测试装置的制造方法
【技术领域】
[0001] 本实用新型是关于一种测试装置，且特别是关于一种测试设备的测试装置。
【背景技术】
[0002] 公知的测试设备可包含电路板、空间转换板与测试装置。测试装置具有多个弹性 接触结构与定位弹性接触结构用的上导引板与下导引板。弹性接触结构的两端分别穿出上 导引板与下导引板，其中穿出下导引板的一端用来接触待测物(device under test,简称 DUT)上的接触接点，例如焊垫(pad)或凸块(bump);而穿出上导引板的一端通过空间转换板 与电路板电性连接。而下导引板上的贯穿孔的排列方式皆对应待测物上的接触接点。
[0003] -般而言，进行测试装置的组装，是先将弹性接触结构固定在下导引板上，之后再 安装上导引板，但组装完成后，测试装置中的这些弹性接触结构常常会出现左右偏摆方向 不一致，因此容易造成测试装置中这些弹性接触结构无法与待测物稳定接触的问题。 【实用新型内容】
[0004] 本实用新型提供了一种测试装置，可以有效使得测试装置中的多根弹性接触结构 大致上朝同一方向摆动。
[0005] 本实用新型提供了一种应用于测试设备的测试装置，所述测试装置包含具有多个 上贯穿开口的一上导引板，具有多个下贯穿开口的一下导引板，所述下导引板位于所述上 导引板的一侧，所述上导引板与所述下导引板之间具有一测试装置偏移量d 2,以及多个弹 性接触结构。每一所述弹性接触结构设置于所述上导引板与所述下导引板之间，每一所述 弹性接触结构各依序具有一接触结构尖段、一接触结构身段与一接触结构尾段，每一所述 弹性接触结构分别单独穿过每一所述上贯穿开口与每一所述下贯穿开口，每一所述弹性接 触结构的所述接触结构尖段与所述接触结构尾段之间分别具有一弹性接触结构偏移量， 每一所述弹性接触结构具有一目标弹性接触结构偏移量cU，所述目标弹性接触结构偏移量 cU与所述测试装置偏移量山之间的关系符合以下关系式= (^ = (^±50~200微米，其中山和山 的单位均为微米。
[0006] 如上述的测试装置，其中，具有最小弹性接触结构偏移量的所述弹性接触结构，其 所述最小弹性接触结构偏移量为cU减去25微米。
[0007] 如上述的测试装置，其中，具有最大弹性接触结构偏移量的所述弹性接触结构，其 所述最大弹性接触结构偏移量为CU加上25微米。
[0008] 如上述的测试装置，其中，所述上导引板与所述下导引板之间的所述测试装置偏 移量为每一所述上贯穿开口的中心轴相对于每一所述下贯穿开口的中心轴之间的距离。
[0009] 如上述的测试装置，其中，所述上导引板与所述下导引板二者之间的所述测试装 置偏移量为呈相对设置。
[0010] 如上述的测试装置，其中，所述接触结构尖段的一接触结构尖端自其中心轴拉出 一第一假想线，所述接触结构身段与所述接触结构尾段的交点垂直拉出一第二假想线，所 述第二假想线平行于所述接触结构尖段，每一所述弹性接触结构的弹性接触结构偏移量为 所述第一假想线与所述第二假想线之间的距离。
[0011] 如上述的测试装置，其中，每一所述弹性接触结构的所述接触结构身段具有一弹 性部。
[0012] 如上述的测试装置，其中，每一所述弹性接触结构为能弹性变形的金属结构。
[0013] 如上述的测试装置，其中，当所述目标弹性接触结构偏移量与所述测试装置偏移 量之间的关系符合以下关系式(12 = (^-50~200微米时，所述测试装置偏移量小于所述最小 弹性接触结构偏移量。
[0014] 如上述的测试装置，其中，当所述目标弹性接触结构偏移量与所述测试装置偏移 量之间的关系符合以下关系式(12 = (^+50~200微米时，所述测试装置偏移量大于所述最大 弹性接触结构偏移量。
[0015] 本实用新型通过设计目标弹性接触结构偏移量cb与测试装置偏移量d2之间的关系 符合以下关系式= (^ = (^±50~200微米，进而可以达到测试装置在组装完成后，可以实现让 测试装置中的这些弹性接触结构大致上朝向同一方向摆动的目的。
【附图说明】
[0016] 以下附图仅旨在于对本实用新型做示意性说明和解释，并不限定本实用新型的范 围。其中：
