一种电导性液体漏液感应板的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体设备领域，尤其涉及一种电导性液体漏液感应板。
【背景技术】
[0002]在半导体的产生过程中，会用到较多的设备，例如反应罐、斧、液体容器、清洗设备、连接部位等，这些设备在使用的时候往往会产生酸碱液体的泄漏，如果酸碱液体泄漏，会产生地板油漆涂层及其他设备，管道强腐蚀，对半导体制造产生及环境造成严重的影响，现有的检测方式往往只能检测，不能防止强腐蚀漏液掉在其他设备及管道上扩散，同时产生腐蚀，成本较高。
【实用新型内容】
[0003]针对现有的酸碱漏液的感应装置所存在的缺陷，本实用新型涉及了一种精确感应，并且检验方便的一种电导性液体漏液感应板。
[0004]本实用新型采用如下技术方案:
[0005]—种电导性液体漏液感应板，设置于盛放或传送导电性液态装置的下方，所述漏液感应板包括:
[0006]耐酸碱底板；
[0007]若干耐酸碱导电板条线，接触的设置于底板上；
[0008]耐酸碱导电涂料，涂覆于所述耐酸碱导电板条线表面上，并在烘箱里烧结，分别在多个所述耐酸碱导电板条线上形成耐酸碱导电的涂层，防止酸碱液的腐蚀;以及
[0009]所述漏液感应板为所述耐酸碱导电板条线与所述耐酸碱底板铆钉或复合形成的，酸碱指示液涂于所述耐酸碱导电板条线之间，便于发现漏液处。
[0010]优选的，所述耐酸碱导电板条线包括:
[0011]检测板条线与报警信号板条线，分别与一控制器、一报警器连接，用于根据电导液体的侵入产生变化的电参信号，以检测所述耐酸碱底板上是否有电导液体侵入，所述控制器、所述报警器根据所述变化电参信号进行报警；以及
[0012]所述检测板条线与所述报警信号板条线之间相互迂回的设置于所述底板上。
[0013]优选的，所述耐酸碱导电涂料包括纳米导电粉末与氟树脂形成的混合物，或所述纳米导电粉末与氟树脂粉末形成的混合物。
[0014]优选的，所述耐酸碱底板为聚四氟乙烯板或聚氯乙烯板。
[0015]优选的，所述耐酸碱导电板条线为SUS304不锈钢板条线或耐酸碱导电涂层板条线。
[0016]优选的，所述耐酸碱导电板条线形状为正方形或长方形或圆形。
[0017]优选的，所述耐酸碱导电板条线通过铆钉焊接于所述底板上。
[0018]优选的，所述耐酸碱导电涂料与所述耐酸碱底板之间设有绝缘层。
[0019]优选的，所述耐酸碱导电板条线的厚度为0.05-1.0毫米。所述耐酸碱导电涂层板条线的厚度为0.05-0.2毫米。
[0020]优选的，所述耐酸碱底板与耐酸碱导电板条线的厚度共为0.35-1.5毫米。
[0021 ]本实用新型具有如下有益效果:
[0022]本实用新型可以保持清洁并且环保，其可在安装设备及管道连接部位的高低处或人行道过道处，随时报警，防止事故，安全可靠；本实用新型先进合理工艺设计，可直接安装，在单位面积内，具有特高灵敏度，便于改动尺寸大小及模块化，特别适合复杂空间；可在腐蚀环境下，免维护，可重复使用，同类比使用寿命长几十倍;本实用新型具有质量轻便，厚度薄，较强韧的机械性能，耐腐蚀，耐高温，不易燃烧等特点。本实用新型广泛应用于检测电导性液体的渗漏，泄露，溋出监测场合，制造成本较低。
【附图说明】
[0023]图1为本实用新型酸碱漏液感应板的结构示意图；
[0024]图2a_2b为本实用新型酸碱漏液感应板的断面图；
[0025]图3为本实用新型正方形酸碱漏液感应板的结构示意图；
[0026]图4-图5为本实用新型圆形酸碱漏液感应板的结构示意图；
[0027]图6a_6c为本实用新型长方形酸碱漏液感应板的结构示意图；
[0028]图7、图8、图9a_9b、图1Oa-1Ob为本实用新型的安装方式图。
【具体实施方式】
[0029]需要说明的是，在不冲突的情况下，下述技术方案，技术特征之间可以相互组合。
[0030]下面结合附图对本实用新型的【具体实施方式】作进一步的说明:
[0031]本实用新型的适用范围可以是:任何电导性液体的渗漏，泄露，溋出监测场合。例如:半导体制造行业:半导体制造装置(药液泄露的检测，废液溢出的检测)；半导体制造装置配管接头及阀门，液体容器、栗槽处(药液泄露的检测，废液溢出的检测)；化工，医药，军工等行业任何电导性液体的渗漏，泄露监测场合;也可以是其他行业广泛应用于一些酸碱液体及任何药液泄露、溋出监测场合。
[0032]图1为本实用新型酸碱漏液感应板的结构示意图；如图1所示，一种包括底板I与耐酸碱漏液感应板条线，耐酸碱漏液感应板条线是纳米导电粉末与氟树脂(或聚氯乙烯粉末)涂料一定比例混合成耐酸碱导电涂料，A，该耐酸碱导电涂料直涂在底板的导电涂层板条线7表面上，被含氟聚合物导电涂层覆盖，并在烘箱里烧结后形成含氟聚合物导电涂层线路板线2，3。1该耐酸碱导电涂料涂在3118304或8118316不锈钢板条线7表面上，被含氟聚合物导电涂层包容，并在烘箱里烧结后形成含氟聚合物导电涂层线路板线2，3。底板I是聚四氟乙烯板或聚氯乙烯板，底板与耐酸碱漏液感应板条线，铆钉或贴合形成含氟聚合物导电涂层线路板。它具有质量轻便，板材较柔软，耐腐蚀，耐温，耐磨，不易燃烧，安全，可靠等特点，并具有特高灵敏度特点。其中，含氟聚合物导电涂层线路板即为酸碱漏液感应板。
[0033]图2a_2b为本实用新型酸碱漏液感应板的断面图；如图2a_2b所示，上述的酸碱漏液感应板可以理解为二种结构:其一是:纳米导电粉末与氟树脂或聚氯乙烯粉涂料一定比例混合成耐酸碱导电涂料。该涂料直涂在导电涂层板条线7表面后，被含氟聚合物导电涂层覆盖，并在烘箱里烧结后形成含氟聚或聚氯乙烯合物导电涂层板条线路。其二是:纳米导电粉末与氟树脂或聚氯乙稀粉末涂料一定比例混合成耐酸碱导电涂料。该涂料涂在Sus304或sus316不锈钢板条线7表面后，被含氟聚合物导电涂层包容，并在烘箱里烧结后形成含氟聚或聚氯乙烯合物导电涂层板条线路。
[0034]导电涂层板条线路与聚四氟乙烯或聚氯乙烯板铆钉或贴合形成含氟聚合物导电涂层线路板，即酸碱漏液感应板.在不同的腐蚀环境下，安全，可靠，经济，长久耐用。其中，纳米导电粉末(镍，石墨等)，Sus304或