桥梁式微动传感器和生理信号采集垫的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及到微动信号采集领域，特别是涉及到一种桥梁式微动传感器和生理信号采集垫。
【背景技术】
[0002]悬梁式微动传感器一种可以采集微动信号的传感器，其结构包括桡性横梁、压电薄膜和支架，桡性横梁的一端固定在支架上，另一端悬空，支架上还设置一支点，该支点接触桡性横梁，压电薄膜紧贴于桡性横梁朝向支点的一侧。当支点受力时，会压迫桡性横梁，桡性横梁会向支点相反的方向弯曲，从而会拉扯压电薄膜，压电薄膜产生电信号。比较而言，悬梁式微动传感器的桡性横梁弯曲时，其主要弯折处靠近于桡性横梁的根部，即桡性横梁的固定端，所以压电薄膜拉伸形变不均匀，所以存在信号失真的情况；压电薄膜形变量小，所以有采集灵敏度低和精度低等问题。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的主要目的为了提供一种压电薄膜拉伸形变均匀、拉伸形变量大的桥梁式微动传感器。
[0004]为了实现上述发明目的，本实用新型提出一种桥梁式微动传感器，包括桡性横梁、支架、压电薄膜和信号处理电路，信号处理电路连接所述压电薄膜；
[0005]所述支架包括硬质的上盖和下盖，上盖和下盖之间设有活动间隙，所述桡性横梁设置于所述间隙中；所述下盖朝向桡性横梁的一侧设置下支点，所述下支点与所述桡性横梁接触；所述上盖朝向桡性横梁的一侧设置上支点，所述上支点与所述桡性横梁接触；所述上支点和下支点将桡性横梁悬空支撑于上盖和下盖之间；
[0006]当上支点与下支点在垂直于上盖和下盖方向处于同一平面上时，所述上支点至少设置一个，下支点至少设置两个，每一个上支点位于两个下支点之间；或者，当上支点与下支点未全部位于同一平面上时，所述上支点至少设置一个，下支点至少设置三个，每一个上支点设置于三个或三个以上下支点围成的区域内；
[0007]所述桡性横梁朝向下盖的一面和/或与该面连接的侧面上紧贴压电薄膜；或者，在桡性横梁内部设置平行于桡性横梁的压电薄膜。
[0008]进一步地，所述间隙处填充一个连接上盖和下盖的柔性材料支撑体，该柔性支撑体平行于上盖和下盖，并环绕桡性横梁设置。
[0009]进一步地，所述间隙处填充至少两个连接上盖和下盖的柔性材料支撑体，该至少两个柔性支撑体均匀环绕桡性横梁设置。
[0010]进一步地，所述桥梁式微动传感器还包括PCB板，所述信号处理电路集成于所述PCB板上。
[0011 ] 进一步地，所述PCB板设置于下盖，所述下支点贯穿所述PCB板与所述桡性横梁接触。
[0012]进一步地，所述PCB板被下支点贯穿处，PCB板与桡性横梁之间设置垫片。
[0013]进一步地，所述至少一个下支点与所述烧性横梁固定连接。
[0014]进一步地，当上支点与下支点全部位于同一平面上时，所述上支点的数量比下支点的数量少一个，每两个下支点之间的中间位置对应设置一个上支点。
[0015]进一步地，所述上支点与下支点未全部位于同一平面上时，每一个上支点设置于三个或三个以上下支点围城的区域内的中心位置。
[0016]本实用新型还提供一种生理信号采集垫，包括垫体和设置于垫体内的桥梁式微动传感器；
[0017]所述桥梁式微动传感器，包括桡性横梁、支架、压电薄膜和信号处理电路，信号处理电路连接所述压电薄膜；
[0018]所述支架包括硬质的上盖和下盖，上盖和下盖之间设有活动间隙，所述桡性横梁设置于所述间隙中；所述下盖朝向桡性横梁的一侧设置下支点，所述下支点与所述桡性横梁接触；所述上盖朝向桡性横梁的一侧设置上支点，所述上支点与所述桡性横梁接触；所述上支点和下支点将桡性横梁悬空支撑于上盖和下盖之间；