[0017] 图1为本实用新型的测试装置一实施例的剖面示意图。
[0018] 图2为本实用新型的弹性接触结构的示意图。
[0019] 图3为本实用新型的测试装置中的上、下导引板的示意图。
[0020] 图4A为本实用新型的测试装置采用不同的测试装置偏移量的测试结果的折线图。
[0021] 图4B为本实用新型的测试装置采用不同的测试装置偏移量的测试结果的折线图。
[0022] 图5A为本实用新型的测试装置采用不同的测试装置偏移量的测试结果的折线图。
[0023] 图5B为本实用新型的测试装置采用不同的测试装置偏移量的测试结果的折线图。 [0024]图6为将图4A至图5B的测试装置偏移量测试结果以标准差表示的折线图。
[0025]附图符号说明：
[0026] 100测试装置 0、P 交点
[0027] 110上导引板 Θ 夹角
[0028] 112上贯穿开口 h 第一假想线
[0029] 120下导引板 12 第二假想线
[0030] 122下贯穿开口 13 第三假想线
[00311 130弹性接触结构 14 第四假想线
[0032] 132接触结构尖段 d 弹性接触结构偏移量
[0033] 1321接触结构尖端 cb 目标弹性接触结构偏移量
[0034] 134接触结构身段 d2 测试装置偏移量
[0035] 1341弹性部 Χι、Χ2中心轴
[0036] 136接触结构尾段
【具体实施方式】
[0037] 以下将以附图详细清楚说明本实用新型的保护范围，任何所属技术领域中的普通 技术人员在了解本实用新型的较佳实施例后，可由本实用新型所记载的技术，加以改变及 修饰，其并不脱离本实用新型的保护范围。此外，为简化附图起见，一些公知惯用的结构与 组件在附图中将以简单示意的方式绘示。
[0038] 如【背景技术】所述，由于测试装置中的弹性接触结构在组装完成后会出现左右偏摆 方向不一致的问题，因此无法与待测物稳定接触。
[0039]有鉴于此，本实用新型便提出了一种测试装置，通过设计目标弹性接触结构偏移 量cU与测试装置偏移量d2之间的关系符合以下关系式:d2 = cU ± 50~200微米，进而可以达 到测试装置在组装完成后，让测试装置中的这些弹性接触结构大致上朝向同一方向偏摆， 进而实现与待测物稳定接触的目的。
[0040] 参照图1，其为本实用新型的测试装置一实施例的剖面示意图。测试装置100包含 有上导引板110、位于上导引板110-侧的下导引板120以及位于上导引板110以及下导引板 120之间的多个弹性接触结构130。上导引板110以及下导引板120分别具有多个上贯穿开口 112与下贯穿开口 122,用以容置与固定弹性接触结构130。
[0041] 弹性接触结构130各依序包含有接触结构尖段132、接触结构身段134以及接触结 构尾段136。接触结构尖段132穿出下导引板120的下贯穿开口 122,并且接触结构尖段132的 接触结构尖端1321用以与待测物(未图式)接触。接触结构尾段136容置在上导引板110的上 贯穿开口 112中，并且接触结构尾段136穿出上导引板110的上贯穿开口 112,进一步可以抵 接于空间转换板(未图式)或电路板(未图式)的接点(pad)。接触结构身段134位于上导引板 110以及下导引板120之间。当接触结构尖端1321接触待测物时，上导引板110以及下导引板 120会限制弹性接触结构130的位移。更具体地说，上导引板110以及下导引板120之间具有 测试装置偏移量d 2,亦即上导引板110的上贯穿开口 112不会对齐下导引板120的下贯穿开 口 122,以让弹性接触结构130在穿过上贯穿开口 112与下贯穿开口 122之后至少部分抵靠于 上导引板110或下导引板120而定位。
[0042] 在本实施例中，弹性接触结构130为能弹性变形的金属结构，例如为垂直挫屈弹性 接触结构(又称Cobra弹性接触结构），故接触结构身段134为一概呈弯曲的接触结构身段并 且在邻近接触结构尾段136的位置具有弹性部1341，弹性部1341作为挫屈结构，以在弹性接 触结构130受到外力时利用挫屈原理让弹性接触结构130变形产生弹力。
[0043] 接着如图2以及图