一种石墨烯加速度传感器的制造方法
【技术领域】
[0001 ]本实用新型涉及一种石墨烯加速度传感器。
【背景技术】
[0002]随着电子机械系统研究的深入及电子设备的智能化，各种类型的传感器得到极大发展。加速度传感器广泛应用于运动系统监测和控制，其种类很多，最主要的是电容式加速度传感器。现有公开的专利如ZL2010202554428公开的《电容式加速度传感器》，它包括测量电极组、配重电极以及电容测量接口电路，这种加速度传感器存在的缺陷在于:结构偏复杂，成本高，而且不能测量微小加速度。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的是提供一种能够测量微小加速度，且制作成本低，结构简单的石墨稀加速度传感器。
[0004]实现本实用新型目的的技术方案是一种石墨烯加速度传感器，包括壳体、石墨烯膜、配重块和电极;所述石墨烯膜和配重块悬空设置在壳体内部，配重块放置在石墨烯膜上;所述电极设置在壳体的外部，包括连接石墨烯膜的第一电极、连接壳体的上壳的第二电极和连接壳体的下壳的第三电极。
[0005]所述石墨烯膜通过石墨烯膜固定边框悬空设置在壳体内部。
[0006]所述壳体上设置抽气孔;所述抽气孔处设置密封塞。
[0007]所述壳体的上壳上设置可开闭的配重块更换窗;或者上壳为可开闭式结构。
[0008]所述配重块粘在石墨烯膜上。
[0009]—种石墨烯加速度传感器还包括连接电极的引出导线以及与引出导线连接的主控机。
[0010]所述上壳和下壳为硅片。
[0011]采用了上述技术方案，本实用新型具有以下的有益效果:(1)本实用新型充分利用石墨烯膜的高灵敏度，将配重块放在石墨烯膜上，通过电极测量运动中上壳与石墨烯膜之间的电容、石墨烯膜与下壳之间的电容的变化，就可以计算出加速度，结构简单，而且由于石墨烯灵敏度高，因此可以测量出非常微小的加速度。
[0012](2)本实用新型设置抽气孔，可以通过抽气使得壳体内部为真空状态，这样的测量更加准确。
[0013](3)本实用新型还设置有可以更换配重块的结构，这样可以根据需要更换不同标准重量的配重块，适应性更广。
[0014](4)本实用新型还可以自带主控机，做成便携式的加速度传感器。
[0015](5)本实用新型能提高传统的加速度传感器的灵敏度和响应速度。
【附图说明】
[0016]为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中
[0017]图1为本实用新型的结构不意图。
[0018]附图中标号为:
[0019]壳体1、上壳11、下壳12、石墨烯膜2、配重块3、电极4、第一电极41、第二电极42、第三电极43、石墨稀膜固定边框5。
【具体实施方式】
[0020](实施例1)
[0021 ]见图1，本实施例的一种石墨烯加速度传感器，包括壳体1、石墨烯膜2、配重块3、电极4和石墨烯膜固定边框5;石墨烯膜2通过石墨烯膜固定边框5悬空设置在壳体1内部，配重块3放置在石墨烯膜2上；电极4设置在壳体1的外部，包括连接石墨烯膜2的第一电极41、连接壳体1的上壳11的第二电极42和连接壳体1的下壳12的第三电极43。壳体1上设置抽气孔；抽气孔处设置密封塞。为了便于更换配重块3，壳体1的上壳11上设置可开闭的配重块更换窗，上壳11和下壳12为硅片。
[0022]测量传感器加速运动时的上壳11和石墨烯膜2之间的电容，以及下壳12和石墨烯膜2之间的电容的变化量，从已知的配重块3的重量参数，既可以测算出配重的加速度。
[0023]以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种石墨烯加速度传感器，其特征在于:包括壳体(1)、石墨烯膜(2)、配重块(3)和电极(4);所述石墨烯膜(2)和配重块(3)悬空设置在壳体(1)内部，配重块(3)放置在石墨烯膜(2)上;所述电极(4)设置在壳体(1)的外部，包括连接石墨烯膜(2)的第一电极(41)、连接壳体(1)的上壳(11)的第二电极(42)和连接壳体(1)的下壳(12)的第三电极(43)。2.根据权利要求1所述的一种石墨烯加速度传感器，其特征在于:所述石墨烯膜(2)通过石墨烯膜固定边框(5)悬空设置在壳体(1)内部。3.根据权利要求1或2所述的一种石墨烯加速度传感器，其特征在于:所述壳体(1)上设置抽气孔;所述抽气孔处设置密封塞。4.根据权利要求3所述的一种石墨烯加速度传感器，其特征在于:所述壳体(1)的上壳(11)上设置可开闭的配重块更换窗;或者上壳(11)为可开闭式结构。5.根据权利要求4所述的一种石墨烯加速度传感器，其特征在于:所述配重块(3)粘在石墨烯膜(2)上。6.根据权利要求5所述的一种石墨烯加速度传感器，其特征在于:还包括连接电极的引出导线以及与引出导线连接的主控机。7.根据权利要求6所述的一种石墨烯加速度传感器，其特征在于:所述上壳(11)和下壳(12)为硅片。
【专利摘要】本实用新型公开了一种石墨烯加速度传感器，包括壳体、石墨烯膜、配重块和电极；所述石墨烯膜和配重块悬空设置在壳体内部，配重块放置在石墨烯上；所述电极设置在壳体的外部，包括连接石墨烯膜的第一电极、连接壳体的上壳的第二电极和连接壳体的下壳的第三电极。本实用新型充分利用石墨烯膜的高灵敏度，将配重块放在石墨烯膜上，通过电极测量运动中上壳与石墨烯膜之间的电容、石墨烯膜与下壳之间的电容的变化，就可以计算出加速度，结构简单，而且由于石墨烯灵敏度高，因此可以测量出非常微小的加速度。
【IPC分类】G01P15/125
【公开号】CN205067524
【申请号】CN201520897004
【发明人】金虎, 尉长虹
【申请人】常州二维光电科技有限公司
【公开日】2016年3月2日
【申请日】2015年11月11日