[0019]当上支点与下支点在垂直于上盖和下盖方向处于同一平面上时，所述上支点至少设置一个，下支点至少设置两个，每一个上支点位于两个下支点之间；或者，当上支点与下支点未全部位于同一平面上时，所述上支点至少设置一个，下支点至少设置三个，每一个上支点设置于三个或三个以上下支点围成的区域内；
[0020]所述桡性横梁朝向下盖的一面和/或与该面连接的侧面上紧贴压电薄膜；或者，在桡性横梁内部设置平行于桡性横梁的压电薄膜。
[0021]进一步地，所述间隙处填充一个连接上盖和下盖的柔性材料支撑体，该柔性支撑体平行于上盖和下盖，并环绕桡性横梁设置。
[0022]进一步地，所述间隙处填充至少两个连接上盖和下盖的柔性材料支撑体，该至少两个柔性支撑体均匀环绕桡性横梁设置。
[0023]进一步地，所述桥梁式微动传感器还包括PCB板，所述处理电路信号处理电路集成于所述PCB板上。
[0024]进一步地，所述PCB板设置于下盖，所述下支点贯穿所述PCB板与所述桡性横梁接触。
[0025]进一步地，所述PCB板被下支点贯穿处，PCB板与桡性横梁之间设置垫片。
[0026]进一步地，所述至少一个下支点与所述烧性横梁固定连接。
[0027]进一步地，当上支点与下支点全部位于同一平面上时，所述上支点的数量比下支点的数量少一个，每两个下支点之间的中间位置对应设置一个上支点。
[0028]进一步地，所述上支点与下支点未全部位于同一平面上时，每一个上支点设置于三个或三个以上下支点围城的区域内的中心位置。
[0029]本实用新型的桥梁式微动传感器，上盖和下盖相对运动，从而使上支点压迫对应两个下支点之间的桡性横梁弯曲，或者，压迫三个或三个下支点围成区域凹陷，桡性横梁的形变均匀，使在桡性横梁朝向下支点的一侧或内部设置的压电薄膜均匀拉伸形变；而且同样的压力，压电薄膜的拉伸量是悬梁式微动传感器中压电薄膜拉伸量的一倍或更多，提高微动传感器的精度和灵敏度。而安装有上述桥梁式微动传感器的生理信号采集垫具有采集灵敏和准确的特点。
【附图说明】
[0030]图1为本实用新型一实施例的桥梁式微动传感器的截面示意图；
[0031]图2a为本实用新型一实施例的桥梁式微动传感器的上支点、下支点和桡性横梁接触的位置设置示意图；
[0032]图2b为本实用新型一实施例的桥梁式微动传感器的上支点、下支点和桡性横梁接触的位置设置示意图；
[0033]图2c为本实用新型一实施例的桥梁式微动传感器的上支点、下支点和桡性横梁接触的位置设置示意图；
[0034]图2d为本实用新型一实施例的桥梁式微动传感器的上支点、下支点和桡性横梁接触的位置设置示意图；
[0035]图3为本实用新型另一实施例的桥梁式微动传感器的截面示意图
[0036]图4为本实用新型又一实施例的桥梁式微动传感器的截面示意图；
[0037]图5为本实用新型又另一实施例的桥梁式微动传感器的截面示意图；
[0038]图6为为本实用新型一具体实施例的桥梁式微动传感器的分解结构示意图；
[0039]图7为本实用新型另一具体实施例的桥梁式微动传感器的分解结构示意图；
[0040]图8为本实用新型另一具体实施例的生理信号采集垫的截面示意图。
[0041]本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
【具体实施方式】
[0042]应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
[0043]参照图1至图3，本实用新型实施例提供一种桥梁式微动传感器1，包括桡性横梁30、支架、压电薄膜40和信号处理电路，信号处理电路电连接所述压电薄膜40 ;所述支架包括硬质的上盖10和下盖20，上盖10和下盖20之间设有活动间隙，所述桡性横梁30设置于所述间隙中，常规设置方法为平行上盖10和下盖20设置，也