直镜4、平面镜5和反射镜6，待测元件8设置在平面镜5和反射镜6之间。其中，激光器1为栗浦激光器。
[0015]此外，干涉仪还包括接收屏幕7，接收屏幕7与分束镜3对应设置，接收来自分束镜3折射和反射的光线。平面镜5镀有膜，镀膜层的反射率为30%。反射镜6为全反镜。
[0016]本实用新型提供的两镜面干涉腔干涉仪，是由两镜面构成干涉腔的共光路干涉仪，其用于光学平面检测的型式如图1所示，其中平面镜5的镜镀膜层反射率为30%，反射镜6为全反镜，平面镜5和反射镜6两镀膜面形成楔形镜的等厚干涉。作为基准的平面样板可加工成楔形板或在下表面镀膜以减少上表面的附加干涉效应。待测平面置于基准平面的后方，准直光束投射到由基准平面和被测面构成的楔形空气隙，两表面反射光逆原光路返回，经分光镜3到达观察屏，即可看到被测面和基准面之间的干涉条纹，从条纹的弯曲形状可判断出被测面的面型。在进行透过检验时，后表面反射产生的鬼像可以用多模激光器来去除(使参考面和被测面的距离等于激光器腔长的整数倍)，也可以使用可调光源和相移算法来抑制有害的干涉。
[0017]以上所述之【具体实施方式】为本实用新型的较佳实施方式，并非以此限定本实用新型的具体实施范围，本实用新型的范围包括并不限于本【具体实施方式】，凡依照本实用新型之形状、结构所作的等效变化均在本实用新型的保护范围内。
【主权项】
1.一种两镜面干涉腔干涉仪，其特征在于:所述两镜面干涉腔干涉仪主要包括激光器(1)、透镜(2)、分束镜(3)、准直镜(4)、平面镜(5)和反射镜￠)，按照激光光路的方向依次设置激光器(1)、透镜(2)、分束镜(3)、准直镜(4)、平面镜(5)和反射镜￠)，待测元件(8)设置在平面镜(5)和反射镜(6)之间。2.根据权利要求1所述的两镜面干涉腔干涉仪，其特征在于:所述激光器(1)为栗浦激光器。3.根据权利要求1所述的两镜面干涉腔干涉仪，其特征在于:所述干涉仪还包括接收屏幕(7)，所述接收屏幕(7)与分束镜(3)对应设置，接收来自分束镜(3)折射和反射的光线。4.根据权利要求1所述的两镜面干涉腔干涉仪，其特征在于:所述平面镜(5)镀有膜，镀膜层的反射率为30%。5.根据权利要求1所述的两镜面干涉腔干涉仪，其特征在于:所述反射镜(6)为全反镜。
【专利摘要】本实用新型涉及一种两镜面干涉腔干涉仪，主要包括激光器(1)、透镜(2)、分束镜(3)、准直镜(4)、平面镜(5)和反射镜(6)，按照激光光路的方向依次设置激光器(1)、透镜(2)、分束镜(3)、准直镜(4)、平面镜(5)和反射镜(6)，所述待测元件(8)设置在平面镜(5)和反射镜(6)之间。本实用新型提供的两镜面干涉腔干涉仪通过两镜面构成的干涉腔共光路设计方式，可以用于光学元件尤其是用于光学平面检测，检测精度高，并且可以根据待测元件进行调整，具有很强的适应性。
【IPC分类】G01B11/30, G01B9/02
【公开号】CN205066683
【申请号】CN201520278018
【发明人】林燕彬
【申请人】林燕彬
【公开日】2016年3月2日
【申请日】2015年4月28日